Probe Station Instruction

Introduction

How to use ?

set up

• バキュームの電源が入っているか確認(基本的に常にON状態にしておく)
• エアーが来ているか確認する
  クリーンルームの外にAIR DRYERが設置されているので電源が入っている確認(常にON状態)
  AIR DRYERで生成された乾燥空気はフィルターを通し、スペアに溜められたのちプローバー、ワイヤーボンダーに送られる。

サンプル固定

サンプルを置く台は無数の穴が空いており、裏から空気を抜く(バキューム)ことでサンプルを固定する。

台の上にサンプルを置き、サンプルのない穴を全てビニールで覆う。

電源 (右下のブレーカー)を入れると、操作できるようになり、バキュームができるようになる。

サンプル位置調整

電源を入れると、VacumとLampがONに出くるようになる。この二つをONにしないと台は動かない。

サンプルの突起物が針に当たらないようにハンドルで台を下げる。

STARTボタンを押すと原点復帰する。もう一度押すとプローブの位置まで大体の位置合わせをしてくれる。大体の位置が合うとそこの周りを揺れる(カメラで何かを探している?)のでSTOPボタンで揺れを止め、手動で位置合わせを行う。

手動の位置合わせは十字キーで行う。大きく動かしたいときはSCANを押した後に十字キーを押す。細かく調整したいときはconfigボタンで指定した距離(μm単位)だけ移動できる。動くのは台の方なので注意。

角度の調整はEmergency Stop近くのボタンで行う。回転軸が必ずしもサンプル上にあるとは限らない。

プローブ手順

位置の調整ができたらハンドルで少しずつ針を下げていきサンプルに針を当てる。針が当たると少し針が動く。台を下げると針の当たった跡が見える。

-- Atlasj Silicon - 2018-04-04