Probe Station Instruction

Introduction

How to use ?

set up

• バキュームの電源が入っているか確認(基本的に常にON状態にしておく)
• エアーが来ているか確認する
  クリーンルームの外にAIR DRYERが設置されているので電源が入っている確認(常にON状態)
  AIR DRYERで生成された乾燥空気はフィルターを通し、スペアに溜められたのちプローバー、ワイヤーボンダーに送られる。

サンプル固定

サンプルを置く台は無数の穴が空いており、裏から空気を抜く(バキューム)ことでサンプルを固定する。

台の上にサンプルを置き、サンプルのない穴を全てビニールで覆う。

電源 (右下のブレーカー)を入れると、操作できるようになり、バキュームができるようになる。

サンプル位置調整

台やサンプルの突起物が針と接触すると針が折れるので動かすときは必ず十分針を上げた状態で行う。

-- Atlasj Silicon - 2018-04-04