Probe Station Instruction

Introduction

How to use ?

set up

• バキュームの電源が入っているか確認(基本的に常にON状態にしておく)
• エアーが来ているか確認する
  クリーンルームの外にAIR DRYERが設置されているので電源が入っている確認(常にON状態)
  AIR DRYERで生成された乾燥空気はフィルターを通し、スペアに溜められたのちプローバー、ワイヤーボンダーに送られる。

サンプル固定

サンプルを置く台は無数の穴が空いており、裏から空気を抜くことでサンプルを固定する。

台の上にサンプルを置き、サンプルのない穴を全てビニールで覆う。

-- Atlasj Silicon - 2018-04-04