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Probe Station Instruction | ||||||||
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手動の位置合わせは十字キーで行う。大きく動かしたいときはSCANを押した後に十字キーを押す。細かく調整したいときはconfigボタンで指定した距離(μm単位)だけ移動できる。動くのは台の方なので注意。 角度の調整はEmergency Stop近くのボタンで行う。回転軸が必ずしもサンプル上にあるとは限らない。 | ||||||||
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> > | プローブ手順 | |||||||
位置の調整ができたらハンドルで少しずつ針を下げていきサンプルに針を当てる。針が当たると少し針が動く。台を下げると針の当たった跡が見える。 | ||||||||
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-- Atlasj Silicon - 2018-04-04 | ||||||||
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