2日目 (様々なサンプルプログラムとsdeの構築) -- 演習問題

問題1 (五屋)

Simple2Dの例題のSimple2D_des.cmdファイルで行っていること理解して説明せよ。

問題2 (倉持)

Simple3Dの例題で作った構造体のpixel数を5x5にして構造体を作ってみよ。

問題3 (大森)

Simple2Dの例題で作った構造体のn+電極の形を知るため、リンのドープ量の垂直および水平方向のプロファイルをプロットして、どのような形になっているかを調べよ。

また、リンドープのgaussian-profileの Gauss の "Factor" の値を変えてどのようなプロファイルに変化するかを調べよ。

問題4(応用) (比江森)

Simple2Dの例題で電極間分離のために p-sprayを使っているが、これを電極と電極の間の中央に幅2um深さ1.2umのホウ素のドープ(p-stop)を生成せよ。svisualでうまく作れたことを確認する。

(難しい場合は前回のmyexampleの例を参考にしてみるとよい)

-- Koji Nakamura - 2020-05-16

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