RD53A Probe Card

Introduction

Check ASIC before and after flip chip to check flip chip bump bonding quality.

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Design

Based on the !RD53A single chip card but remove unnecessary circuit and used only 98 pins for probing. (Thanks Maurice to identify the necessary pins)

Design : https://cernbox.cern.ch/index.php/s/MiwFjlIDetdQ8BC?path=%2FKEK%2FRD53A_ProbeCard

Pin Assignment : PadPosition.xls

Photo

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-- Koji Nakamura - 2018-02-09

Probe Station

How to Use

富士B4のnew clean roomのprobe stationの使い方と，probe cardを用いたquad sensorのテストの仕方

Initialization

1. vacumeをON．vacumeはprobe stationのstageのchuckを固定するために使用．
2. probe stationの電源をON．スイッチはprobe stationの右側面にある．
3. probe station用のPCの電源をON．probe stationの下側の扉を開けるとある．PCの電源を入れると自動的にloginしsoftwareが開く．
4. softwareが立ち上がったら，probe stationのresetスイッチを押す．probe stationの電源の下にある．
5. [software] initializeをクリック．原点合わせなどを行う．

Loading Sensor

1. probe station左側にあるレバーが上に上がっていることを確認．このレバーはマニュアルでstageを上下させる．
2. [software] chuck load positionをクリック．
3. 手前のねじ？を回して，chuck部分を引き出す．
4. [software] switch off chuck vacumeをクリック．（シュッという音がなる．）
5. sensorを円盤に載せる．（回転などに注意）
6. [software] switch on chuck vacumeで真空を引き，センサーを固定する．真空を引く範囲は，probe stationお右側のCHUCK (R=)75mm,100mm,150mm,200mmで変えられる．（Quadでは75mmと100mmだけ使用）

Alignment

1. [software] project -> open -> (C:\Users\Public\Documents\Velox\FFKK20202_4_7_RD53Aprobe.spp)
2. [software] move to home positionをクリック．
3. 顕微鏡を下げるために，スイッチ（顕微鏡近くにある）でdownをする．
4. [software]