RD53A Probe Card


Introduction

Check ASIC before and after flip chip to check flip chip bump bonding quality.

log

Design

Based on the !RD53A single chip card but remove unnecessary circuit and used only 98 pins for probing. (Thanks Maurice to identify the necessary pins)

Design : https://cernbox.cern.ch/index.php/s/MiwFjlIDetdQ8BC?path=%2FKEK%2FRD53A_ProbeCard

Pin Assignment : PadPosition.xls

Photo


DSC_3339.JPG DSC_3340.JPG DSC_3341.JPG DSC_3342.JPG
DSC_3339  DSC_3340  DSC_3341  DSC_3342 
DSC_3343.JPG DSC_3344.JPG ProbeCard_Sensor.png ProberSoftwareScreen.png
DSC_3343  DSC_3344  ProbeCard_Sensor  ProberSoftwareScreen 
ProbeStationPhoto1.png ProbeStationScreen.png    
ProbeStationPhoto1  ProbeStationScreen    
There are 10 images in this page

-- Koji Nakamura - 2018-02-09

Probe Station

How to Use

富士B4のnew clean roomのprobe stationの使い方と,probe cardを用いたquad sensorのテストの仕方

Initialization
  1. vacumeをON.vacumeはprobe stationのstageのchuckを固定するために使用.足元にある.
  2. probe stationの電源をON.スイッチはprobe stationの右側面にある.
  3. probe station用のPCの電源をON.probe stationの下側の扉を開けるとある.PCの電源を入れると自動的にloginしsoftwareが開く.
  4. softwareが立ち上がったら,probe stationのresetスイッチを押す.probe stationの電源の下にある.
  5. [software] initializeをクリック.原点合わせなどを行う.
Loading Sensor
  1. probe station左側にあるレバーが上に上がっていることを確認.このレバーはマニュアルでstageを上下させる.
  2. [software] chuck load positionをクリック.
  3. 手前のねじ?を回して,chuck部分を引き出す.
  4. [software] switch off chuck vacumeをクリック.(シュッという音がなる.)
  5. sensorを円盤に載せる.(回転などに注意)
  6. [software] switch on chuck vacumeで真空を引き,センサーを固定する.真空を引く範囲は,probe stationの右側のCHUCK (R=)75mm,100mm,150mm,200mmで変えられる.(今回は75mmと100mmだけ使用)
Preparation
  1. [software] project -> open -> (C:\Users\Public\Documents\Velox\FFKK20202_4_7_RD53Aprobe.spp)
  2. [software] move to home positionをクリック.
  3. 顕微鏡を下げるために,スイッチ(顕微鏡近くにある)でdownをする.
  4. [software] 顕微鏡のピントを合わせるためにScope Stage modeにしてscopeの位置を下げ,needleが見えるようにする.
  5. レバーを(完全の一歩手前まで)下げる.needleとASICはぶつからないことを確認する.
  6. Chuck Stage modeにして,sensorをneedleに近づけ,ボケながらもASICのpadが見える位置までstageを上げる.
Alignment
  1. Chuck Stage modeで,chipXの左端のpadをクリックし,stageを左に移動させ,chipXの右端のpadをクリックする.→回転alignmentが行われる.
  2. scopeの倍率を上げ,回転alignmentの微調整を行う.
  3. needleの一番端が(chipXの)padの左端から2番目,needleの一番右端がpadの右端から2番目に合うようにstageを移動させる.( RD53A_Manual_V3-51.pdf のFig.9,10を参照)
  4. (needle1本だけ短い?のがあるので,全体のneedleがpadの下側に当たるようにすると良い.)
  5. Scope modeにし,全てのneedleがpadに当たることを確認する.(要はASICのalignmentができているか)

Topic attachments
I Attachment History Action Size Date Who Comment
JPEGjpg DSC_3339.JPG r1 manage 6733.6 K 2018-02-09 - 17:25 KojiNakamura  
JPEGjpg DSC_3340.JPG r1 manage 5947.2 K 2018-02-09 - 17:25 KojiNakamura  
JPEGjpg DSC_3341.JPG r1 manage 6296.6 K 2018-02-09 - 17:25 KojiNakamura  
JPEGjpg DSC_3342.JPG r1 manage 5969.3 K 2018-02-09 - 17:25 KojiNakamura  
JPEGjpg DSC_3343.JPG r1 manage 6965.0 K 2018-02-09 - 17:25 KojiNakamura  
JPEGjpg DSC_3344.JPG r1 manage 7932.0 K 2018-02-09 - 17:25 KojiNakamura  
Microsoft Excel Spreadsheetxls PadPosition.xls r2 r1 manage 44.5 K 2018-05-07 - 07:06 AtlasjSilicon  
PNGpng ProbeCard_Sensor.png r1 manage 3792.7 K 2020-09-09 - 02:29 KatsuyaSato  
PNGpng ProbeStationPhoto1.png r1 manage 3649.2 K 2020-09-09 - 02:28 KatsuyaSato  
PNGpng ProbeStationScreen.png r1 manage 1016.3 K 2020-09-09 - 01:04 KatsuyaSato  
PNGpng ProberSoftwareScreen.png r1 manage 1680.7 K 2020-09-09 - 02:29 KatsuyaSato  
PDFpdf RD53A_Manual_V3-51.pdf r1 manage 8803.7 K 2020-09-09 - 03:03 KatsuyaSato  
Edit | Attach | Watch | Print version | History: r9 < r8 < r7 < r6 < r5 | Backlinks | Raw View | Raw edit | More topic actions
Topic revision: r9 - 2020-09-09 - KatsuyaSato
 
This site is powered by the TWiki collaboration platform Powered by PerlCopyright © 2008-2022 by the contributing authors. All material on this collaboration platform is the property of the contributing authors.
Ideas, requests, problems regarding TWiki? Send feedback