RD53A Probe Card


Introduction

Check ASIC before and after flip chip to check flip chip bump bonding quality.

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Design

Based on the !RD53A single chip card but remove unnecessary circuit and used only 98 pins for probing. (Thanks Maurice to identify the necessary pins)

Design : https://cernbox.cern.ch/index.php/s/MiwFjlIDetdQ8BC?path=%2FKEK%2FRD53A_ProbeCard

Pin Assignment : PadPosition.xls

Photo


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-- Koji Nakamura - 2018-02-09

Probe Station

How to Use

富士B4のnew clean roomのprobe stationの使い方と,probe cardを用いたquad sensorのテストの仕方

Initialization
  1. vacumeをON.vacumeはprobe stationのstageのchuckを固定するために使用.足元にある.
  2. probe stationの電源をON.スイッチはprobe stationの右側面にある.
  3. probe station用のPCの電源をON.probe stationの下側の扉を開けるとある.PCの電源を入れると自動的にloginしsoftwareが開く.
  4. softwareが立ち上がったら,probe stationのresetスイッチを押す.probe stationの電源の下にある.
  5. [software] initializeをクリック.原点合わせなどを行う.
Loading Sensor
  1. probe station左側にあるレバーが上に上がっていることを確認.このレバーはマニュアルでstageを上下させる.
  2. [software] chuck load positionをクリック.
  3. 手前のねじ?を回して,chuck部分を引き出す.
  4. [software] switch off chuck vacumeをクリック.(シュッという音がなる.)
  5. sensorを円盤に載せる.(回転などに注意)
  6. [software] switch on chuck vacumeで真空を引き,センサーを固定する.真空を引く範囲は,probe stationの右側のCHUCK (R=)75mm,100mm,150mm,200mmで変えられる.(今回は75mmと100mmだけ使用)
Preparation
  1. [software] project -> open -> (C:\Users\Public\Documents\Velox\FFKK20202_4_7_RD53Aprobe.spp)
  2. [software] move to home positionをクリック.
  3. 顕微鏡を下げるために,スイッチ(顕微鏡近くにある)でdownをする.
  4. [software] 顕微鏡のピントを合わせるためにScope Stage modeにしてscopeの位置を下げ,needleが見えるようにする.
  5. レバーを(完全の一歩手前まで)下げる.needleとASICはぶつからないことを確認する.
  6. Chuck Stage modeにして,sensorをneedleに近づけ,ボケながらもASICのpadが見える位置までstageを上げる.
Alignment
  1. Chuck Stage modeで,chipXの左端のpadをクリックし,stageを左に移動させ,chipXの右端のpadをクリックする.→回転alignmentが行われる.
  2. scopeの倍率を上げ,回転alignmentの微調整を行う.
  3. needleの一番端が(chipXの)padの左端から2番目,needleの一番右端がpadの右端から2番目に合うようにstageを移動させる.( RD53A_Manual_V3-51.pdf のFig.9,10を参照)
  4. (needle1本だけ短い?のがあるので,全体のneedleがpadの下側に当たるようにすると良い.)
  5. Scope modeにし,全てのneedleがpadに当たることを確認する.(要はASICのalignmentができているか)

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Microsoft Excel Spreadsheetxls PadPosition.xls r2 r1 manage 44.5 K 2018-05-07 - 07:06 AtlasjSilicon  
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PDFpdf RD53A_Manual_V3-51.pdf r1 manage 8803.7 K 2020-09-09 - 03:03 KatsuyaSato  
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Topic revision: r9 - 2020-09-09 - KatsuyaSato
 
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