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---+ Form Factor Prober usage instructions <br />〇プローバー作業を始める前<br /><br />ドライエアーは、普段は24/7で循環しっぱなし。(エアー源はクリーンルーム出て右手の廊下)<br />プローバーチェンバー内の流量計で確認できる。(普段1になってる)<br /><br />温調をONにする。 1 クリーンルーム入口にある温調機械の大きく赤いスイッチを回してONにする。 1 プローバーチャンバーの下の扉の中にある液晶で、restartを押し、空調の電源をONさせる。(カギは普段は触ってない) 1 (資料をセットした後)FormFactorのGUI内の左下にある温度計のマークをクリックし、温度を設定する。 プローバー足元の真空ポンプをONにする。<br /><br />〇資料のセットー・プローバー下部の格納庫に資料をセットする。 * 試料のセットの際には、プローバーの左にある大きなレバーを上げて行う。 * サンプルをケースから取り出すには、プローバーの後ろの机にあるGel-PakのTRAY-VACを使う。ケースをTRAY-VACの上に置き、すこし抑えつけながらTRAY-VACのTRAY RELEASE"をONにする。Vacuum Penでサンプルを持ち上げる。持ち上げたらTRAY-VACはOFFにする。落ちた場合にケースに着地するようにケースを下に持ちながら、プローバーの資料台でVacuum Penをリリースする。 * 試料を吸着する。サンプルの周りの穴が覆われるよう、テープを貼ってふさぐとよい。プローバーGUI内の左側メニュー中Material Handlingの右のアイコン"Switch ON Chuck Vacuum"をクリック。 * 格納庫を閉める。 〇プローバー操作の手順<br /><b>※プローバー内で資料を測定点に移動し位置を調整、プローブで接触する間は、照明をつける。測定の際には、HVがかかるため、かならず照明を消すこと! 照明は、マウスの左に置いてある「eVue」のリモコンの、照明ボタンで明暗を調整する。</b><br /><br />※まず、プローバー左のレバーを上げたままでだいたいの位置決めをする。だいたいの位置が決まってからレバーは降ろす。レバーは、プローバーGUI内でカメラ画面を見ながらおろす。(基本的にチャック(台)が上がりすぎることはないと考えられるが、万が一そうなると、試料を傷つけプローバーの針も壊してしまう)<br />※まず、針がカメラの中心にある場合を想定し、ステージを移動しながら位置合わせをする。Control-Centerで左のアイコンChuck Stageが選択されている状態ではじめること。<br />※移動中は、Z Setupは、赤いアイコンMove to Separation Heightにセットしておくこと(その他のアイコンに設定されている場合は、赤に自動で移る。) <br />・ホームポジションに移動。Predefined Positions内、家のアイコン""を押す。(取り出しのときはMaterial Handling内左のアイコンAt Chuck Load Positionを押すと、格納庫の前面に移動する。<br />※GUIの中央上方にある5つの虫眼鏡のアイコンeVue Zoom Presetで、およその位置調整には「1」、電極にプローブを接触させる調整には「3」を用いていることが多い。 1 GUIの左上のマップ画面で矢印を長押しクリックしながら、試料を移動し、目指す端子(パッド)の近くまで移動する。<br />*画面上だけでわかりにくい場合は、プローバー上ガス流量計隣のSCOPEスイッチをUPに倒すと、基板を直接覗くことができる。 1 "Zoom Preset 1"のカメラのまま、測りたい素子の周辺まで移動してから、プローバーのレバーを下げる。 1 "Zoom Preset 3"のカメラに切り替え、プローブしたい端子が画面中央に来るように移動する。 1 eVueのリモコンで、ダイヤルを回すとカメラのフォーカスを調整できる。プローブしたいパッドにフォーカスを合わせ作業をすすめる。 1 Z Setupの黄色のアイコンMove to Alignment Heightにする。 1 Z Setupの緑色のアイコンAt Contact Heightにする。 1 実際に接触させるのは、プローバー本体上で針をホールドしているDPP205のダイヤルを回しながら針を下して行う。その際、画面のカメラ画像をよく見ながらゆっくり針を降ろしていき、パッドと接触するのを確認したら止める。パッドと接触した途端に、針先の動く角度が変化することで判断する。 ※ポリシリコン抵抗を測る場合など、2か所以上をプローブする場合は、まず1カ所目のプローブ針を調整してコンタクトを確立する。そのあと、GUI左上にあるControl-CenterでScope Stageに設定(カメラの位置合わせの設定)し、カメラを2本目のプローブ針に合わせる。2か所目の位置合わせは、GUIは頼らずDPP205で行う。DPP205で触れない範囲の場合は、試料の置き直しで対応する。<br /><br />・測定が終わった時: <br />・手動ネジで針を上げる。<br />・レバーを上げる。<br />・Chuck Loading Positionをクリック。Chuckが真ん中で止まってしまうことがある。その場合は、手動で一番手前まで持ってくる。<br />・温度を室温にセット。<br />・温度が上がったら、チャンバーを開け、チャックを手前に出す。チャックはロックする位置まで引っ張る。<br />・Vacuum Penで試料を箱に入れる。箱をGel-PakのTRAY-VACを使って真空にひき、(ON->Releaseし)、箱に吸着固定する。<br />・足元の真空ポンプを止める。<br /><br />〇ソフトが立ち上がっていない場合<br />・試料が入っていないことを確認する。<br />・レバーが上がっていることを確認する。<br />・デスクトップにあるVeloxアイコンから立ち上げる。<br />・Open Project->c:\Users\Public\PublicDocuments\Velox\ThinQuad_202100902_ITkpix-v1lVprobe.spp<br />で、高さ等のパラメータが読み込まれる。<br /><br /><br />---+ ダイオード測定の設定 <span style="background-color: transparent;">測定GUI</span> C:\work\Silicon\SiliconTestSetupApp - ff\SiliconTestSetupApp.sln 〇IVとCV<br />Run IV scanをチェック選択する Run CV scanをチェック選択する Frequencyを10kHzにする(飯坂君は最後100kHzでやっていた?要チェック)<br />End Voltageを600Vにする(未照射サンプルは200Vまで)<br />Intervalを3秒にする。 "Set"で出力ファイルを設定。 -- %USERSIG{AtlasjSilicon - 2023-02-27}% ---++ Comments %COMMENT%
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