Difference: FormFactorProber (2 vs. 3)

Revision 32023-05-31 - AtlasjSilicon

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Form Factor Prober usage instructions

Changed:
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〇プローバー作業を始める前

ドライエアーは、普段は24/7で循環しっぱなし。(エアー源はクリーンルーム出て右手の廊下)
プローバーチェンバー内の流量計で確認できる。(普段1になってる)

温調をONにする。
 ・クリーンルーム入口にある温調機械の大きく赤いスイッチを回してONにする。
 ・プローバーチャンバーの下の扉の中にある液晶で、restartを押し、空調の電源をONさせる。(カギは普段は触ってない)
 ・(資料をセットした後)FormFactorのGUI内の左下にある温度計のマークをクリックし、温度を設定する。

プローバー足元の真空ポンプをONにする。

〇資料のセットー・プローバー下部の格納庫に資料をセットする。
・試料のセットの際には、プローバーの左にある大きなレバーを上げて行う。
・サンプルをケースから取り出すには、プローバーの後ろの机にあるGel-PakのTRAY-VACを使う。ケースをTRAY-VACの上に置き、すこし抑えつけながらTRAY-VACの”TRAY RELEASE"をONにする。Vacuum Penでサンプルを持ち上げる。持ち上げたらTRAY-VACはOFFにする。落ちた場合にケースに着地するようにケースを下に持ちながら、プローバーの資料台でVacuum Penをリリースする。
・試料を吸着する。プローバーGUI内の左側メニュー中Material Handlingの右のアイコン"Switch ON Chuck Vacuum"をクリック。
・格納庫を閉める。

〇プローバー操作の手順
※プローバー内で資料を測定点に移動し位置を調整、プローブで接触する間は、照明をつける。測定の際には、HVがかかるため、かならず照明を消すこと! 照明は、マウスの左に置いてある「eVue」のリモコンの、照明ボタンで明暗を調整する。

※まず、プローバー左のレバーを上げたままでだいたいの位置決めをする。だいたいの位置が決まってからレバーは降ろす。レバーは、プローバーGUI内でカメラ画面を見ながらおろす。(基本的にチャック(台)が上がりすぎることはないと考えられるが、万が一そうなると、試料を傷つけプローバーの針も壊してしまう)
※まず、針がカメラの中心にある場合を想定し、ステージを移動しながら位置合わせをする。Control-Centerで左のアイコン”Chuck Stage”が選択されている状態ではじめること。
※移動中は、Z Setupは、赤いアイコン”Move to Separation Height”にセットしておくこと(その他のアイコンに設定されている場合は、赤に自動で移る。)
・ホームポジションに移動。Predefined Positions内、家のアイコン""を押す。(取り出しのときはMaterial Handling内左のアイコン”At Chuck Load Position”を押すと、格納庫の前面に移動する。
※GUIの中央上方にある5つの虫眼鏡のアイコン”eVue Zoom Preset”で、およその位置調整には「1」、電極にプローブを接触させる調整には「3」を用いていることが多い。
・GUIの左上のマップ画面で矢印を長押しクリックしながら、試料を移動し、目指す端子(パッド)の近くまで移動する。
  *画面上だけでわかりにくい場合は、プローバー上ガス流量計隣の”SCOPE”スイッチをUPに倒すと、基板を直接覗くことができる。
  *
・"Zoom Preset 1"のカメラのまま、測りたい素子の周辺まで移動してから、プローバーのレバーを下げる。
・"Zoom Preset 3"のカメラに切り替え、プローブしたい端子が画面中央に来るように移動する。
・eVueのリモコンで、ダイヤルを回すとカメラのフォーカスを調整できる。プローブしたいパッドにフォーカスを合わせ作業をすすめる。
・Z Setupの緑色のアイコン”Move to Alignment Height”にする。
・Z Setupの黄色のアイコン”At Contact Height”にする。
・実際に接触させるのは、プローバー本体上で針をホールドしているDPP205のダイヤルを回しながら針を下して行う。その際、画面のカメラ画像をよく見ながらゆっくり針を降ろしていき、パッドと接触するのを確認したら止める。パッドと接触した途端に、針先の動く角度が変化することで判断する。
※ポリシリコン抵抗を測る場合など、2か所以上をプローブする場合は、まず1カ所目のプローブ針を調整してコンタクトを確立する。そのあと、GUI左上にあるControl-CenterでScope Stageに設定(カメラの位置合わせの設定)し、カメラを2本目のプローブ針に合わせる。2か所目の位置合わせは、GUIは頼らずDPP205で行う。DPP205で触れない範囲の場合は、試料の置き直しで対応する。

・測定が終わった時:
・手動ネジで針を上げる。
・レバーを上げる。
・Chuck Loading Positionをクリック。Chuckが真ん中で止まってしまうことがある。その場合は、手動で一番手前まで持ってくる。
・温度を室温にセット。
・温度が上がったら、チャンバーを開け、チャックを手前に出す。チャックはロックする位置まで引っ張る。
・Vacuum Penで試料を箱に入れる。箱をGel-PakのTRAY-VACを使って真空にひき、(ON->Releaseし)、箱に吸着固定する。
・足元の真空ポンプを止める。

〇ソフトが立ち上がっていない場合
・試料が入っていないことを確認する。
・レバーが上がっていることを確認する。
・デスクトップにあるVeloxアイコンから立ち上げる。
・Open Project->c:\Users\Public\PublicDocuments\Velox\ThinQuad_202100902_ITkpix-v1lVprobe.spp
で、高さ等のパラメータが読み込まれる。



測定GUI
C:\work\Silicon\SiliconTestSetupApp - ff\SiliconTestSetupApp.sln

IV
Run IV scanをチェック選択する
Frequencyを10kHzにする
End Voltageを600Vにする(未照射サンプルは200Vまで)



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〇プローバー作業を始める前

ドライエアーは、普段は24/7で循環しっぱなし。(エアー源はクリーンルーム出て右手の廊下)
プローバーチェンバー内の流量計で確認できる。(普段1になってる)

温調をONにする。
  1. クリーンルーム入口にある温調機械の大きく赤いスイッチを回してONにする。
  2. プローバーチャンバーの下の扉の中にある液晶で、restartを押し、空調の電源をONさせる。(カギは普段は触ってない)
  3. (資料をセットした後)FormFactorのGUI内の左下にある温度計のマークをクリックし、温度を設定する。

プローバー足元の真空ポンプをONにする。

〇資料のセットー・プローバー下部の格納庫に資料をセットする。

  • 試料のセットの際には、プローバーの左にある大きなレバーを上げて行う。
  • サンプルをケースから取り出すには、プローバーの後ろの机にあるGel-PakのTRAY-VACを使う。ケースをTRAY-VACの上に置き、すこし抑えつけながらTRAY-VACの”TRAY RELEASE"をONにする。Vacuum Penでサンプルを持ち上げる。持ち上げたらTRAY-VACはOFFにする。落ちた場合にケースに着地するようにケースを下に持ちながら、プローバーの資料台でVacuum Penをリリースする。
  • 試料を吸着する。プローバーGUI内の左側メニュー中Material Handlingの右のアイコン"Switch ON Chuck Vacuum"をクリック。
  • 格納庫を閉める。

〇プローバー操作の手順
※プローバー内で資料を測定点に移動し位置を調整、プローブで接触する間は、照明をつける。測定の際には、HVがかかるため、かならず照明を消すこと! 照明は、マウスの左に置いてある「eVue」のリモコンの、照明ボタンで明暗を調整する。

※まず、プローバー左のレバーを上げたままでだいたいの位置決めをする。だいたいの位置が決まってからレバーは降ろす。レバーは、プローバーGUI内でカメラ画面を見ながらおろす。(基本的にチャック(台)が上がりすぎることはないと考えられるが、万が一そうなると、試料を傷つけプローバーの針も壊してしまう)
※まず、針がカメラの中心にある場合を想定し、ステージを移動しながら位置合わせをする。Control-Centerで左のアイコン”Chuck Stage”が選択されている状態ではじめること。
※移動中は、Z Setupは、赤いアイコン”Move to Separation Height”にセットしておくこと(その他のアイコンに設定されている場合は、赤に自動で移る。)


・ホームポジションに移動。Predefined Positions内、家のアイコン""を押す。(取り出しのときはMaterial Handling内左のアイコン”At Chuck Load Position”を押すと、格納庫の前面に移動する。
※GUIの中央上方にある5つの虫眼鏡のアイコン”eVue Zoom Preset”で、およその位置調整には「1」、電極にプローブを接触させる調整には「3」を用いていることが多い。

  1. GUIの左上のマップ画面で矢印を長押しクリックしながら、試料を移動し、目指す端子(パッド)の近くまで移動する。
    *画面上だけでわかりにくい場合は、プローバー上ガス流量計隣の”SCOPE”スイッチをUPに倒すと、基板を直接覗くことができる。
  2. "Zoom Preset 1"のカメラのまま、測りたい素子の周辺まで移動してから、プローバーのレバーを下げる。
  3. "Zoom Preset 3"のカメラに切り替え、プローブしたい端子が画面中央に来るように移動する。
  4. eVueのリモコンで、ダイヤルを回すとカメラのフォーカスを調整できる。プローブしたいパッドにフォーカスを合わせ作業をすすめる。
  5. Z Setupの緑色のアイコン”Move to Alignment Height”にする。
  6. Z Setupの黄色のアイコン”At Contact Height”にする。
  7. 実際に接触させるのは、プローバー本体上で針をホールドしているDPP205のダイヤルを回しながら針を下して行う。その際、画面のカメラ画像をよく見ながらゆっくり針を降ろしていき、パッドと接触するのを確認したら止める。パッドと接触した途端に、針先の動く角度が変化することで判断する。

※ポリシリコン抵抗を測る場合など、2か所以上をプローブする場合は、まず1カ所目のプローブ針を調整してコンタクトを確立する。そのあと、GUI左上にあるControl-CenterでScope Stageに設定(カメラの位置合わせの設定)し、カメラを2本目のプローブ針に合わせる。2か所目の位置合わせは、GUIは頼らずDPP205で行う。DPP205で触れない範囲の場合は、試料の置き直しで対応する。

・測定が終わった時:


・手動ネジで針を上げる。
・レバーを上げる。
・Chuck Loading Positionをクリック。Chuckが真ん中で止まってしまうことがある。その場合は、手動で一番手前まで持ってくる。
・温度を室温にセット。
・温度が上がったら、チャンバーを開け、チャックを手前に出す。チャックはロックする位置まで引っ張る。
・Vacuum Penで試料を箱に入れる。箱をGel-PakのTRAY-VACを使って真空にひき、(ON->Releaseし)、箱に吸着固定する。
・足元の真空ポンプを止める。

〇ソフトが立ち上がっていない場合
・試料が入っていないことを確認する。
・レバーが上がっていることを確認する。
・デスクトップにあるVeloxアイコンから立ち上げる。
・Open Project->c:\Users\Public\PublicDocuments\Velox\ThinQuad_202100902_ITkpix-v1lVprobe.spp
で、高さ等のパラメータが読み込まれる。



測定GUI
C:\work\Silicon\SiliconTestSetupApp - ff\SiliconTestSetupApp.sln

IV
Run IV scanをチェック選択する
Frequencyを10kHzにする
End Voltageを600Vにする(未照射サンプルは200Vまで)



  -- Atlasj Silicon - 2023-02-27
 
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