Form Factor Prober usage instructions

• 試料のセットの際には、プローバーの左にある大きなレバーを上げて行う。
• サンプルをケースから取り出すには、プローバーの後ろの机にあるGel-PakのTRAY-VACを使う。ケースをTRAY-VACの上に置き、すこし抑えつけながらTRAY－VACの”TRAY RELEASE"をONにする。Vacuum Penでサンプルを持ち上げる。持ち上げたらTRAY-VACはOFFにする。落ちた場合にケースに着地するようにケースを下に持ちながら、プローバーの資料台でVacuum Penをリリースする。

• 格納庫を閉める。

〇プローバー操作の手順
※プローバー内で資料を測定点に移動し位置を調整、プローブで接触する間は、照明をつける。測定の際には、HVがかかるため、かならず照明を消すこと！　照明は、マウスの左に置いてある「eVue」のリモコンの、照明ボタンで明暗を調整する。

※まず、プローバー左のレバーを上げたままでだいたいの位置決めをする。だいたいの位置が決まってからレバーは降ろす。レバーは、プローバーGUI内でカメラ画面を見ながらおろす。（基本的にチャック（台）が上がりすぎることはないと考えられるが、万が一そうなると、試料を傷つけプローバーの針も壊してしまう）
※まず、針がカメラの中心にある場合を想定し、ステージを移動しながら位置合わせをする。Control-Centerで左のアイコン”Chuck　Stage”が選択されている状態ではじめること。
※移動中は、Z Setupは、赤いアイコン”Move to Separation Height”にセットしておくこと（その他のアイコンに設定されている場合は、赤に自動で移る。）

1. "Zoom Preset 1"のカメラのまま、測りたい素子の周辺まで移動してから、プローバーのレバーを下げる。
2. "Zoom Preset 3"のカメラに切り替え、プローブしたい端子が画面中央に来るように移動する。
3. eVueのリモコンで、ダイヤルを回すとカメラのフォーカスを調整できる。プローブしたいパッドにフォーカスを合わせ作業をすすめる。

1. 実際に接触させるのは、プローバー本体上で針をホールドしているDPP205のダイヤルを回しながら針を下して行う。その際、画面のカメラ画像をよく見ながらゆっくり針を降ろしていき、パッドと接触するのを確認したら止める。パッドと接触した途端に、針先の動く角度が変化することで判断する。

※ポリシリコン抵抗を測る場合など、２か所以上をプローブする場合は、まず１カ所目のプローブ針を調整してコンタクトを確立する。そのあと、GUI左上にあるControl-CenterでScope　Stageに設定（カメラの位置合わせの設定）し、カメラを２本目のプローブ針に合わせる。２か所目の位置合わせは、GUIは頼らずDPP205で行う。DPP205で触れない範囲の場合は、試料の置き直しで対応する。

・測定が終わった時：