2日目 (様々なサンプルプログラムとsdeの構築) -- 演習問題
問題1 (橋本)
Simple2Dの例題のSimple2D_des.cmdファイルで行っていること理解して説明せよ。
問題2(今村)
Simple3Dの例題で作った構造体のpixel数を5x5にして構造体を作ってみよ。
問題3(鈴木)
Simple2Dの例題で作った構造体のn+電極の形を知るため、リンのドープ量の垂直および水平方向のプロファイルをプロットして、どのような形になっているかを調べよ。
また、リンドープのgaussian-profileの Gauss の "Factor" の値を変えてどのようなプロファイルに変化するかを調べよ。
問題4(応用) (今村)
Simple2Dの例題で電極間分離のために p-sprayを使っているが、これを電極と電極の間の中央に幅2um深さ1.2umのホウ素のドープ(p-stop)を生成せよ。svisualでうまく作れたことを確認する。
(難しい場合は前回のmyexampleの例を参考にしてみるとよい)
北先生によるありがたい回答例 : Simple2D_dvs.cmd
--
Koji Nakamura - 2020-05-16
Comments