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-- Tatsuki Ueda - 2020-10-30

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STRIP型のセンサーのうち、A-3を用いてストリップでの酸化膜を介したAC電極の静電容量(カップリングキャパシタンス)を測定する

また、Strip型センサーはDC電極にワイヤーを打つことができ、ポリシリコン抵抗を直接測定することができるため、IV測定を行うことによって求めることにする。

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32um/37um/42um/47umのCcp測定

47umでCisを測定、ほとんどがCcpと同じ大きさであったため、Cisは非常に小さいという結論に

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