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TitleArticle text. -- Tatsuki Ueda - 2020-10-3010/29STRIP型のセンサーのうち、A-3を用いてストリップでの酸化膜を介したAC電極の静電容量(カップリングキャパシタンス)を測定する また、Strip型センサーはDC電極にワイヤーを打つことができ、ポリシリコン抵抗を直接測定することができるため、IV測定を行うことによって求めることにする。10/3032um/37um/42um/47umのCcp測定 47umでCisを測定、ほとんどがCcpと同じ大きさであったため、Cisは非常に小さいという結論にComments |