2ndTCADWSSDEtu < Main

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---+ *sde&#x306E;&#x5FA9;&#x7FD2;*

2&#x500B;&#x306E;&#x96FB;&#x6975;&#x3092;&#x6301;&#x3064;LGAD&#x306E;&#x69CB;&#x9020;&#x3092;&#x4F5C;&#x308B;&#x30C1;&#x30E5;&#x30FC;&#x30C8;&#x30EA;&#x30A2;&#x30EB;.

&#x6700;&#x521D;&#x306B;&#x5B9F;&#x969B;&#x306B;TCAD&#x3092;&#x52D5;&#x304B;&#x3057;&#x3066;&#x307F;&#x305F;&#x5F8C;&#x3001;sde_dev.cmd&#x3092;&#x3044;&#x3058;&#x3063;&#x3066;&#x3044;&#x304D;&#x307E;&#x3059;.

<img alt="sde01.png" height="299" src="%ATTACHURL%/sde01.png" title="sde01.png" width="300" />
---++++ &#x30D7;&#x30ED;&#x30B8;&#x30A7;&#x30AF;&#x30C8;&#x3092;&#x4F5C;&#x308B;
<pre><span class='WYSIWYG_TT'>cd /home/[username]/work/Silicon/TCAD/Synopsys/tutorials</span><br /><span class='WYSIWYG_TT'>mkdir LGAD</span></pre> <pre><span class='WYSIWYG_TT'>swb&amp;</span></pre>

<img alt="sde02.png" height="350" src="%ATTACHURL%/sde02.png" title="sde02.png" width="442" />

GUI&#x4E2D;&#x306E;tool bar&#x304B;&#x3089;

Project -&gt; New -&gt; New Project

Project -&gt; Save As -&gt; Project
<pre><span class='WYSIWYG_TT'>/home/[username]/work/Silicon/TCAD/Synopsys/tutorials/LGAD/Strip</span></pre>

-&gt;OK
---++++ sde_dvs.cmd&#x3092;&#x4F5C;&#x308B;

&#x4ECA;&#x56DE;&#x306F;&#x3067;&#x304D;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x3082;&#x306E;&#x3092;&#x30B3;&#x30D4;&#x30FC;
.

<pre><span class='WYSIWYG_TT'>cd ~/work/Silicon/TCAD/Synopsys/tutorials/LGAD/Strip
cp /home/onaru/work/Silicon/TCAD/Synopsys/tutorials/LGAD/example/sde_dvs.cmd ./</span></pre>

Project tab&#x3067;No tools&#x3092;&#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF;-&gt;Add

<img alt="sde03.png" height="184" src="%ATTACHURL%/sde03.png" title="sde03.png" width="300" />

Name: sde

Run As: batch

-&gt;OK

///

node&#x756A;&#x53F7;&#x306E;&#x8868;&#x793A;.

tool bar&#x3067;&#x3000;View-&gt; Tree Options-&gt; Show Node Numbers

///
---++++ &#x5909;&#x6570;&#x306E;&#x8A2D;&#x5B9A;(p-well&#x5C64;&#x306E;&#x6FC3;&#x5EA6;)

Project tab&#x4E2D;&#x3000;SDE&#x30A2;&#x30A4;&#x30B3;&#x30F3;&#x4E0B;&#x306E;&#x30BB;&#x30EB;&#x3092;&#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF;-&gt; Add Parameter/Values

<img alt="sde04.png" height="331" src="%ATTACHURL%/sde04.png" title="sde04.png" width="300" />

Parameter: Dpwell

List of Values: 1e+16

-&gt;OK

<img alt="sde05.png" height="350" src="%ATTACHURL%/sde05.png" title="sde05.png" width="442" />

&#x8D70;&#x3089;&#x305B;&#x3066;&#x307F;&#x308B;.

[n1]&#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF;-&gt;Run

&#x4FDD;&#x5B58;&#x3059;&#x308B;&#x304B;&#x805E;&#x304B;&#x308C;&#x308B;&#x306E;&#x3067;yes.

<img alt="sde06.png" height="265" src="%ATTACHURL%/sde06.png" title="sde06.png" width="300" />

Concurrency Mode: Limited

-&gt;OK

&#x30B9;&#x30C6;&#x30FC;&#x30BF;&#x30B9;&#x306B;&#x3088;&#x3063;&#x3066;node&#x306E;&#x8272;&#x304C;&#x5909;&#x308F;&#x308B;.

<img alt="sde07.png" height="19" src="%ATTACHURL%/sde07.png" title="sde07.png" width="400" />

done&#x306B;&#x306A;&#x3063;&#x305F;&#x3089;,

[n1] &#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF; -&gt; Visualize -&gt; Sentaurus Visual (selected file)

<img alt="sde08.png" height="164" src="%ATTACHURL%/sde08.png" title="sde08.png" width="300" />

n1_msh.tdr -&gt; OK

<img alt="sde09.png" height="222" src="%ATTACHURL%/sde09.png" title="sde09.png" width="300" />

&#x73FE;&#x72B6;&#x3067;&#x306F;&#x96FB;&#x6975;1&#x3064;&#x306E;&#x69CB;&#x9020;&#x304C;&#x898B;&#x3048;&#x308B;&#x306F;&#x305A;.

sde_dvs.cmd&#x3092;&#x7DE8;&#x96C6;&#x3057;&#x3066;&#x3082;&#x3046;&#x4E00;&#x3064;&#x306E;&#x96FB;&#x6975;&#x3092;&#x4F5C;&#x308B;.
---++++ sde_dvs.cmd&#x306E;&#x7DE8;&#x96C6;

sde_dev.cmd&#x3092;&#x898B;&#x306A;&#x304C;&#x3089;&#x3082;&#x3046;&#x4E00;&#x3064;&#x306E;&#x96FB;&#x6975;&#x3092;&#x4F5C;&#x3063;&#x3066;&#x3044;&#x304F;.

&#x4E2D;&#x8EAB;&#x306F;&#x5927;&#x304D;&#x304F;&#x5206;&#x3051;&#x3066;4&#x3064;&#x306E;&#x30D1;&#x30FC;&#x30C8;&#x304B;&#x3089;&#x6210;&#x308B;.
   * PARAMETERS
   * GEOMETRY
   * DOPING
   * MESH
&lt;PARAMETERS&gt;, &lt;SET Min Max&gt;

&#x5F8C;&#x3005;&#x4F7F;&#x3046;&#x69CB;&#x9020;&#x306E;&#x9577;&#x3055;&#x3084;&#x3001;&#x6FC3;&#x5EA6;&#x306A;&#x3069;&#x3092;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x3059;&#x308B;&#x3068;&#x3053;&#x308D;.

&#x5B9A;&#x7FA9;&#x306E;&#x4ED5;&#x65B9;&#x306F;,

(define &#x30D1;&#x30E9;&#x30E1;&#x30FC;&#x30BF;&#x540D;&#x3000;&#x6570;).

&#x6570;&#x306E;&#x5358;&#x4F4D;&#x306F;&#x9577;&#x3055;:&#x30DE;&#x30A4;&#x30AF;&#x30ED;&#x30E1;&#x30FC;&#x30C8;&#x30EB;, &#x6FC3;&#x5EA6;:&#x7ACB;&#x65B9;&#x30BB;&#x30F3;&#x30C1;&#x30E1;&#x30FC;&#x30C8;&#x30EB;&#x5F53;&#x305F;&#x308A;&#x306E;atom&#x6570;.

&#x56DB;&#x5247;&#x6F14;&#x7B97;&#x306F;&#x8A18;&#x53F7;&#x3092;&#x524D;&#x306B;&#x51FA;&#x3057;&#x3066;&#x62EC;&#x5F27;&#x3067;&#x304F;&#x304F;&#x308B;.

&#x8DB3;&#x3057;&#x7B97;A+B: (+ A B)

&#x5F15;&#x304D;&#x7B97;A-B: (- A B)

&#x639B;&#x3051;&#x7B97;A×B: (* A B)

&#x5272;&#x308A;&#x7B97;A/B: (/ A B)

&#x5909;&#x6570;&#x306F;@&#x5909;&#x6570;&#x540D;@&#x3067;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x3059;&#x308B;.

&#x4F8B;&#x3048;&#x3070;,

L46 =(define substrate_thickness 150.)= = &#x30BB;&#x30F3;&#x30B5;&#x30FC;&#x306E;&#x539A;&#x307F;&#x3092;150µm&#x306B;&#x8A2D;&#x5B9A;&#x3059;&#x308B;.

L62 =(define p_well_L_position (+ n_electrode_L_position 10)= = pwell&#x5C64;&#x306E;x&#x65B9;&#x5411;&#x306E;&#x958B;&#x59CB;&#x5730;&#x70B9;&#x3092;(N&#x96FB;&#x6975;&#x306E;x&#x65B9;&#x5411;&#x306E;&#x958B;&#x59CB;&#x5730;&#x70B9;+10)µm&#x306B;&#x8A2D;&#x5B9A;&#x3059;&#x308B;.

L75 <span class="WYSIWYG_TT">(define p_well_doping_concentration @ Dpwell@)</span> = &#x5909;&#x6570;Dpwell&#x3068;&#x3057;&#x3066;pwell&#x5C64;&#x306E;&#x6FC3;&#x5EA6;&#x3092;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x3059;&#x308B;.

&#x30BB;&#x30DF;&#x30B3;&#x30ED;&#x30F3;&#x306F;&#x30B3;&#x30E1;&#x30F3;&#x30C8;&#x30A2;&#x30A6;&#x30C8;.

&#x4ECA;&#x306F;&#x5DE6;&#x5074;&#x306E;&#x96FB;&#x6975;n_electrode_L, p_well_L&#x306B;&#x95A2;&#x3059;&#x308B;&#x3068;&#x3053;&#x308D;&#x3060;&#x3051;&#x304C;&#x6709;&#x52B9;&#x306B;&#x306A;&#x3063;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x306E;&#x3067;&#x3001;&#x53F3;&#x5074;&#x306E;&#x96FB;&#x6975;n_electrode_R, p_well_R&#x306B;&#x95A2;&#x3059;&#x308B;&#x30B3;&#x30E1;&#x30F3;&#x30C8;&#x30A2;&#x30A6;&#x30C8;&#x3092;&#x5916;&#x3057;&#x3066;&#x3044;&#x3063;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;.

&lt;GEOMETRY&gt;

&#x30C7;&#x30D0;&#x30A4;&#x30B9;&#x306E;&#x5927;&#x304D;&#x3055;&#x3084;&#x30C7;&#x30D0;&#x30A4;&#x30B9;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;&#x306E;&#x969B;&#x306B;&#x4F7F;&#x3046;&#x96FB;&#x6975;&#x3092;&#x6C7A;&#x3081;&#x308B;&#x3068;&#x3053;&#x308D;.

&#x306F;&#x3058;&#x3081;&#x306B;&#x30D0;&#x30EB;&#x30AF;&#x90E8;&#x306E;&#x9818;&#x57DF;&#x306E;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x3092;&#x3057;&#x305F;&#x5F8C;&#x3001;&#x305D;&#x308C;&#x305E;&#x308C;&#x306E;&#x96FB;&#x6975;&#x3092;&#x4F5C;&#x3063;&#x3066;&#x3044;&#x308B;.

&#x3053;&#x3053;&#x3067;&#x3082;n_electrode_R&#x306B;&#x95A2;&#x3059;&#x308B;&#x3068;&#x3053;&#x308D;&#x304C;&#x30B3;&#x30E1;&#x30F3;&#x30C8;&#x30A2;&#x30A6;&#x30C8;&#x3055;&#x308C;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x306E;&#x3067;&#x3001;&#x5916;&#x3057;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;.

&lt;DOPING&gt;

&#x4E0D;&#x7D14;&#x7269;&#x6FC3;&#x5EA6;&#x3092;&#x6C7A;&#x3081;&#x308B;&#x3068;&#x3053;&#x308D;.

&#x306F;&#x3058;&#x3081;&#x304C;&#x30D0;&#x30EB;&#x30AF;&#x90E8;&#x306B;&#x5BFE;&#x3059;&#x308B;&#x4E00;&#x69D8;&#x306A;&#x4E0D;&#x7D14;&#x7269;&#x6FC3;&#x5EA6;&#x306E;&#x5B9A;&#x7FA9;.

&#x305D;&#x306E;&#x5F8C;&#x306B;N+, P+, Pwell&#x306B;&#x5BFE;&#x3059;&#x308B;&#x7AEF;&#x304C;&#x30AC;&#x30A6;&#x30B7;&#x30A2;&#x30F3;&#x3067;&#x6E1B;&#x5C11;&#x3059;&#x308B;&#x5206;&#x5E03;&#x306E;&#x5B9A;&#x7FA9;.

&#x3053;&#x3053;&#x3067;&#x3082;n_electrode_R, p_well_R&#x306B;&#x95A2;&#x3059;&#x308B;&#x3068;&#x3053;&#x308D;&#x304C;&#x30B3;&#x30E1;&#x30F3;&#x30C8;&#x30A2;&#x30A6;&#x30C8;&#x3055;&#x308C;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x306E;&#x3067;&#x3001;&#x5916;&#x3057;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;.

&lt;MESH&gt;

&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;&#x306E;&#x7D30;&#x304B;&#x3055;&#x3092;&#x6C7A;&#x3081;&#x308B;&#x3068;&#x3053;&#x308D;.&#x5168;&#x4F53;&#x306B;&#x5BFE;&#x3059;&#x308B;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x306F;,

<span>;Refinament SUBSTRATE (ALL)</span><br /><span>(sdedr:define-refeval-window "RFW1" "Rectangle" (position Xmin Ymin 0) (position Xmax Ymax 0))</span><br /><span>(sdedr:define-refinement-size "RFS1" (/ Xmax 50) (/ Ymax 10) (/ Xmax 500) (/ Ymax 100))</span><br /><span>(sdedr:define-refinement-placement "RFP1" "RFS1" "RFW1")</span>

2&#x884C;&#x76EE;&#x3067;&#x9818;&#x57DF;&#x3001;3&#x884C;&#x76EE;&#x3067;&#x5206;&#x5272;&#x3001;4&#x884C;&#x76EE;&#x3067;mesh&#x3092;&#x304B;&#x3051;&#x308B;.

&#x305D;&#x306E;&#x5F8C;&#x3001;&#x96FB;&#x6975;&#x306B;&#x5BFE;&#x3057;&#x3066;&#x3055;&#x3089;&#x306B;&#x7D30;&#x304B;&#x3044;&#x30E1;&#x30C3;&#x30B7;&#x30E5;&#x3092;&#x4F5C;&#x3063;&#x3066;&#x3044;&#x308B;.

&#x3053;&#x3053;&#x3067;&#x3082;n_electrode_R&#x306B;&#x95A2;&#x3059;&#x308B;&#x3068;&#x3053;&#x308D;&#x304C;&#x30B3;&#x30E1;&#x30F3;&#x30C8;&#x30A2;&#x30A6;&#x30C8;&#x3055;&#x308C;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x306E;&#x3067;&#x3001;&#x5916;&#x3057;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;.

---

&#x30B3;&#x30E1;&#x30F3;&#x30C8;&#x30A2;&#x30A6;&#x30C8;&#x3092;&#x5168;&#x3066;&#x5916;&#x3057;&#x305F;&#x3089;&#x3082;&#x3046;&#x4E00;&#x5EA6;&#x8D70;&#x3089;&#x305B;&#x3066;&#x3001;sentaurus visual&#x3067;&#x898B;&#x3066;&#x307F;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;.

&#x5148;&#x307B;&#x3069;&#x306E;&#x53F3;&#x5074;&#x306B;&#x3082;&#x3046;&#x4E00;&#x3064;&#x96FB;&#x6975;&#x304C;&#x3067;&#x304D;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x306F;&#x305A;.

&#x5931;&#x6557;&#x3059;&#x308B;&#x5834;&#x5408;&#x306F;n1_dev.log&#x3067;&#x30ED;&#x30B0;&#x304C;&#x898B;&#x308C;&#x308B;&#x306E;&#x3067;&#x78BA;&#x8A8D;&#x3057;&#x3066;&#x307F;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;.

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