IV測定・CV測定シミュレーション LGAD編
IV測定シミュレーション
SDEVICEについての詳しい説明はJohnがしてくれます.
ここではとりあえず動かしてみましょう.
IV測定用のsdevice_des.cmdをコピーしてきます.
cp /home/swada/work/Sentaurus/TCAD_WS/sdevice_des.cmd_IV ./
cp sdevice_des.cmd_IV sdevice_des.cmd
SDEのアイコンのところで右クリック -> Add
Name: sdevice
-> OK
ここでも特に変数はないので,[n3] 右クリック -> Runで走らせます.
N+電極をGNDにして,P+電極に0〜−50Vかかるようなプログラムにしています.
Runが終わったら,[n3] 右クリック -> Visualize -> Inspect (selected file)
(selectしなくても勝手に開かれます)
Datasets : p_electrode -> Outer Voltage -> To X-Axis
Datasets : p_electrode -> Total Current -> To Left Y-Axis
グラフが描けたら,縦軸をダブルクリックしてScale tabで値をいれてLogにしてみてください.
LGADなので段が見えていますが,上のようなグラフになれば成功です.
CV測定シミュレーション
CV用にprojectを新しく作り,同じsde_dvs.cmdとCV測定用のsdevice_des.cmdをコピーしてきます.
tool barから.
Project -> New -> New Project
Project -> Save As -> Project
/home/[username]/work/Silicon/TCAD/Sentaurus/tutorials/LGAD/CV
-> OK
cd ~/work/Silicon/TCAD/Sentaurus/tutorials/LGAD/CV
cp ../IV/sde_dvs.cmd ./
cp /home/swada/work/Sentaurus/TCAD_WS/sdevice_des.cmd_CV ./
cp sdevice_des.cmd_CV sdevice_des.cmd
IV測定シミュレーション同様,特に変数はないので,[n3] 右クリック -> Runで走らせます.
N+電極をGNDにして,P+電極に0〜−50Vかかるようなプログラムにしています.
Runが終わったら,[n3] 右クリック -> Visualize -> Inspect (selected file)
Inspectが開いたら,tool barから.
File -> Load Dataset -> "CV_ac_des.plt" -> Open
Datasets : CV_ac_des.plt
Datasets : v(rear) -> To X-Axis
Datasets : c(rear, rear) -> To Left Y-Axis
グラフが描けたら,tool barにあるlogYのアイコンをクリックしてみてください.
LGADなので段が見えていますが,上のようなグラフになれば成功です.
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Atlasj Silicon - 2018-06-26
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