Humidity Measurement

測定項目、試験の流れ

１、IV初期測定：センサー特性、良品不良品の判定

　　　　↓

２、IV湿度依存性測定：湿度を30, 50, 70%@25degCと変化させIV測定を行う

　　　　↓　湿度依存性がない場合４にスキップ

３、ホットエレクトロン撮影：不具合箇所の特定を行う

　　　　↓

４、長期安定性試験：一般に２４時間程度

各測定の方法

IV測定

-- Junki Suzuki - 2018-03-22

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