Difference: ITkStripQA2 (1 vs. 33)

Revision 332025-02-22 - ShigekiHirose

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA2 (配線の切り替えがHVケーブルのみのセットアップ)

Under construction.

-- %USERSIG{ShigekiHirose - 2020-08-19}

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

すべての測定には最低でもPC、LCRメーター2台、ソースメーター2台、スイッチ操作装置(TUSB-PIO)、Raspiを用いた温度計システムと測定サンプルを装着する基盤が必要です。

B4奥クリーンルームのデスク、左のWindowsマシン上で、StripQAControlGUIソフトウェアから機器を操作して測定する。

テストチップの測定サイクルは、

配線を繋ぎ変え・確認
LCRメータのキャリブレーション
サンプルをtestChip用基盤に装着
－20℃に冷却
HVが問題なくかかるかどうか、手動でチェック
測定　（5項目：バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動）
常温に戻し、テストチップをしまう

MD8の測定サイクルは、

配線を繋ぎ変え・確認
LCRメータのキャリブレーション
サンプルをMD8用基盤に装着
－20℃に冷却
Ccpl測定
HVケーブルをつなぎ変え
CMOS 酸化膜容量測定
MD8測定
常温に戻し、テストチップをしまう

測定サンプルを装着する基盤

恒温槽内に２つの測定サンプル装着用基板がある。

（左）テストチップ測定用基板―バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動
（右）MD8測定用基板―カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated)

温度測定スクリプトがまだ走っていなければ、本ページ末尾のほうにある「温湿度計について」を見ながらスクリプトを走らせておく。
WindowsマシンのメニューバーにあるVisual Studio（紫色の∞アイコン）を起動。
SiliconTestSetupApp.sln をクリックして読み込む。(full pathは c:Users\atlas\Source\Repos\SiliconTestSetupApp_update)
画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。
最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるが、Strip QA用のデバイスはコードの中のパラメータとして設定しているので、何も選択せずにStrip QAをクリックしてください。

テストチップ測定方法

以下Calibration手順は、TestChipとMD8を繋ぎ変えていたころのもの。最近は同時に測定できるようになっている。（要編集）

注：それぞれのキャリブレーション後、"XXXXX measurement completed"が表示されていることを、必ず確認すること！時々、E43: measurement failedが出てしまうことがあり、その場合はキャリブレーションをやり直す必要があります。

キャリブレーションが終わったら、サンプルを基板に装着する。照射サンプルの場合は、-20度に冷やす。

LCRメーターのcalibration　（TestChip基板接続時）

Calibrationは、常温で行う。

OPEN Calibration
1. testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
  1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
SHORT Calibtation
1. testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

calibration時の配線ではHV2410とHV-MD8を繋いでください

Calibration（MD8接続時）

配線を付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。
testChip用でなくMD8用基板を使用することと、Shortサンプルに「MD8・MOS用」の方を使う以外は、TestChipのときのCalibrationと同じやり方。

Calibrationは、常温で行う。

OPEN Calibration
1. MD8装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
  1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
SHORT Calibtation
1. MD8装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

<!--

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

GUIでDev_Open、(PortA をOutputにしてDirectionSet)をクリックし、PortAのスイッチがすべてOnになっていること(数字の横の赤いランプが光ること)を確認します。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

!-->

測定サンプルのセットアップ・冷却

testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基板に装着する。
照射済みサンプルの場合は、恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。（未照射サンプルは20℃）

注：測定用基板に装着する前に、サンプル（カバーの中）を恒温槽もしくはデシケータ（窒素ガスが流れている）に入れて、表面が乾燥するまで待つこと！霜や水滴がついたままだと、HVがかかったときにサンプルを破壊してしまう場合がある。

StripQAControlGUI のパラメータ設定

Sample Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXもしくはVPAを除いた数字5桁)を記入した後、SETをクリックしてください。もし同じバッチで2つ以上のテストチップがある場合には、メッセージが表示されますので、その場合はWafer No.も入力してください。

忘れずにOperator Nameに名前を入力してください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

TestChip （5項目）とMD8（2項目）の測定

ここまで出来たら各測定に進めます。

TestChip4 項目（バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間容量、PTP測定）→MD8の2項目（IVCV、カップリングに流れる暗電流）→TestChip1項目（ストリップ間抵抗）

の順に、全７項目を測定します。

必ず、以下の順番で測定を進めてください。ストリップ間抵抗は微妙な温度のふらつきに敏感なので、センサーの温度が十分に安定するよう、一番最後に測定します。

(恒温槽が-20℃になってから測定を開始し、PTP測定後にRint測定のために1時間経過を待つ間にMD8のIVCV,カップリングの暗電流を測定をする#20230821)

TestChip の4項目の測定

※※※※※※HVケーブルがPCB3につながっていることを確認！※※※※※※

バイアス抵抗（「Rbias」と書かれた緑のボタンをクリック）

デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量（「Ccpl」と書かれた緑のボタンをクリック）

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。

ストリップ間容量

必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！
その後、「Cint」と書かれた緑のボタンをクリック）

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

※Cint測定中に、電流が測定できないことがある。アドレス15のKeithley2700で、通常は数μAの電流が流れる。これが起きた場合は、測定をStopし、再測定する。改善しない場合は、リレーを手動でつなぎ、再測定する。（リレーの手動でのつなぎ方は、本ページ終わりのほうのセクション「リレーを手動で接続する」を参照。）

PTP

必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！
その後、「PTP」と書かれた緑のボタンをクリック

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

MD8の測定：IVCVとカップリング漏れ電流

ここでMD8の測定を行う。カップリングの暗電流測定後に配線を戻してストリップ間抵抗を測定する。測定手順については「カップリング漏れ電流、MD8の測定」を参照してください。

※※※※※※HVケーブルをHV-MD8に繋ぎ変えること※※※※※※

※※※Batch＃をCLEAR、書き換えること！※※※

MD8のIVCV

0~-500Vを10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

カップリングの暗電流

※※※必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！※※※

GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

TestChip のRintの測定

ここまで終了したら"HV-MD8"に繋いだHV2410をPCB3に戻してRintの測定を行う。

ストリップ間抵抗

必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！
必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！.SET。
※※※※※HVケーブルがPCB3につながっているか確認※※※※※
※※※Batch＃をCLEAR、書き換えること！※※※
その後、「Rint」と書かれた緑のボタンをクリック

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-1~1Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

酸化膜容量(QA測定からは除外)　

注：酸化膜容量の測定は、陽子照射後にはうまくできないことがわかったので、やらないことになっています。

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

温湿度計について

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。

ssh -l atlasj 130.87.242.194
cd ~/work/stripQA
sh i2cget.sh
nohup python thermohydrometer.py

以上で、温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows（130.87.243.248）のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。

設定方法は以下の通り。 --> あるタイミングでSambaでのマウントがうまく行かなくなったのと、あまり必要もないのでやめました。

[Windows側]

1. 共有フォルダ―を作る。例えばsharedというフォルダーを作り、右クリック→プロパティから共有設定をする。参考→ https://pc-karuma.net/windows-10-share-files-folders/

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

Deleted:

<
<

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

Deleted:

<
<

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

Deleted:

<
<

[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。

Deleted:

<
<

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。

測定結果をatlaspc7にアップロードする

測定結果を定期的に主導でatlaspc7にアップロードする。

cygwinを立ち上げる
./backup.sh を実行

リレーを手動で接続する

Control Panel で、左下にある「TUSB Form」を開く。

以下を見て、つなぐべき接点を確認する。
- http://atlaspc5.kek.jp/elog/ATLAS+strip/3
TUSBの設定GUI内で、”Dev_Open”をクリックし、編集モードに入る。
つなぎたい接点にマークを付ける。
"Dev_Close"をクリックする。

測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

以後はE-logへ → Strip E-log

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 486　Pico Ammeter
  - Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  - Keithley エラーメッセージマニュアル

Changed:

<
<

- - - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm

>
>

- - - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm --> リンク切れ
    - https://download.tek.com/manual/6487-901-01(B-Mar2011)(Ref).pdf

Added:

>
>

LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
恒温槽
- マニュアル

参考資料

ストリップQA関係
Test chip measurement guide
Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
QA data format (.pptxのやつ)
Test chipの配線とか
E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
MOS capacitors
ITk strip sensor QA TWiki
QA status
List of switches in TUSBPIO
照射サンプルの準備の仕方, テストチップの巻き方の改善
センサーカバー
GPIBデバイス一覧

ATLAS-J-ITk

K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)

Strip sensor meeting

メモ

もともとTestChipとMD8の記述をべつべつにしていた(r32まで)が、現在の測定サイクルは、TestChipのRint以外4項目を測定→MD8の2項目測定→TestChipのRintを測定としている。作業中に時系列的に読めるように記述の順を変更する。

META FILEATTACHMENT	attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"

Revision 322023-08-23 - AtlasjSilicon

  META TOPICPARENT 
 name="WebHome" 

 ITk strip QA2 (配線の切り替えがHVケーブルのみのセットアップ) 

Under construction.
- META TOPICPARENT
+ name="WebHome"
-<
<
+--   Shigeki Hirose  - 2020-08-19
->
>
+-- %USERSIG{ShigekiHirose - 2020-08-19}
  QAシステム概要 

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

すべての測定には最低でもPC、LCRメーター2台、ソースメーター2台、スイッチ操作装置(TUSB-PIO)、Raspiを用いた温度計システムと測定サンプルを装着する基盤が必要です。

B4奥クリーンルームのデスク、左のWindowsマシン上で、StripQAControlGUIソフトウェアから機器を操作して測定する。

テストチップの測定サイクルは、 

 配線を繋ぎ変え・確認
  LCRメータのキャリブレーション
  サンプルをtestChip用基盤に装着
  －20℃に冷却
  HVが問題なくかかるかどうか、手動でチェック
  測定　（5項目：バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動）
  常温に戻し、テストチップをしまう
 
MD8の測定サイクルは、 
 配線を繋ぎ変え・確認
  LCRメータのキャリブレーション
  サンプルをMD8用基盤に装着
  －20℃に冷却
  Ccpl測定
  HVケーブルをつなぎ変え
  CMOS 酸化膜容量測定
  MD8測定
  常温に戻し、テストチップをしまう
 
 測定サンプルを装着する基盤 

恒温槽内に２つの測定サンプル装着用基板がある。 

 （左）テストチップ測定用基板―バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動
  （右）MD8測定用基板―カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定
 
To be written.
 StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated) 
 
 温度測定スクリプトがまだ走っていなければ、本ページ末尾のほうにある「温湿度計について」を見ながらスクリプトを走らせておく。
  WindowsマシンのメニューバーにあるVisual Studio（紫色の∞アイコン）を起動。
  SiliconTestSetupApp.sln をクリックして読み込む。(full pathは c:Users\atlas\Source\Repos\SiliconTestSetupApp_update)
  画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。
  最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるが、Strip QA用のデバイスはコードの中のパラメータとして設定しているので、何も選択せずにStrip QAをクリックしてください。
 
 テストチップ測定方法
-<
<
+ LCRメーターのcalibration
->
>
+以下Calibration手順は、TestChipとMD8を繋ぎ変えていたころのもの。最近は同時に測定できるようになっている。（要編集）

注：それぞれのキャリブレーション後、"XXXXX measurement completed"が表示されていることを、必ず確認すること！時々、E43: measurement failedが出てしまうことがあり、その場合はキャリブレーションをやり直す必要があります。

キャリブレーションが終わったら、サンプルを基板に装着する。照射サンプルの場合は、-20度に冷やす。
 LCRメーターのcalibration　（TestChip基板接続時）
 Calibrationは、常温で行う。 
 OPEN Calibration 
 testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。 
 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
 
 
  SHORT Calibtation 
 testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。
 
 
注：それぞれのキャリブレーション後、"XXXXX measurement completed"が表示されていることを、必ず確認すること！時々、E43: measurement failedが出てしまうことがあり、その場合はキャリブレーションをやり直す必要があります。

calibration時の配線ではHV2410とHV-MD8を繋いでください
->
>
+ Calibration（MD8接続時） 

配線を付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。
testChip用でなくMD8用基板を使用することと、Shortサンプルに「MD8・MOS用」の方を使う以外は、TestChipのときのCalibrationと同じやり方。

Calibrationは、常温で行う。 

 OPEN Calibration 
 MD8装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。 
 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
 
 
  SHORT Calibtation
 
 MD8装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。
 
 
<!--

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

GUIでDev_Open、(PortA をOutputにしてDirectionSet)をクリックし、PortAのスイッチがすべてOnになっていること(数字の横の赤いランプが光ること)を確認します。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

!-->
  測定サンプルのセットアップ・冷却 
 
 testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基板に装着する。
  照射済みサンプルの場合は、恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。（未照射サンプルは20℃）
 
注：測定用基板に装着する前に、サンプル（カバーの中）を恒温槽もしくはデシケータ（窒素ガスが流れている）に入れて、表面が乾燥するまで待つこと！霜や水滴がついたままだと、HVがかかったときにサンプルを破壊してしまう場合がある。
 StripQAControlGUI のパラメータ設定 

Sample Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXもしくはVPAを除いた数字5桁)を記入した後、SETをクリックしてください。もし同じバッチで2つ以上のテストチップがある場合には、メッセージが表示されますので、その場合はWafer No.も入力してください。

忘れずにOperator Nameに名前を入力してください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。
-<
<
+ バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間容量/抵抗、PTP測定
->
>
+ TestChip （5項目）とMD8（2項目）の測定
 ここまで出来たら各測定に進めます。
-<
<
+必ず、以下の順番で測定を進めてください。ストリップ間抵抗は微妙な温度のふらつきに敏感なので、センサーの温度が十分に安定するよう、一番最後に測定します。
->
>
+TestChip4 項目（バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間容量、PTP測定）→MD8の2項目（IVCV、カップリングに流れる暗電流）→TestChip1項目（ストリップ間抵抗）
-<
<
+※※※※※※HVケーブルがPCB3につながっていることを確認！※※※※※※
->
>
+の順に、全７項目を測定します。
->
>
+必ず、以下の順番で測定を進めてください。ストリップ間抵抗は微妙な温度のふらつきに敏感なので、センサーの温度が十分に安定するよう、一番最後に測定します。
 (恒温槽が-20℃になってから測定を開始し、PTP測定後にRint測定のために1時間経過を待つ間にMD8のIVCV,カップリングの暗電流を測定をする#20230821)
-<
<
+ バイアス抵抗（「Rbias」と書かれた緑のボタンをクリック）
->
>
+ TestChip の4項目の測定
->
>
+※※※※※※HVケーブルがPCB3につながっていることを確認！※※※※※※
 バイアス抵抗（「Rbias」と書かれた緑のボタンをクリック）
 デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。
->
>
+ カップリング容量（「Ccpl」と書かれた緑のボタンをクリック）
-<
<
+ カップリング容量（「Ccpl」と書かれた緑のボタンをクリック）
 kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。
->
>
+ ストリップ間容量
-<
<
+ ストリップ間容量（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「Cint」と書かれた緑のボタンをクリック）
->
>
+必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！
その後、「Cint」と書かれた緑のボタンをクリック）
->
>
 照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
-<
<
+ PTP（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「PTP」と書かれた緑のボタンをクリック）
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。
->
>
+※Cint測定中に、電流が測定できないことがある。アドレス15のKeithley2700で、通常は数μAの電流が流れる。これが起きた場合は、測定をStopし、再測定する。改善しない場合は、リレーを手動でつなぎ、再測定する。（リレーの手動でのつなぎ方は、本ページ終わりのほうのセクション「リレーを手動で接続する」を参照。）
 PTP
-<
<
+照射前は-150V
->
>
+必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！
その後、「PTP」と書かれた緑のボタンをクリック
-<
<
+照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。
 

 ここでMD8の測定をする
 
待機中にMD8の測定を行う。カップリングの暗電流測定後に配線を戻してストリップ間抵抗を測定する。測定手順については「カップリング漏れ電流、MD8の測定」を参照してください。

※※※※※※HVケーブルをHV-MD8に繋ぎ変えること※※※※※※
 

 ストリップ間抵抗（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！.SET。また、HVケーブルがPCB3につながっているか確認。その後、「Rint」と書かれた緑のボタンをクリック）
 
必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！
 照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V
-<
<
+測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。
->
>
+測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。
->
>
+ MD8の測定：IVCVとカップリング漏れ電流
-<
<
+測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
->
>
+ここでMD8の測定を行う。カップリングの暗電流測定後に配線を戻してストリップ間抵抗を測定する。測定手順については「カップリング漏れ電流、MD8の測定」を参照してください。
-<
<
->
>
+※※※※※※HVケーブルをHV-MD8に繋ぎ変えること※※※※※※
-<
<
+ここまで測定が終わったら、次にMD8とカップリング漏れ電流の測定のため、基板を切りかえます。基板切り替えのために恒温槽をあける場合には、常温まで戻すこと
->
>
+※※※Batch＃をCLEAR、書き換えること！※※※
->
>
+ MD8のIVCV
-<
<
+→基板の切り替えなく測定できるように変更。
->
>
+~-500Vを10Vステップで測定します。
-<
<
+PCB3にささっているHV2410の赤色タグの付いたケーブルを"HV-MD8"のタグが付いた緑色Lemoコネクタ（Iコネクタ付き）に繋ぐ。
 Calibration
->
>
+電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
 カップリングの暗電流
-<
<
+配線を付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。
testChip用でなくMD8用基板を使用することと、Shortサンプルに「MD8・MOS用」の方を使う以外は、TestChipのときのCalibrationと同じやり方。
->
>
+※※※必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！※※※
-<
<
+Calibrationは、常温で行う。
->
>
+GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。
-<
<
+ OPEN Calibration 
 MD8装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。 
 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
 
 
  SHORT Calibtation
 
 MD8装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。
-<
<
+<!--
->
>
+~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。
->
>
+ TestChip のRintの測定
-<
<
+Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。
->
>
+ここまで終了したら"HV-MD8"に繋いだHV2410をPCB3に戻してRintの測定を行う。
->
>
+ ストリップ間抵抗 
 
  必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！ 
   必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！.SET。 
   ※※※※※HVケーブルがPCB3につながっているか確認※※※※※ 
   ※※※Batch＃をCLEAR、書き換えること！※※※ 
  その後、「Rint」と書かれた緑のボタンをクリック
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。
-<
<
+GUIでDev_Open、(PortA をOutputにしてDirectionSet)をクリックし、PortAのスイッチがすべてOnになっていること(数字の横の赤いランプが光ること)を確認します。
->
>
+照射前は-150V
-<
<
+最初と同じ方法でCalibrationをしてください。
->
>
+照射後は-500V
-<
<
+!-->
->
>
+測定範囲はどちらも-1~1Vを0.1Vステップで測定します。
-<
<
+注：それぞれのキャリブレーション後、"XXXXX measurement completed"が表示されていることを、必ず確認すること！時々、E43: measurement failedが出てしまうことがあり、その場合はキャリブレーションをやり直す必要があります。
->
>
+測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
-<
<
+キャリブレーションが終わったら、サンプルを基板に装着する。照射サンプルの場合は、-20度に冷やす。
 カップリング漏れ電流、MD8の測定 
 MD8のIVCV 
 
 HVケーブルがHV-MD8のタグ付きLEMOケーブルにつながっていることを確認する
  GUIで、”MD8”をクリックする。 
 0~-500Vを10Vステップで測定します。
  電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
 
 
 カップリングの暗電流 

必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！ 

 GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。 
 0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。
 
 

ここまで終了したら"HV-MD8"に繋いだHV2410をPCB3に戻してRintの測定を行う。
  酸化膜容量(QA測定からは除外)　 

注：酸化膜容量の測定は、陽子照射後にはうまくできないことがわかったので、やらないことになっています。

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。
 温湿度計について 

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。 

 ssh -l atlasj 130.87.242.194
  cd ~/work/stripQA
  sh i2cget.sh
  nohup python thermohydrometer.py
 
以上で、温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows（130.87.243.248）のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。

設定方法は以下の通り。 --> あるタイミングでSambaでのマウントがうまく行かなくなったのと、あまり必要もないのでやめました。

[Windows側]

1. 共有フォルダ―を作る。例えばsharedというフォルダーを作り、右クリック→プロパティから共有設定をする。参考→ https://pc-karuma.net/windows-10-share-files-folders/

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。
 測定結果をatlaspc7にアップロードする 

測定結果を定期的に主導でatlaspc7にアップロードする。 

 cygwinを立ち上げる
  ./backup.sh を実行
->
>
+ リレーを手動で接続する 

Control Panel で、左下にある「TUSB Form」を開く。 

 以下を見て、つなぐべき接点を確認する。 
 http://atlaspc5.kek.jp/elog/ATLAS+strip/3
 
  TUSBの設定GUI内で、”Dev_Open”をクリックし、編集モードに入る。
  つなぎたい接点にマークを付ける。
  "Dev_Close"をクリックする。
  測定ログ 

8月　(QAMeasurementLog202008)

以後はE-logへ → Strip E-log
 マニュアルなど 
 
 ソースメーター 
 Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter 
 Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
 
  Keythley Model 486　Pico Ammeter 
 Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
 
  Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter 
 Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  Keithley エラーメッセージマニュアル 
 http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
 
 
 
 
 

 LCRメーター 
 Agilent 4284A Precision LCR Meter 
 Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
 
 
  恒温槽 
 マニュアル
 
 
 参考資料 
 
 ストリップQA関係
  Test chip measurement guide
  Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
  QA data format (.pptxのやつ)
  Test chipの配線とか
  E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
  MOS capacitors
  ITk strip sensor QA TWiki
  QA status
  List of switches in TUSBPIO 
  照射サンプルの準備の仕方, テストチップの巻き方の改善
  センサーカバー
  GPIBデバイス一覧
 
 

 ATLAS-J-ITk
 
 

 K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
  K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
  S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
  T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)
 
 

 Strip sensor meeting
 
 

 K. Hara on 28th October 2020
  K. Hara on 11th November 2020
  K. Saito on 7th April 2021 (Rint invsetigation/improvement)
  S. Hirose on 16th June 2021 (gamma-irradiated test chips)
 

 メモ
-<
<
+佐藤が編集するまえのバージョン：r19
->
>
+もともとTestChipとMD8の記述をべつべつにしていた(r32まで)が、現在の測定サイクルは、TestChipのRint以外4項目を測定→MD8の2項目測定→TestChipのRintを測定としている。作業中に時系列的に読めるように記述の順を変更する。
  META FILEATTACHMENT 
 attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"
- META FILEATTACHMENT
+ attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"

Revision 312023-08-22 - AtlasjSilicon

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA2 (配線の切り替えがHVケーブルのみのセットアップ)

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

B4奥クリーンルームのデスク、左のWindowsマシン上で、StripQAControlGUIソフトウェアから機器を操作して測定する。

テストチップの測定サイクルは、

配線を繋ぎ変え・確認
LCRメータのキャリブレーション
サンプルをtestChip用基盤に装着
－20℃に冷却
HVが問題なくかかるかどうか、手動でチェック
測定　（5項目：バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動）
常温に戻し、テストチップをしまう

MD8の測定サイクルは、

配線を繋ぎ変え・確認
LCRメータのキャリブレーション
サンプルをMD8用基盤に装着
－20℃に冷却
Ccpl測定
HVケーブルをつなぎ変え
CMOS 酸化膜容量測定
MD8測定
常温に戻し、テストチップをしまう

測定サンプルを装着する基盤

恒温槽内に２つの測定サンプル装着用基板がある。

（左）テストチップ測定用基板―バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動
（右）MD8測定用基板―カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated)

温度測定スクリプトがまだ走っていなければ、本ページ末尾のほうにある「温湿度計について」を見ながらスクリプトを走らせておく。
WindowsマシンのメニューバーにあるVisual Studio（紫色の∞アイコン）を起動。
SiliconTestSetupApp.sln をクリックして読み込む。(full pathは c:Users\atlas\Source\Repos\SiliconTestSetupApp_update)
画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。
最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるが、Strip QA用のデバイスはコードの中のパラメータとして設定しているので、何も選択せずにStrip QAをクリックしてください。

テストチップ測定方法

LCRメーターのcalibration

Calibrationは、常温で行う。

OPEN Calibration
1. testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
  1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
SHORT Calibtation
1. testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

calibration時の配線ではHV2410とHV-MD8を繋いでください

測定サンプルのセットアップ・冷却

testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基板に装着する。
照射済みサンプルの場合は、恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。（未照射サンプルは20℃）

StripQAControlGUI のパラメータ設定

忘れずにOperator Nameに名前を入力してください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間容量/抵抗、PTP測定

ここまで出来たら各測定に進めます。

※※※※※※HVケーブルがPCB3につながっていることを確認！※※※※※※

(恒温槽が-20℃になってから測定を開始し、PTP測定後にRint測定のために1時間経過を待つ間にMD8のIVCV,カップリングの暗電流を測定をする#20230821)

バイアス抵抗（「Rbias」と書かれた緑のボタンをクリック）

デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量（「Ccpl」と書かれた緑のボタンをクリック）

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。

ストリップ間容量（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「Cint」と書かれた緑のボタンをクリック）

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

PTP（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「PTP」と書かれた緑のボタンをクリック）

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

ここでMD8の測定をする

待機中にMD8の測定を行う。カップリングの暗電流測定後に配線を戻してストリップ間抵抗を測定する。測定手順については「カップリング漏れ電流、MD8の測定」を参照してください。

※※※※※※HVケーブルをHV-MD8に繋ぎ変えること※※※※※※

ストリップ間抵抗（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！.SET。また、HVケーブルがPCB3につながっているか確認。その後、「Rint」と書かれた緑のボタンをクリック）

必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

ここまで測定が終わったら、次にMD8とカップリング漏れ電流の測定のため、基板を切りかえます。基板切り替えのために恒温槽をあける場合には、常温まで戻すこと

→基板の切り替えなく測定できるように変更。

PCB3にささっているHV2410の赤色タグの付いたケーブルを"HV-MD8"のタグが付いた緑色Lemoコネクタ（Iコネクタ付き）に繋ぐ。

Calibration

Calibrationは、常温で行う。

OPEN Calibration
1. MD8装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
  1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
SHORT Calibtation
1. MD8装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

<!--

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

!-->

キャリブレーションが終わったら、サンプルを基板に装着する。照射サンプルの場合は、-20度に冷やす。

カップリング漏れ電流、MD8の測定

MD8のIVCV

HVケーブルがHV-MD8のタグ付きLEMOケーブルにつながっていることを確認する
GUIで、”MD8”をクリックする。
1. 0~-500Vを10Vステップで測定します。
2. 電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

カップリングの暗電流

必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！

GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。
1. 0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

ここまで終了したら"HV-MD8"に繋いだHV2410をPCB3に戻してRintの測定を行う。

酸化膜容量(QA測定からは除外)　

注：酸化膜容量の測定は、陽子照射後にはうまくできないことがわかったので、やらないことになっています。

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

温湿度計について

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。

ssh -l atlasj 130.87.242.194
cd ~/work/stripQA
sh i2cget.sh
nohup python thermohydrometer.py

設定方法は以下の通り。 --> あるタイミングでSambaでのマウントがうまく行かなくなったのと、あまり必要もないのでやめました。

[Windows側]

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

Added:

>
>

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

Added:

>
>

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

Added:

>
>

[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。

Added:

>
>

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。

Added:

>
>

測定結果をatlaspc7にアップロードする

測定結果を定期的に主導でatlaspc7にアップロードする。

cygwinを立ち上げる
./backup.sh を実行

測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

以後はE-logへ → Strip E-log

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 486　Pico Ammeter
  - Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  - Keithley エラーメッセージマニュアル
    - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm

LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
恒温槽
- マニュアル

参考資料

ストリップQA関係
Test chip measurement guide
Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
QA data format (.pptxのやつ)
Test chipの配線とか
E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
MOS capacitors
ITk strip sensor QA TWiki
QA status
List of switches in TUSBPIO
照射サンプルの準備の仕方, テストチップの巻き方の改善
センサーカバー
GPIBデバイス一覧

ATLAS-J-ITk

K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)

Strip sensor meeting

メモ

佐藤が編集するまえのバージョン：r19

META FILEATTACHMENT	attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"

Revision 302023-08-22 - AtlasjSilicon

  META TOPICPARENT 
 name="WebHome"
- META TOPICPARENT
+ name="WebHome"
-<
<
+ ITk strip QA
->
>
+ ITk strip QA2 (配線の切り替えがHVケーブルのみのセットアップ)
 Under construction.

--   Shigeki Hirose  - 2020-08-19 
 QAシステム概要 

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

すべての測定には最低でもPC、LCRメーター2台、ソースメーター2台、スイッチ操作装置(TUSB-PIO)、Raspiを用いた温度計システムと測定サンプルを装着する基盤が必要です。

B4奥クリーンルームのデスク、左のWindowsマシン上で、StripQAControlGUIソフトウェアから機器を操作して測定する。

テストチップの測定サイクルは、 

 配線を繋ぎ変え・確認
  LCRメータのキャリブレーション
  サンプルをtestChip用基盤に装着
  －20℃に冷却
  HVが問題なくかかるかどうか、手動でチェック
  測定　（5項目：バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動）
  常温に戻し、テストチップをしまう
 
MD8の測定サイクルは、 
 配線を繋ぎ変え・確認
  LCRメータのキャリブレーション
  サンプルをMD8用基盤に装着
  －20℃に冷却
  Ccpl測定
  HVケーブルをつなぎ変え
  CMOS 酸化膜容量測定
  MD8測定
  常温に戻し、テストチップをしまう
 
 測定サンプルを装着する基盤 

恒温槽内に２つの測定サンプル装着用基板がある。 

 （左）テストチップ測定用基板―バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動
  （右）MD8測定用基板―カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定
 
To be written.
 StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated)
->
>
+ 温度測定スクリプトがまだ走っていなければ、本ページ末尾のほうにある「温湿度計について」を見ながらスクリプトを走らせておく。
  WindowsマシンのメニューバーにあるVisual Studio（紫色の∞アイコン）を起動。
  SiliconTestSetupApp.sln をクリックして読み込む。(full pathは c:Users\atlas\Source\Repos\SiliconTestSetupApp_update)
  画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。
  最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるが、Strip QA用のデバイスはコードの中のパラメータとして設定しているので、何も選択せずにStrip QAをクリックしてください。
 
 テストチップ測定方法
-<
<
+ 配線 

テストチップを測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。 

 HV2410 → ITk Strip Teg Boardの”Vtest”
  CCPL A → 上のLCRメータ H_CUR
  CCPL B → 上のLCRメータ H_POT
  CCPL C → 上のLCRメータ L_POT
  CCPL D → 上のLCRメータ L_CUR
  LCRメーターのcalibration 

Calibrationは、常温で行う。 

 OPEN Calibration 
 testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。 
 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
 
 
  SHORT Calibtation 
 testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。
 
 
注：それぞれのキャリブレーション後、"XXXXX measurement completed"が表示されていることを、必ず確認すること！時々、E43: measurement failedが出てしまうことがあり、その場合はキャリブレーションをやり直す必要があります。

calibration時の配線ではHV2410とHV-MD8を繋いでください
 測定サンプルのセットアップ・冷却 
 
 testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基板に装着する。
  照射済みサンプルの場合は、恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。（未照射サンプルは20℃）
 
注：測定用基板に装着する前に、サンプル（カバーの中）を恒温槽もしくはデシケータ（窒素ガスが流れている）に入れて、表面が乾燥するまで待つこと！霜や水滴がついたままだと、HVがかかったときにサンプルを破壊してしまう場合がある。
 StripQAControlGUI のパラメータ設定
-<
<
+General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXもしくはVPAを除いた数字5桁)を記入した後、SETをクリックしてください。もし同じバッチで2つ以上のテストチップがある場合には、メッセージが表示されますので、その場合はWafer No.も入力してください。
->
>
+Sample Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXもしくはVPAを除いた数字5桁)を記入した後、SETをクリックしてください。もし同じバッチで2つ以上のテストチップがある場合には、メッセージが表示されますので、その場合はWafer No.も入力してください。
 忘れずにOperator Nameに名前を入力してください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。
 バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間容量/抵抗、PTP測定 

ここまで出来たら各測定に進めます。

必ず、以下の順番で測定を進めてください。ストリップ間抵抗は微妙な温度のふらつきに敏感なので、センサーの温度が十分に安定するよう、一番最後に測定します。
-<
<
+(PTP測定後、Rint測定のために恒温槽が-20℃になってから1時間経過するのを待機する間にMD8のIVCV,カップリングの暗電流を測定をするように変更#20230821)
->
>
+※※※※※※HVケーブルがPCB3につながっていることを確認！※※※※※※
->
>
+(恒温槽が-20℃になってから測定を開始し、PTP測定後にRint測定のために1時間経過を待つ間にMD8のIVCV,カップリングの暗電流を測定をする#20230821)
  バイアス抵抗（「Rbias」と書かれた緑のボタンをクリック）
 
デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。
 

 カップリング容量（「Ccpl」と書かれた緑のボタンをクリック）
 
1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。
 

 ストリップ間容量（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「Cint」と書かれた緑のボタンをクリック）
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
 

 PTP（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「PTP」と書かれた緑のボタンをクリック）
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。
-<
<
+ ストリップ間抵抗（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「Rint」と書かれた緑のボタンをクリック）
 
必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！
->
>
+ ここでMD8の測定をする
 
待機中にMD8の測定を行う。カップリングの暗電流測定後に配線を戻してストリップ間抵抗を測定する。測定手順については「カップリング漏れ電流、MD8の測定」を参照してください。
-<
<
+待機中にMD8の測定を行う。カップリングの暗電流測定後に配線を戻してストリップ間抵抗を測定する。
->
>
+※※※※※※HVケーブルをHV-MD8に繋ぎ変えること※※※※※※
-<
<
+配線,PCB3にささっているHV2410の赤タグの付いたケーブルを"HV-MD8"のタグが付いた緑色Lemoコネクタ（Iコネクタ付き）に繋ぐ#20230821
->
>
+ ストリップ間抵抗（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！.SET。また、HVケーブルがPCB3につながっているか確認。その後、「Rint」と書かれた緑のボタンをクリック）
->
>
+必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！
 照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。



ここまで測定が終わったら、次にMD8とカップリング漏れ電流の測定のため、基板を切りかえます。基板切り替えのために恒温槽をあける場合には、常温まで戻すこと

→基板の切り替えなく測定できるように変更。

PCB3にささっているHV2410の赤色タグの付いたケーブルを"HV-MD8"のタグが付いた緑色Lemoコネクタ（Iコネクタ付き）に繋ぐ。
-<
<
+ 配線 

MD8を測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。 

 HV2410 →はじめ、Calibrationのために、"MD8・MOS"LEMOケーブルにつなぐ。 
 冷却後の測定時に、"MD8・MOS" または”Ccpl IV”に測定項目によって繋ぎ変える。両方ともオレンジのLEMOケーブル。
 
  MD8 A → 上のLCRメータ H_CUR (E)
  MD8 B → 上のLCRメータ H_POT (F)
  MD8 C → 上のLCRメータ L_POT (G)
  MD8 D → 上のLCRメータ L_CUR (H)
  Calibration 

配線を付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。
testChip用でなくMD8用基板を使用することと、Shortサンプルに「MD8・MOS用」の方を使う以外は、TestChipのときのCalibrationと同じやり方。

Calibrationは、常温で行う。 

 OPEN Calibration 
 MD8装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。 
 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
 
 
  SHORT Calibtation
 
 MD8装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。
 
 

<!--

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

GUIでDev_Open、(PortA をOutputにしてDirectionSet)をクリックし、PortAのスイッチがすべてOnになっていること(数字の横の赤いランプが光ること)を確認します。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

!-->

注：それぞれのキャリブレーション後、"XXXXX measurement completed"が表示されていることを、必ず確認すること！時々、E43: measurement failedが出てしまうことがあり、その場合はキャリブレーションをやり直す必要があります。

キャリブレーションが終わったら、サンプルを基板に装着する。照射サンプルの場合は、-20度に冷やす。
 カップリング漏れ電流、MD8の測定 
 MD8のIVCV
-<
<
+ HV2410ケーブルを”MD8・MOS”レモケーブルにつながっていることを確認してください。
CCPL IVにつながっているとチップを壊してしまうので、かならず配線を確認すること！
->
>
+ HVケーブルがHV-MD8のタグ付きLEMOケーブルにつながっていることを確認する
  GUIで、”MD8”をクリックする。 
 0~-500Vを10Vステップで測定します。
  電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
 
 
 カップリングの暗電流 

必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！
-<
<
+ HV2410ケーブルが、”CCPL IV”LEMOケーブルにつながっていることを必ず確認する。
  GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。 
 0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。
-<
<
+ここまで終了したら"HV-MD8"に繋いだHV2410をPCB3に戻してRintの測定を行う。
->
>
+ここまで終了したら"HV-MD8"に繋いだHV2410をPCB3に戻してRintの測定を行う。
  酸化膜容量(QA測定からは除外)　 

注：酸化膜容量の測定は、陽子照射後にはうまくできないことがわかったので、やらないことになっています。

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。
 温湿度計について 

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi
-<
<
+Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。atlasjユーザー（パスワードは誰かに聞いてください）でログインし、~/work/stripQAにあるthermohydrometer.pyというPythonスクリプトで温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows（130.87.243.248）のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。
->
>
+Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。
->
>
+ ssh -l atlasj 130.87.242.194
  cd ~/work/stripQA
  sh i2cget.sh
  nohup python thermohydrometer.py
 
以上で、温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows（130.87.243.248）のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。
 設定方法は以下の通り。 --> あるタイミングでSambaでのマウントがうまく行かなくなったのと、あまり必要もないのでやめました。

[Windows側]

1. 共有フォルダ―を作る。例えばsharedというフォルダーを作り、右クリック→プロパティから共有設定をする。参考→ https://pc-karuma.net/windows-10-share-files-folders/

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする
$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。
$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。
[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。
sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。
 測定ログ 

8月　(QAMeasurementLog202008)

以後はE-logへ → Strip E-log
 マニュアルなど 
 
 ソースメーター 
 Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter 
 Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
 
  Keythley Model 486　Pico Ammeter 
 Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
 
  Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter 
 Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  Keithley エラーメッセージマニュアル 
 http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
 
 
 
 
 

 LCRメーター 
 Agilent 4284A Precision LCR Meter 
 Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
 
 
  恒温槽 
 マニュアル
 
 
 参考資料 
 
 ストリップQA関係
  Test chip measurement guide
  Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
  QA data format (.pptxのやつ)
  Test chipの配線とか
  E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
  MOS capacitors
  ITk strip sensor QA TWiki
  QA status
  List of switches in TUSBPIO 
  照射サンプルの準備の仕方, テストチップの巻き方の改善
  センサーカバー
  GPIBデバイス一覧
 
 

 ATLAS-J-ITk
 
 

 K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
  K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
  S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
  T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)
 
 

 Strip sensor meeting
 
 

 K. Hara on 28th October 2020
  K. Hara on 11th November 2020
  K. Saito on 7th April 2021 (Rint invsetigation/improvement)
  S. Hirose on 16th June 2021 (gamma-irradiated test chips)
 

 メモ 

佐藤が編集するまえのバージョン：r19




 META FILEATTACHMENT 
 attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"
- META FILEATTACHMENT
+ attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"

Revision 292023-08-21 - AtlasjSilicon

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

B4奥クリーンルームのデスク、左のWindowsマシン上で、StripQAControlGUIソフトウェアから機器を操作して測定する。

テストチップの測定サイクルは、

配線を繋ぎ変え・確認
LCRメータのキャリブレーション
サンプルをtestChip用基盤に装着
－20℃に冷却
HVが問題なくかかるかどうか、手動でチェック
測定　（5項目：バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動）
常温に戻し、テストチップをしまう

MD8の測定サイクルは、

配線を繋ぎ変え・確認
LCRメータのキャリブレーション
サンプルをMD8用基盤に装着
－20℃に冷却
Ccpl測定
HVケーブルをつなぎ変え
CMOS 酸化膜容量測定
MD8測定
常温に戻し、テストチップをしまう

測定サンプルを装着する基盤

恒温槽内に２つの測定サンプル装着用基板がある。

（左）テストチップ測定用基板―バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動
（右）MD8測定用基板―カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated)

WindowsマシンのメニューバーにあるVisual Studio（紫色の∞アイコン）を起動。
SiliconTestSetupApp.sln をクリックして読み込む。(full pathは c:Users\atlas\Source\Repos\SiliconTestSetupApp_update)
画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。
最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるが、Strip QA用のデバイスはコードの中のパラメータとして設定しているので、何も選択せずにStrip QAをクリックしてください。

テストチップ測定方法

配線

テストチップを測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。

HV2410 → ITk Strip Teg Boardの”Vtest”
CCPL A → 上のLCRメータ H_CUR
CCPL B → 上のLCRメータ H_POT
CCPL C → 上のLCRメータ L_POT
CCPL D → 上のLCRメータ L_CUR

LCRメーターのcalibration

Calibrationは、常温で行う。

OPEN Calibration
1. testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
  1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
SHORT Calibtation
1. testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

Added:

>
>

calibration時の配線ではHV2410とHV-MD8を繋いでください

測定サンプルのセットアップ・冷却

testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基板に装着する。
照射済みサンプルの場合は、恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。（未照射サンプルは20℃）

StripQAControlGUI のパラメータ設定

General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXもしくはVPAを除いた数字5桁)を記入した後、SETをクリックしてください。もし同じバッチで2つ以上のテストチップがある場合には、メッセージが表示されますので、その場合はWafer No.も入力してください。

忘れずにOperator Nameに名前を入力してください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間容量/抵抗、PTP測定

ここまで出来たら各測定に進めます。

(PTP測定後、Rint測定のために恒温槽が-20℃になってから1時間経過するのを待機する間にMD8のIVCV,カップリングの暗電流を測定をするように変更#20230821)

バイアス抵抗（「Rbias」と書かれた緑のボタンをクリック）

デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量（「Ccpl」と書かれた緑のボタンをクリック）

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。

ストリップ間容量（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「Cint」と書かれた緑のボタンをクリック）

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

PTP（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「PTP」と書かれた緑のボタンをクリック）

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

ストリップ間抵抗（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「Rint」と書かれた緑のボタンをクリック）

必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！

待機中にMD8の測定を行う。カップリングの暗電流測定後に配線を戻してストリップ間抵抗を測定する。

配線,PCB3にささっているHV2410の赤タグの付いたケーブルを"HV-MD8"のタグが付いた緑色Lemoコネクタ（Iコネクタ付き）に繋ぐ#20230821

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

→基板の切り替えなく測定できるように変更。

PCB3にささっているHV2410の赤色タグの付いたケーブルを"HV-MD8"のタグが付いた緑色Lemoコネクタ（Iコネクタ付き）に繋ぐ。

配線

MD8を測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。

HV2410 →はじめ、Calibrationのために、"MD8・MOS"LEMOケーブルにつなぐ。
- 冷却後の測定時に、"MD8・MOS" または”Ccpl IV”に測定項目によって繋ぎ変える。両方ともオレンジのLEMOケーブル。
MD8 A → 上のLCRメータ H_CUR (E)
MD8 B → 上のLCRメータ H_POT (F)
MD8 C → 上のLCRメータ L_POT (G)
MD8 D → 上のLCRメータ L_CUR (H)

Calibration

Calibrationは、常温で行う。

OPEN Calibration
1. MD8装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
  1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
SHORT Calibtation
1. MD8装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

<!--

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

!-->

キャリブレーションが終わったら、サンプルを基板に装着する。照射サンプルの場合は、-20度に冷やす。

カップリング漏れ電流、MD8の測定

MD8のIVCV

HV2410ケーブルを”MD8・MOS”レモケーブルにつながっていることを確認してください。
CCPL IVにつながっているとチップを壊してしまうので、かならず配線を確認すること！
GUIで、”MD8”をクリックする。
1. 0~-500Vを10Vステップで測定します。
2. 電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

カップリングの暗電流

必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！

HV2410ケーブルが、”CCPL IV”LEMOケーブルにつながっていることを必ず確認する。
GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。
1. 0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

ここまで終了したら"HV-MD8"に繋いだHV2410をPCB3に戻してRintの測定を行う。

酸化膜容量(QA測定からは除外)　

注：酸化膜容量の測定は、陽子照射後にはうまくできないことがわかったので、やらないことになっています。

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

温湿度計について

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。atlasjユーザー（パスワードは誰かに聞いてください）でログインし、~/work/stripQAにあるthermohydrometer.pyというPythonスクリプトで温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows（130.87.243.248）のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。

設定方法は以下の通り。 --> あるタイミングでSambaでのマウントがうまく行かなくなったのと、あまり必要もないのでやめました。

[Windows側]

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。

測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

以後はE-logへ → Strip E-log

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 486　Pico Ammeter
  - Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  - Keithley エラーメッセージマニュアル
    - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm

LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
恒温槽
- マニュアル

参考資料

ストリップQA関係
Test chip measurement guide
Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
QA data format (.pptxのやつ)
Test chipの配線とか
E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
MOS capacitors
ITk strip sensor QA TWiki
QA status
List of switches in TUSBPIO
照射サンプルの準備の仕方, テストチップの巻き方の改善
センサーカバー
GPIBデバイス一覧

ATLAS-J-ITk

K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)

Strip sensor meeting

メモ

佐藤が編集するまえのバージョン：r19

META FILEATTACHMENT	attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"

Revision 282023-08-21 - AtlasjSilicon

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

B4奥クリーンルームのデスク、左のWindowsマシン上で、StripQAControlGUIソフトウェアから機器を操作して測定する。

テストチップの測定サイクルは、

配線を繋ぎ変え・確認
LCRメータのキャリブレーション
サンプルをtestChip用基盤に装着
－20℃に冷却
HVが問題なくかかるかどうか、手動でチェック
測定　（5項目：バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動）
常温に戻し、テストチップをしまう

MD8の測定サイクルは、

配線を繋ぎ変え・確認
LCRメータのキャリブレーション
サンプルをMD8用基盤に装着
－20℃に冷却
Ccpl測定
HVケーブルをつなぎ変え
CMOS 酸化膜容量測定
MD8測定
常温に戻し、テストチップをしまう

測定サンプルを装着する基盤

恒温槽内に２つの測定サンプル装着用基板がある。

（左）テストチップ測定用基板―バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動
（右）MD8測定用基板―カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated)

WindowsマシンのメニューバーにあるVisual Studio（紫色の∞アイコン）を起動。

Changed:

<
<

SiliconTestSetupApp.sln をクリックして読み込む。(full pathは c:Users\atlas\Source\Repos\SiliconTestSetupApp)

>
>

SiliconTestSetupApp.sln をクリックして読み込む。(full pathは c:Users\atlas\Source\Repos\SiliconTestSetupApp_update)

画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。
最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるが、Strip QA用のデバイスはコードの中のパラメータとして設定しているので、何も選択せずにStrip QAをクリックしてください。

テストチップ測定方法

配線

テストチップを測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。

HV2410 → ITk Strip Teg Boardの”Vtest”
CCPL A → 上のLCRメータ H_CUR
CCPL B → 上のLCRメータ H_POT
CCPL C → 上のLCRメータ L_POT
CCPL D → 上のLCRメータ L_CUR

LCRメーターのcalibration

Calibrationは、常温で行う。

OPEN Calibration
1. testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
  1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
SHORT Calibtation
1. testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

測定サンプルのセットアップ・冷却

testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基板に装着する。
照射済みサンプルの場合は、恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。（未照射サンプルは20℃）

StripQAControlGUI のパラメータ設定

忘れずにOperator Nameに名前を入力してください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間容量/抵抗、PTP測定

ここまで出来たら各測定に進めます。

(PTP測定後、Rint測定のために恒温槽が-20℃になってから1時間経過するのを待機する間にMD8のIVCV,カップリングの暗電流を測定をするように変更#20230821)

バイアス抵抗（「Rbias」と書かれた緑のボタンをクリック）

デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量（「Ccpl」と書かれた緑のボタンをクリック）

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。

ストリップ間容量（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「Cint」と書かれた緑のボタンをクリック）

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

PTP（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「PTP」と書かれた緑のボタンをクリック）

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

ストリップ間抵抗（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「Rint」と書かれた緑のボタンをクリック）

必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！

待機中にMD8の測定を行う。カップリングの暗電流測定後に配線を戻してストリップ間抵抗を測定する。

配線,PCB3にささっているHV2410の赤タグの付いたケーブルを"HV-MD8"のタグが付いた緑色Lemoコネクタ（Iコネクタ付き）に繋ぐ#20230821

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

→基板の切り替えなく測定できるように変更。

PCB3にささっているHV2410の赤色タグの付いたケーブルを"HV-MD8"のタグが付いた緑色Lemoコネクタ（Iコネクタ付き）に繋ぐ。

配線

MD8を測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。

HV2410 →はじめ、Calibrationのために、"MD8・MOS"LEMOケーブルにつなぐ。
- 冷却後の測定時に、"MD8・MOS" または”Ccpl IV”に測定項目によって繋ぎ変える。両方ともオレンジのLEMOケーブル。
MD8 A → 上のLCRメータ H_CUR (E)
MD8 B → 上のLCRメータ H_POT (F)
MD8 C → 上のLCRメータ L_POT (G)
MD8 D → 上のLCRメータ L_CUR (H)

Calibration

Calibrationは、常温で行う。

OPEN Calibration
1. MD8装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
  1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
SHORT Calibtation
1. MD8装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

<!--

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

!-->

キャリブレーションが終わったら、サンプルを基板に装着する。照射サンプルの場合は、-20度に冷やす。

カップリング漏れ電流、MD8の測定

MD8のIVCV

HV2410ケーブルを”MD8・MOS”レモケーブルにつながっていることを確認してください。
CCPL IVにつながっているとチップを壊してしまうので、かならず配線を確認すること！
GUIで、”MD8”をクリックする。
1. 0~-500Vを10Vステップで測定します。
2. 電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

カップリングの暗電流

必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！

HV2410ケーブルが、”CCPL IV”LEMOケーブルにつながっていることを必ず確認する。
GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。
1. 0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

ここまで終了したら"HV-MD8"に繋いだHV2410をPCB3に戻してRintの測定を行う。

酸化膜容量(QA測定からは除外)　

注：酸化膜容量の測定は、陽子照射後にはうまくできないことがわかったので、やらないことになっています。

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

温湿度計について

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

設定方法は以下の通り。 --> あるタイミングでSambaでのマウントがうまく行かなくなったのと、あまり必要もないのでやめました。

[Windows側]

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

Deleted:

<
<

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

Deleted:

<
<

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

Deleted:

<
<

[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。

Deleted:

<
<

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。

測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

以後はE-logへ → Strip E-log

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 486　Pico Ammeter
  - Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  - Keithley エラーメッセージマニュアル
    - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm

LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
恒温槽
- マニュアル

参考資料

ストリップQA関係
Test chip measurement guide
Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
QA data format (.pptxのやつ)
Test chipの配線とか
E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
MOS capacitors
ITk strip sensor QA TWiki
QA status
List of switches in TUSBPIO
照射サンプルの準備の仕方, テストチップの巻き方の改善
センサーカバー
GPIBデバイス一覧

ATLAS-J-ITk

K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)

Strip sensor meeting

メモ

佐藤が編集するまえのバージョン：r19

META FILEATTACHMENT	attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"

Revision 272023-08-21 - AtlasjSilicon

  META TOPICPARENT 
 name="WebHome" 

 ITk strip QA 

Under construction.

--   Shigeki Hirose  - 2020-08-19 
 QAシステム概要 

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

すべての測定には最低でもPC、LCRメーター2台、ソースメーター2台、スイッチ操作装置(TUSB-PIO)、Raspiを用いた温度計システムと測定サンプルを装着する基盤が必要です。

B4奥クリーンルームのデスク、左のWindowsマシン上で、StripQAControlGUIソフトウェアから機器を操作して測定する。

テストチップの測定サイクルは、 

 配線を繋ぎ変え・確認
  LCRメータのキャリブレーション
  サンプルをtestChip用基盤に装着
  －20℃に冷却
  HVが問題なくかかるかどうか、手動でチェック
  測定　（5項目：バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動）
  常温に戻し、テストチップをしまう
 
MD8の測定サイクルは、 
 配線を繋ぎ変え・確認
  LCRメータのキャリブレーション
  サンプルをMD8用基盤に装着
  －20℃に冷却
  Ccpl測定
  HVケーブルをつなぎ変え
  CMOS 酸化膜容量測定
  MD8測定
  常温に戻し、テストチップをしまう
 
 測定サンプルを装着する基盤 

恒温槽内に２つの測定サンプル装着用基板がある。 

 （左）テストチップ測定用基板―バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動
  （右）MD8測定用基板―カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定
 
To be written.
 StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated) 
 
 WindowsマシンのメニューバーにあるVisual Studio（紫色の∞アイコン）を起動。
  SiliconTestSetupApp.sln をクリックして読み込む。(full pathは c:Users\atlas\Source\Repos\SiliconTestSetupApp)
  画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。
  最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるが、Strip QA用のデバイスはコードの中のパラメータとして設定しているので、何も選択せずにStrip QAをクリックしてください。
 
 テストチップ測定方法 
 配線 

テストチップを測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。 

 HV2410 → ITk Strip Teg Boardの”Vtest”
  CCPL A → 上のLCRメータ H_CUR
  CCPL B → 上のLCRメータ H_POT
  CCPL C → 上のLCRメータ L_POT
  CCPL D → 上のLCRメータ L_CUR
 
 LCRメーターのcalibration 

Calibrationは、常温で行う。 

 OPEN Calibration 
 testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。 
 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
 
 
  SHORT Calibtation 
 testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。
- META TOPICPARENT
+ name="WebHome"
-<
<
+注：それぞれのキャリブレーション後、"XXXXX measurement completed"が表示されていることを、必ず確認すること！時々、E43: measurement failedが出てしまうことがあり、その場合はキャリブレーションをやり直す必要があります。
->
>
+注：それぞれのキャリブレーション後、"XXXXX measurement completed"が表示されていることを、必ず確認すること！時々、E43: measurement failedが出てしまうことがあり、その場合はキャリブレーションをやり直す必要があります。
  測定サンプルのセットアップ・冷却 
 
 testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基板に装着する。
  照射済みサンプルの場合は、恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。（未照射サンプルは20℃）
-<
<
+注：測定用基板に装着する前に、サンプル（カバーの中）を恒温槽もしくはデシケータ（窒素ガスが流れている）に入れて、表面が乾燥するまで待つこと！霜や水滴がついたままだと、HVがかかったときにサンプルを破壊してしまう場合がある。
->
>
+注：測定用基板に装着する前に、サンプル（カバーの中）を恒温槽もしくはデシケータ（窒素ガスが流れている）に入れて、表面が乾燥するまで待つこと！霜や水滴がついたままだと、HVがかかったときにサンプルを破壊してしまう場合がある。
  StripQAControlGUI のパラメータ設定 

General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXもしくはVPAを除いた数字5桁)を記入した後、SETをクリックしてください。もし同じバッチで2つ以上のテストチップがある場合には、メッセージが表示されますので、その場合はWafer No.も入力してください。

忘れずにOperator Nameに名前を入力してください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。
 バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間容量/抵抗、PTP測定 

ここまで出来たら各測定に進めます。
-<
<
+必ず、以下の順番で測定を進めてください。ストリップ間抵抗は微妙な温度のふらつきに敏感なので、センサーの温度が十分に安定するよう、一番最後に測定します。
->
>
+必ず、以下の順番で測定を進めてください。ストリップ間抵抗は微妙な温度のふらつきに敏感なので、センサーの温度が十分に安定するよう、一番最後に測定します。
->
>
+(PTP測定後、Rint測定のために恒温槽が-20℃になってから1時間経過するのを待機する間にMD8のIVCV,カップリングの暗電流を測定をするように変更#20230821)
  バイアス抵抗（「Rbias」と書かれた緑のボタンをクリック）
 
デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。
 

 カップリング容量（「Ccpl」と書かれた緑のボタンをクリック）
 
1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。
-<
<
+ ストリップ間容量（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「Cint」と書かれた緑のボタンをクリック）
->
>
+ ストリップ間容量（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「Cint」と書かれた緑のボタンをクリック）
 照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
-<
<
+ PTP（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「PTP」と書かれた緑のボタンをクリック）
->
>
+ PTP（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「PTP」と書かれた緑のボタンをクリック）
 照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。
-<
<
+ ストリップ間抵抗（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「Rint」と書かれた緑のボタンをクリック）
->
>
+ ストリップ間抵抗（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「Rint」と書かれた緑のボタンをクリック）
 必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！
->
>
+待機中にMD8の測定を行う。カップリングの暗電流測定後に配線を戻してストリップ間抵抗を測定する。

配線,PCB3にささっているHV2410の赤タグの付いたケーブルを"HV-MD8"のタグが付いた緑色Lemoコネクタ（Iコネクタ付き）に繋ぐ#20230821
 照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
-<
<
+ここまで測定が終わったら、次にMD8とカップリング漏れ電流の測定のため、基板を切りかえます。基板切り替えのために恒温槽をあける場合には、常温まで戻すこと！
->
>
+ここまで測定が終わったら、次にMD8とカップリング漏れ電流の測定のため、基板を切りかえます。基板切り替えのために恒温槽をあける場合には、常温まで戻すこと
->
>
+→基板の切り替えなく測定できるように変更。

PCB3にささっているHV2410の赤色タグの付いたケーブルを"HV-MD8"のタグが付いた緑色Lemoコネクタ（Iコネクタ付き）に繋ぐ。
  配線 

MD8を測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。 

 HV2410 →はじめ、Calibrationのために、"MD8・MOS"LEMOケーブルにつなぐ。 
 冷却後の測定時に、"MD8・MOS" または”Ccpl IV”に測定項目によって繋ぎ変える。両方ともオレンジのLEMOケーブル。
 
  MD8 A → 上のLCRメータ H_CUR (E)
  MD8 B → 上のLCRメータ H_POT (F)
  MD8 C → 上のLCRメータ L_POT (G)
  MD8 D → 上のLCRメータ L_CUR (H)
 
 Calibration
-<
<
+配線を付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。
testChip用でなくMD8用基板を使用することと、Shortサンプルに「MD8・MOS用」の方を使う以外は、TestChipのときのCalibrationと同じやり方。
->
>
+配線を付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。
testChip用でなくMD8用基板を使用することと、Shortサンプルに「MD8・MOS用」の方を使う以外は、TestChipのときのCalibrationと同じやり方。
 Calibrationは、常温で行う。 
 OPEN Calibration 
 MD8装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。 
 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
 
 
  SHORT Calibtation
 
 MD8装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。
 
 

<!--

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

GUIでDev_Open、(PortA をOutputにしてDirectionSet)をクリックし、PortAのスイッチがすべてOnになっていること(数字の横の赤いランプが光ること)を確認します。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

!-->
-<
<
+注：それぞれのキャリブレーション後、"XXXXX measurement completed"が表示されていることを、必ず確認すること！時々、E43: measurement failedが出てしまうことがあり、その場合はキャリブレーションをやり直す必要があります。
->
>
+注：それぞれのキャリブレーション後、"XXXXX measurement completed"が表示されていることを、必ず確認すること！時々、E43: measurement failedが出てしまうことがあり、その場合はキャリブレーションをやり直す必要があります。
-<
<
+キャリブレーションが終わったら、サンプルを基板に装着する。照射サンプルの場合は、-20度に冷やす。
->
>
+キャリブレーションが終わったら、サンプルを基板に装着する。照射サンプルの場合は、-20度に冷やす。
  カップリング漏れ電流、MD8の測定 
 MD8のIVCV
-<
<
+ HV2410ケーブルを”MD8・MOS”レモケーブルにつながっていることを確認してください。
CCPL IVにつながっているとチップを壊してしまうので、かならず配線を確認すること！
->
>
+ HV2410ケーブルを”MD8・MOS”レモケーブルにつながっていることを確認してください。
CCPL IVにつながっているとチップを壊してしまうので、かならず配線を確認すること！
  GUIで、”MD8”をクリックする。 
 0~-500Vを10Vステップで測定します。
  電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
 
 
 カップリングの暗電流 

必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！ 

 HV2410ケーブルが、”CCPL IV”LEMOケーブルにつながっていることを必ず確認する。
  GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。
-<
<
+~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。
->
>
+~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。
->
>
+ここまで終了したら"HV-MD8"に繋いだHV2410をPCB3に戻してRintの測定を行う。
  酸化膜容量(QA測定からは除外)　 

注：酸化膜容量の測定は、陽子照射後にはうまくできないことがわかったので、やらないことになっています。

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。
 温湿度計について 

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。atlasjユーザー（パスワードは誰かに聞いてください）でログインし、~/work/stripQAにあるthermohydrometer.pyというPythonスクリプトで温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows（130.87.243.248）のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。

設定方法は以下の通り。 --> あるタイミングでSambaでのマウントがうまく行かなくなったのと、あまり必要もないのでやめました。

[Windows側]

1. 共有フォルダ―を作る。例えばsharedというフォルダーを作り、右クリック→プロパティから共有設定をする。参考→ https://pc-karuma.net/windows-10-share-files-folders/

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。
 測定ログ 

8月　(QAMeasurementLog202008)

以後はE-logへ → Strip E-log
 マニュアルなど 
 
 ソースメーター 
 Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter 
 Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
 
  Keythley Model 486　Pico Ammeter 
 Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
 
  Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter 
 Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  Keithley エラーメッセージマニュアル 
 http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
 
 
 
 
 

 LCRメーター 
 Agilent 4284A Precision LCR Meter 
 Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
 
 
  恒温槽 
 マニュアル
 
 
 参考資料 
 
 ストリップQA関係
  Test chip measurement guide
  Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
  QA data format (.pptxのやつ)
  Test chipの配線とか
  E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
  MOS capacitors
  ITk strip sensor QA TWiki
  QA status
  List of switches in TUSBPIO 
  照射サンプルの準備の仕方, テストチップの巻き方の改善
  センサーカバー
  GPIBデバイス一覧
 
 

 ATLAS-J-ITk
 
 

 K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
  K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
  S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
  T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)
 
 

 Strip sensor meeting
 
 

 K. Hara on 28th October 2020
  K. Hara on 11th November 2020
  K. Saito on 7th April 2021 (Rint invsetigation/improvement)
  S. Hirose on 16th June 2021 (gamma-irradiated test chips)
 

 メモ 

佐藤が編集するまえのバージョン：r19




 META FILEATTACHMENT 
 attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"
- META FILEATTACHMENT
+ attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"

Revision 262023-07-27 - ShigekiHirose

  META TOPICPARENT 
 name="WebHome" 

 ITk strip QA 

Under construction.

--   Shigeki Hirose  - 2020-08-19 
 QAシステム概要 

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

すべての測定には最低でもPC、LCRメーター2台、ソースメーター2台、スイッチ操作装置(TUSB-PIO)、Raspiを用いた温度計システムと測定サンプルを装着する基盤が必要です。

B4奥クリーンルームのデスク、左のWindowsマシン上で、StripQAControlGUIソフトウェアから機器を操作して測定する。

テストチップの測定サイクルは、 

 配線を繋ぎ変え・確認
  LCRメータのキャリブレーション
  サンプルをtestChip用基盤に装着
  －20℃に冷却
  HVが問題なくかかるかどうか、手動でチェック
  測定　（5項目：バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動）
  常温に戻し、テストチップをしまう
 
MD8の測定サイクルは、 
 配線を繋ぎ変え・確認
  LCRメータのキャリブレーション
  サンプルをMD8用基盤に装着
  －20℃に冷却
  Ccpl測定
  HVケーブルをつなぎ変え
  CMOS 酸化膜容量測定
  MD8測定
  常温に戻し、テストチップをしまう
 
 測定サンプルを装着する基盤 

恒温槽内に２つの測定サンプル装着用基板がある。 

 （左）テストチップ測定用基板―バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動
  （右）MD8測定用基板―カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定
 
To be written.
 StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated) 
 
 WindowsマシンのメニューバーにあるVisual Studio（紫色の∞アイコン）を起動。
  SiliconTestSetupApp.sln をクリックして読み込む。(full pathは c:Users\atlas\Source\Repos\SiliconTestSetupApp)
  画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。
  最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるが、Strip QA用のデバイスはコードの中のパラメータとして設定しているので、何も選択せずにStrip QAをクリックしてください。
 
 テストチップ測定方法 
 配線 

テストチップを測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。 

 HV2410 → ITk Strip Teg Boardの”Vtest”
  CCPL A → 上のLCRメータ H_CUR
  CCPL B → 上のLCRメータ H_POT
  CCPL C → 上のLCRメータ L_POT
  CCPL D → 上のLCRメータ L_CUR
 
 LCRメーターのcalibration 

Calibrationは、常温で行う。 

 OPEN Calibration 
 testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。 
 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
 
 
  SHORT Calibtation 
 testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。
 
 
注：それぞれのキャリブレーション後、"XXXXX measurement completed"が表示されていることを、必ず確認すること！時々、E43: measurement failedが出てしまうことがあり、その場合はキャリブレーションをやり直す必要があります。
 測定サンプルのセットアップ・冷却 
 
 testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基板に装着する。
  照射済みサンプルの場合は、恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。（未照射サンプルは20℃）
 
注：測定用基板に装着する前に、サンプル（カバーの中）を恒温槽もしくはデシケータ（窒素ガスが流れている）に入れて、表面が乾燥するまで待つこと！霜や水滴がついたままだと、HVがかかったときにサンプルを破壊してしまう場合がある。
 StripQAControlGUI のパラメータ設定
- META TOPICPARENT
+ name="WebHome"
-<
<
+General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。
->
>
+General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXもしくはVPAを除いた数字5桁)を記入した後、SETをクリックしてください。もし同じバッチで2つ以上のテストチップがある場合には、メッセージが表示されますので、その場合はWafer No.も入力してください。
-<
<
+OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。
->
>
+忘れずにOperator Nameに名前を入力してください。
 以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。
-<
<
+もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。
  バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間容量/抵抗、PTP測定 

ここまで出来たら各測定に進めます。

必ず、以下の順番で測定を進めてください。ストリップ間抵抗は微妙な温度のふらつきに敏感なので、センサーの温度が十分に安定するよう、一番最後に測定します。
-<
<
+ バイアス抵抗
->
>
+ バイアス抵抗（「Rbias」と書かれた緑のボタンをクリック）
 デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。
-<
<
+ カップリング容量
->
>
+ カップリング容量（「Ccpl」と書かれた緑のボタンをクリック）
 kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。
-<
<
+ ストリップ間容量
->
>
+ ストリップ間容量（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「Cint」と書かれた緑のボタンをクリック）
 照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
-<
<
+ PTP
->
>
+ PTP（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「PTP」と書かれた緑のボタンをクリック）
 照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。
-<
<
+ ストリップ間抵抗
->
>
+ ストリップ間抵抗（必ずnonirradかirradか、適切な方が選択されていることを確認！その後、「Rint」と書かれた緑のボタンをクリック）
 必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
-<
<
+ここまで測定が終わったら、次にMD8とカップリング漏れ電流の測定のため、基板を切りかえます。
->
>
+ここまで測定が終わったら、次にMD8とカップリング漏れ電流の測定のため、基板を切りかえます。基板切り替えのために恒温槽をあける場合には、常温まで戻すこと！
  配線 

MD8を測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。 

 HV2410 →はじめ、Calibrationのために、"MD8・MOS"LEMOケーブルにつなぐ。 
 冷却後の測定時に、"MD8・MOS" または”Ccpl IV”に測定項目によって繋ぎ変える。両方ともオレンジのLEMOケーブル。
-<
<
+ MD8 A → 上のLCRメータ H_CUR
  MD8 B → 上のLCRメータ H_POT
  MD8 C → 上のLCRメータ L_POT
  MD8 D → 上のLCRメータ L_CUR
->
>
+ MD8 A → 上のLCRメータ H_CUR (E)
  MD8 B → 上のLCRメータ H_POT (F)
  MD8 C → 上のLCRメータ L_POT (G)
  MD8 D → 上のLCRメータ L_CUR (H)
  Calibration 

配線を付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。
testChip用でなくMD8用基板を使用することと、Shortサンプルに「MD8・MOS用」の方を使う以外は、TestChipのときのCalibrationと同じやり方。

Calibrationは、常温で行う。 

 OPEN Calibration 
 MD8装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。 
 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
 
 
  SHORT Calibtation
 
 MD8装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。
 
 

<!--

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

GUIでDev_Open、(PortA をOutputにしてDirectionSet)をクリックし、PortAのスイッチがすべてOnになっていること(数字の横の赤いランプが光ること)を確認します。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

!-->

注：それぞれのキャリブレーション後、"XXXXX measurement completed"が表示されていることを、必ず確認すること！時々、E43: measurement failedが出てしまうことがあり、その場合はキャリブレーションをやり直す必要があります。
-<
<
+キャリブレーションが終わったら、サンプルを基板に装着する。
->
>
+キャリブレーションが終わったら、サンプルを基板に装着する。照射サンプルの場合は、-20度に冷やす。
  カップリング漏れ電流、MD8の測定 
 MD8のIVCV 
 
 HV2410ケーブルを”MD8・MOS”レモケーブルにつながっていることを確認してください。
CCPL IVにつながっているとチップを壊してしまうので、かならず配線を確認すること！
  GUIで、”MD8”をクリックする。 
 0~-500Vを10Vステップで測定します。
  電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
 
 
 カップリングの暗電流 

必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！ 

 HV2410ケーブルが、”CCPL IV”LEMOケーブルにつながっていることを必ず確認する。
  GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。 
 0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。
 
 
 酸化膜容量(QA測定からは除外)　 

注：酸化膜容量の測定は、陽子照射後にはうまくできないことがわかったので、やらないことになっています。

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。
 温湿度計について 

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。atlasjユーザー（パスワードは誰かに聞いてください）でログインし、~/work/stripQAにあるthermohydrometer.pyというPythonスクリプトで温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows（130.87.243.248）のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。

設定方法は以下の通り。 --> あるタイミングでSambaでのマウントがうまく行かなくなったのと、あまり必要もないのでやめました。

[Windows側]

1. 共有フォルダ―を作る。例えばsharedというフォルダーを作り、右クリック→プロパティから共有設定をする。参考→ https://pc-karuma.net/windows-10-share-files-folders/

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする
->
>
 $ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。
->
>
 $ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。
->
>
 [share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。
->
>
 sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。
 測定ログ 

8月　(QAMeasurementLog202008)

以後はE-logへ → Strip E-log
 マニュアルなど 
 
 ソースメーター 
 Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter 
 Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
 
  Keythley Model 486　Pico Ammeter 
 Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
 
  Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter 
 Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  Keithley エラーメッセージマニュアル 
 http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
 
 
 
 
 

 LCRメーター 
 Agilent 4284A Precision LCR Meter 
 Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
 
 
  恒温槽 
 マニュアル
 
 
 参考資料 
 
 ストリップQA関係
  Test chip measurement guide
  Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
  QA data format (.pptxのやつ)
  Test chipの配線とか
  E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
  MOS capacitors
  ITk strip sensor QA TWiki
  QA status
  List of switches in TUSBPIO 
  照射サンプルの準備の仕方, テストチップの巻き方の改善
  センサーカバー
  GPIBデバイス一覧
 
 

 ATLAS-J-ITk
 
 

 K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
  K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
  S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
  T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)
 
 

 Strip sensor meeting
 
 

 K. Hara on 28th October 2020
  K. Hara on 11th November 2020
  K. Saito on 7th April 2021 (Rint invsetigation/improvement)
  S. Hirose on 16th June 2021 (gamma-irradiated test chips)
 

 メモ 

佐藤が編集するまえのバージョン：r19




 META FILEATTACHMENT 
 attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"
- META FILEATTACHMENT
+ attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"

Revision 252023-06-18 - ShigekiHirose

  META TOPICPARENT 
 name="WebHome" 

 ITk strip QA 

Under construction.
- META TOPICPARENT
+ name="WebHome"
-<
<
+--   Shigeki Hirose  - 2020-08-19
->
>
+--   Shigeki Hirose  - 2020-08-19
  QAシステム概要 

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

すべての測定には最低でもPC、LCRメーター2台、ソースメーター2台、スイッチ操作装置(TUSB-PIO)、Raspiを用いた温度計システムと測定サンプルを装着する基盤が必要です。

B4奥クリーンルームのデスク、左のWindowsマシン上で、StripQAControlGUIソフトウェアから機器を操作して測定する。

テストチップの測定サイクルは、 

 配線を繋ぎ変え・確認
  LCRメータのキャリブレーション
  サンプルをtestChip用基盤に装着
  －20℃に冷却
  HVが問題なくかかるかどうか、手動でチェック
  測定　（5項目：バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動）
  常温に戻し、テストチップをしまう
 
MD8の測定サイクルは、 
 配線を繋ぎ変え・確認
  LCRメータのキャリブレーション
  サンプルをMD8用基盤に装着
  －20℃に冷却
  Ccpl測定
  HVケーブルをつなぎ変え
  CMOS 酸化膜容量測定
  MD8測定
  常温に戻し、テストチップをしまう
 
 測定サンプルを装着する基盤 

恒温槽内に２つの測定サンプル装着用基板がある。 

 （左）テストチップ測定用基板―バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動
  （右）MD8測定用基板―カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定
 
To be written.
 StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated) 
 
 WindowsマシンのメニューバーにあるVisual Studio（紫色の∞アイコン）を起動。
  SiliconTestSetupApp.sln をクリックして読み込む。(full pathは c:Users\atlas\Source\Repos\SiliconTestSetupApp)
  画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。
-<
<
+ 最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。
->
>
+ 最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるが、Strip QA用のデバイスはコードの中のパラメータとして設定しているので、何も選択せずにStrip QAをクリックしてください。
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<
+つの認識されている機器全部をSetすればよい。
  テストチップ測定方法 
 配線 

テストチップを測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。 

 HV2410 → ITk Strip Teg Boardの”Vtest”
  CCPL A → 上のLCRメータ H_CUR
  CCPL B → 上のLCRメータ H_POT
  CCPL C → 上のLCRメータ L_POT
  CCPL D → 上のLCRメータ L_CUR
 
 LCRメーターのcalibration 

Calibrationは、常温で行う。 

 OPEN Calibration 
 testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。 
 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
-<
<
+ SHORT Calibtation
->
>
+ SHORT Calibtation
  testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。
->
>
+注：それぞれのキャリブレーション後、"XXXXX measurement completed"が表示されていることを、必ず確認すること！時々、E43: measurement failedが出てしまうことがあり、その場合はキャリブレーションをやり直す必要があります。
  測定サンプルのセットアップ・冷却
-<
<
+ testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基盤に装着する。
  恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。
->
>
+ testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基板に装着する。
  照射済みサンプルの場合は、恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。（未照射サンプルは20℃）
->
>
+注：測定用基板に装着する前に、サンプル（カバーの中）を恒温槽もしくはデシケータ（窒素ガスが流れている）に入れて、表面が乾燥するまで待つこと！霜や水滴がついたままだと、HVがかかったときにサンプルを破壊してしまう場合がある。
  StripQAControlGUI のパラメータ設定 

General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。

OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。
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+https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0
->
>
+https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0
 間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。
->
>
+ バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間容量/抵抗、PTP測定
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<
+（各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。解析やログの記録の際に活用してください。）
 測定
 ここまで出来たら各測定に進めます。
-<
<
+各測定が完了した時に、データファイル（テキストファイル）をメモ帳などで開いてみて、ちゃんと中身があることを確認してください。過去に、空ファイルが生成されていただけだったことが何度かありました。
->
>
+必ず、以下の順番で測定を進めてください。ストリップ間抵抗は微妙な温度のふらつきに敏感なので、センサーの温度が十分に安定するよう、一番最後に測定します。
  バイアス抵抗
 
デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。
 

 カップリング容量
 
1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。
-<
<
+ ストリップ間抵抗
->
>
+ ストリップ間容量
 照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V
-<
<
+測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。
->
>
+測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
 測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
-<
<
+ ストリップ間容量
->
>
+ PTP
 照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V
-<
<
+測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
->
>
+測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。
-<
<
+測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
->
>
+ ストリップ間抵抗
->
>
+必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！
-<
<
+ PTP
 照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V
-<
<
+測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。
 MD8測定方法
->
>
+測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。
->
>
+測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。



ここまで測定が終わったら、次にMD8とカップリング漏れ電流の測定のため、基板を切りかえます。
  配線 

MD8を測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。 

 HV2410 →はじめ、Calibrationのために、"MD8・MOS"LEMOケーブルにつなぐ。 
 冷却後の測定時に、"MD8・MOS" または”Ccpl IV”に測定項目によって繋ぎ変える。両方ともオレンジのLEMOケーブル。
 
  MD8 A → 上のLCRメータ H_CUR
  MD8 B → 上のLCRメータ H_POT
  MD8 C → 上のLCRメータ L_POT
  MD8 D → 上のLCRメータ L_CUR
 
 Calibration 

配線を付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。
testChip用でなくMD8用基板を使用することと、Shortサンプルに「MD8・MOS用」の方を使う以外は、TestChipのときのCalibrationと同じやり方。

Calibrationは、常温で行う。 

 OPEN Calibration 
 MD8装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。 
 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
 
 
  SHORT Calibtation
 
 MD8装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。
 
 

<!--

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

GUIでDev_Open、(PortA をOutputにしてDirectionSet)をクリックし、PortAのスイッチがすべてOnになっていること(数字の横の赤いランプが光ること)を確認します。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

!-->
-<
<
+ サンプルの装着 
 
 測定用基板に装着する前に、サンプル（カバーの中）に窒素ガスに流して霜をよく飛ばす。霜がついていると、HVがかかったときにサンプルを破壊してしまう場合がある。
  MD8用基板に測定サンプルを装着する。
 
 測定
->
>
+注：それぞれのキャリブレーション後、"XXXXX measurement completed"が表示されていることを、必ず確認すること！時々、E43: measurement failedが出てしまうことがあり、その場合はキャリブレーションをやり直す必要があります。

キャリブレーションが終わったら、サンプルを基板に装着する。
 カップリング漏れ電流、MD8の測定
->
>
+ MD8のIVCV 
 
 HV2410ケーブルを”MD8・MOS”レモケーブルにつながっていることを確認してください。
CCPL IVにつながっているとチップを壊してしまうので、かならず配線を確認すること！
  GUIで、”MD8”をクリックする。 
 0~-500Vを10Vステップで測定します。
  電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
  カップリングの暗電流
->
>
+必ず、恒温槽の表示が-20度になってから1時間以上経過したことを確認して、測定を始めること！
  HV2410ケーブルが、”CCPL IV”LEMOケーブルにつながっていることを必ず確認する。
  GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。 
 0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。
-<
<
+ 酸化膜容量
->
>
+ 酸化膜容量(QA測定からは除外)
->
>
+注：酸化膜容量の測定は、陽子照射後にはうまくできないことがわかったので、やらないことになっています。
 二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。
-<
<
+ MD8のIVCV 
 
 HV2410ケーブルを”MD8・MOS”レモケーブルにつながっていることを確認してください。
CCPL IVにつながっているとチップを壊してしまうので、かならず配線を確認すること！
  GUIで、”MD8”をクリックする。 
 0~-500Vを10Vステップで測定します。
  電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
  温湿度計について 

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。atlasjユーザー（パスワードは誰かに聞いてください）でログインし、~/work/stripQAにあるthermohydrometer.pyというPythonスクリプトで温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows（130.87.243.248）のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。
-<
<
+設定方法は以下の通り。
->
>
+設定方法は以下の通り。 --> あるタイミングでSambaでのマウントがうまく行かなくなったのと、あまり必要もないのでやめました。
 [Windows側]
-<
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+. 共有フォルダ―を作る。例えばsharedというフォルダーを作り、右クリック→プロパティから共有設定をする。参考→ https://pc-karuma.net/windows-10-share-files-folders/
->
>
+. 共有フォルダ―を作る。例えばsharedというフォルダーを作り、右クリック→プロパティから共有設定をする。参考→ https://pc-karuma.net/windows-10-share-files-folders/
 ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする
$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。
$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。
[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。
sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。
 測定ログ 

8月　(QAMeasurementLog202008)
->
>
+以後はE-logへ → Strip E-log
  マニュアルなど 
 
 ソースメーター 
 Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
-<
<
+ Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
->
>
+ Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
  Keythley Model 486　Pico Ammeter
-<
<
+ Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
->
>
+ Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
  Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
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<
+ Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
->
>
+ Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  Keithley エラーメッセージマニュアル
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<
+ http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
->
>
+ http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
  LCRメーター 
 Agilent 4284A Precision LCR Meter 
 Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
->
>
+ 恒温槽 
 マニュアル
  参考資料 
 
 ストリップQA関係
  Test chip measurement guide
  Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
  QA data format (.pptxのやつ)
  Test chipの配線とか
  E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
  MOS capacitors
  ITk strip sensor QA TWiki
  QA status
->
>
+ List of switches in TUSBPIO 
  照射サンプルの準備の仕方, テストチップの巻き方の改善
  センサーカバー
  GPIBデバイス一覧
  ATLAS-J-ITk
 
 

 K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
  K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
  S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
  T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)
 
 

 Strip sensor meeting
 
 

 K. Hara on 28th October 2020
  K. Hara on 11th November 2020
  K. Saito on 7th April 2021 (Rint invsetigation/improvement)
  S. Hirose on 16th June 2021 (gamma-irradiated test chips)
 

 メモ 

佐藤が編集するまえのバージョン：r19




 META FILEATTACHMENT 
 attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"
- META FILEATTACHMENT
+ attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"

Revision 242022-09-19 - ShigekiHirose

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

B4奥クリーンルームのデスク、左のWindowsマシン上で、StripQAControlGUIソフトウェアから機器を操作して測定する。

テストチップの測定サイクルは、

配線を繋ぎ変え・確認
LCRメータのキャリブレーション
サンプルをtestChip用基盤に装着
－20℃に冷却
HVが問題なくかかるかどうか、手動でチェック
測定　（5項目：バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動）
常温に戻し、テストチップをしまう

MD8の測定サイクルは、

配線を繋ぎ変え・確認
LCRメータのキャリブレーション
サンプルをMD8用基盤に装着
－20℃に冷却
Ccpl測定
HVケーブルをつなぎ変え
CMOS 酸化膜容量測定
MD8測定
常温に戻し、テストチップをしまう

測定サンプルを装着する基盤

恒温槽内に２つの測定サンプル装着用基板がある。

（左）テストチップ測定用基板―バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動
（右）MD8測定用基板―カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated)

WindowsマシンのメニューバーにあるVisual Studio（紫色の∞アイコン）を起動。
SiliconTestSetupApp.sln をクリックして読み込む。(full pathは c:Users\atlas\Source\Repos\SiliconTestSetupApp)
画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。
最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。
- 7つの認識されている機器全部をSetすればよい。

テストチップ測定方法

配線

テストチップを測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。

HV2410 → ITk Strip Teg Boardの”Vtest”
CCPL A → 上のLCRメータ H_CUR
CCPL B → 上のLCRメータ H_POT
CCPL C → 上のLCRメータ L_POT
CCPL D → 上のLCRメータ L_CUR

LCRメーターのcalibration

Calibrationは、常温で行う。

OPEN Calibration
1. testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
  1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
SHORT Calibtation
1. testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

測定サンプルのセットアップ・冷却

testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基盤に装着する。
恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。

StripQAControlGUI のパラメータ設定

General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。

OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。

（各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。解析やログの記録の際に活用してください。）

測定

ここまで出来たら各測定に進めます。

各測定が完了した時に、データファイル（テキストファイル）をメモ帳などで開いてみて、ちゃんと中身があることを確認してください。過去に、空ファイルが生成されていただけだったことが何度かありました。

バイアス抵抗

デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。

ストリップ間抵抗

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

ストリップ間容量

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

MD8測定方法

配線

MD8を測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。

HV2410 →はじめ、Calibrationのために、"MD8・MOS"LEMOケーブルにつなぐ。
- 冷却後の測定時に、"MD8・MOS" または”Ccpl IV”に測定項目によって繋ぎ変える。両方ともオレンジのLEMOケーブル。
MD8 A → 上のLCRメータ H_CUR
MD8 B → 上のLCRメータ H_POT
MD8 C → 上のLCRメータ L_POT
MD8 D → 上のLCRメータ L_CUR

Calibration

Calibrationは、常温で行う。

OPEN Calibration
1. MD8装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
  1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
SHORT Calibtation
1. MD8装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

<!--

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

!-->

サンプルの装着

測定用基板に装着する前に、サンプル（カバーの中）に窒素ガスに流して霜をよく飛ばす。霜がついていると、HVがかかったときにサンプルを破壊してしまう場合がある。
MD8用基板に測定サンプルを装着する。

測定

カップリングの暗電流

HV2410ケーブルが、”CCPL IV”LEMOケーブルにつながっていることを必ず確認する。
GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。
1. 0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

酸化膜容量　

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

MD8のIVCV

HV2410ケーブルを”MD8・MOS”レモケーブルにつながっていることを確認してください。
CCPL IVにつながっているとチップを壊してしまうので、かならず配線を確認すること！
GUIで、”MD8”をクリックする。
1. 0~-500Vを10Vステップで測定します。
2. 電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

温湿度計について

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

設定方法は以下の通り。

[Windows側]

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。

測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 486　Pico Ammeter
  - Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  - Keithley エラーメッセージマニュアル
    - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm

LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP

参考資料

ストリップQA関係
Test chip measurement guide
Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
QA data format (.pptxのやつ)
Test chipの配線とか
E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
MOS capacitors
ITk strip sensor QA TWiki
QA status

ATLAS-J-ITk

K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)

Strip sensor meeting

Added:

>
>

K. Saito on 7th April 2021 (Rint invsetigation/improvement)

S. Hirose on 16th June 2021 (gamma-irradiated test chips)

メモ

佐藤が編集するまえのバージョン：r19

META FILEATTACHMENT	attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"

Revision 232022-03-02 - AtlasjSilicon

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

B4奥クリーンルームのデスク、左のWindowsマシン上で、StripQAControlGUIソフトウェアから機器を操作して測定する。

テストチップの測定サイクルは、

配線を繋ぎ変え・確認
LCRメータのキャリブレーション
サンプルをtestChip用基盤に装着
－20℃に冷却
HVが問題なくかかるかどうか、手動でチェック
測定　（5項目：バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動）
常温に戻し、テストチップをしまう

MD8の測定サイクルは、

配線を繋ぎ変え・確認
LCRメータのキャリブレーション
サンプルをMD8用基盤に装着
－20℃に冷却
Ccpl測定
HVケーブルをつなぎ変え
CMOS 酸化膜容量測定
MD8測定
常温に戻し、テストチップをしまう

測定サンプルを装着する基盤

恒温槽内に２つの測定サンプル装着用基板がある。

（左）テストチップ測定用基板―バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動
（右）MD8測定用基板―カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated)

Changed:

<
<

デスクトップにあるショートカット｢StripQA｣をダブルクリックし、ソリューションを開きます。

画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。

>
>

WindowsマシンのメニューバーにあるVisual Studio（紫色の∞アイコン）を起動。
SiliconTestSetupApp.sln をクリックして読み込む。(full pathは c:Users\atlas\Source\Repos\SiliconTestSetupApp)
画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。
最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。
- 7つの認識されている機器全部をSetすればよい。

Deleted:

<
<

最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。

テストチップ測定方法

配線

テストチップを測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。

HV2410 → ITk Strip Teg Boardの”Vtest”
CCPL A → 上のLCRメータ H_CUR
CCPL B → 上のLCRメータ H_POT
CCPL C → 上のLCRメータ L_POT
CCPL D → 上のLCRメータ L_CUR

LCRメーターのcalibration

Calibrationは、常温で行う。

OPEN Calibration
1. testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
  1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
SHORT Calibtation
1. testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

測定サンプルのセットアップ・冷却

testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基盤に装着する。
恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。

StripQAControlGUI のパラメータ設定

General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。

OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。

（各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。解析やログの記録の際に活用してください。）

測定

ここまで出来たら各測定に進めます。

Added:

>
>

バイアス抵抗

デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。

ストリップ間抵抗

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

ストリップ間容量

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

MD8測定方法

配線

MD8を測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。

HV2410 →はじめ、Calibrationのために、"MD8・MOS"LEMOケーブルにつなぐ。
- 冷却後の測定時に、"MD8・MOS" または”Ccpl IV”に測定項目によって繋ぎ変える。両方ともオレンジのLEMOケーブル。
MD8 A → 上のLCRメータ H_CUR
MD8 B → 上のLCRメータ H_POT
MD8 C → 上のLCRメータ L_POT
MD8 D → 上のLCRメータ L_CUR

Calibration

Calibrationは、常温で行う。

OPEN Calibration
1. MD8装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
  1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
SHORT Calibtation
1. MD8装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

<!--

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

!-->

サンプルの装着

測定用基板に装着する前に、サンプル（カバーの中）に窒素ガスに流して霜をよく飛ばす。霜がついていると、HVがかかったときにサンプルを破壊してしまう場合がある。
MD8用基板に測定サンプルを装着する。

測定

カップリングの暗電流

HV2410ケーブルが、”CCPL IV”LEMOケーブルにつながっていることを必ず確認する。
GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。
1. 0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

酸化膜容量　

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

MD8のIVCV

HV2410ケーブルを”MD8・MOS”レモケーブルにつながっていることを確認してください。
CCPL IVにつながっているとチップを壊してしまうので、かならず配線を確認すること！
GUIで、”MD8”をクリックする。
1. 0~-500Vを10Vステップで測定します。
2. 電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

温湿度計について

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

設定方法は以下の通り。

[Windows側]

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

Deleted:

<
<

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

Deleted:

<
<

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

Deleted:

<
<

[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。

Deleted:

<
<

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。

測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 486　Pico Ammeter
  - Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  - Keithley エラーメッセージマニュアル
    - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm

LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP

参考資料

ストリップQA関係
Test chip measurement guide
Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
QA data format (.pptxのやつ)
Test chipの配線とか
E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
MOS capacitors
ITk strip sensor QA TWiki
QA status

ATLAS-J-ITk

K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)

Strip sensor meeting

メモ

佐藤が編集するまえのバージョン：r19

META FILEATTACHMENT	attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"

Revision 222022-02-25 - AtlasjSilicon

  META TOPICPARENT 
 name="WebHome" 

 ITk strip QA 

Under construction.

--   Shigeki Hirose  - 2020-08-19 
 QAシステム概要 

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

すべての測定には最低でもPC、LCRメーター2台、ソースメーター2台、スイッチ操作装置(TUSB-PIO)、Raspiを用いた温度計システムと測定サンプルを装着する基盤が必要です。

B4奥クリーンルームのデスク、左のWindowsマシン上で、StripQAControlGUIソフトウェアから機器を操作して測定する。

テストチップの測定サイクルは、 

 配線を繋ぎ変え・確認
  LCRメータのキャリブレーション
  サンプルをtestChip用基盤に装着
  －20℃に冷却
  HVが問題なくかかるかどうか、手動でチェック
  測定　（5項目：バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動）
  常温に戻し、テストチップをしまう
 
MD8の測定サイクルは、 
 配線を繋ぎ変え・確認
  LCRメータのキャリブレーション
  サンプルをMD8用基盤に装着
  －20℃に冷却
  Ccpl測定
  HVケーブルをつなぎ変え
  CMOS 酸化膜容量測定
  MD8測定
  常温に戻し、テストチップをしまう
 
 測定サンプルを装着する基盤 

恒温槽内に２つの測定サンプル装着用基板がある。 

 （左）テストチップ測定用基板―バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動
  （右）MD8測定用基板―カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定
 
To be written.
 StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated) 

デスクトップにあるショートカット｢StripQA｣をダブルクリックし、ソリューションを開きます。

画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。

最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。
 テストチップ測定方法 
 配線 

テストチップを測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。 

 HV2410 → ITk Strip Teg Boardの”Vtest”
  CCPL A → 上のLCRメータ H_CUR
  CCPL B → 上のLCRメータ H_POT
  CCPL C → 上のLCRメータ L_POT
  CCPL D → 上のLCRメータ L_CUR
 
 LCRメーターのcalibration 

Calibrationは、常温で行う。 

 OPEN Calibration 
 testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。 
 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
 
 
  SHORT Calibtation
 
 testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。
 
 
 測定サンプルのセットアップ・冷却 
 
 testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基盤に装着する。
  恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。
 
 StripQAControlGUI のパラメータ設定 

General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。

OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。

（各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。解析やログの記録の際に活用してください。）
 測定 

ここまで出来たら各測定に進めます。 

 バイアス抵抗
 
デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。
 

 カップリング容量
 
1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。
 

 ストリップ間抵抗
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
 

 ストリップ間容量
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
 

 PTP
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。
 MD8測定方法 
 配線 

MD8を測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。
- META TOPICPARENT
+ name="WebHome"
-<
<
+ HV2410 →はじめ、"Ccpl IV"LEMOケーブルにつなぐ。 
 "MD8・MOS" または”Ccpl IV”に測定項目によって繋ぎ変える。両方ともオレンジのLEMOケーブル。
->
>
+ HV2410 →はじめ、Calibrationのために、"MD8・MOS"LEMOケーブルにつなぐ。 
 冷却後の測定時に、"MD8・MOS" または”Ccpl IV”に測定項目によって繋ぎ変える。両方ともオレンジのLEMOケーブル。
  MD8 A → 上のLCRメータ H_CUR
  MD8 B → 上のLCRメータ H_POT
  MD8 C → 上のLCRメータ L_POT
  MD8 D → 上のLCRメータ L_CUR
 
 Calibration
-<
<
+配線を付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。やり方は、TestChipのときのCalibrationと同じ。
->
>
+配線を付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。
testChip用でなくMD8用基板を使用することと、Shortサンプルに「MD8・MOS用」の方を使う以外は、TestChipのときのCalibrationと同じやり方。
 Calibrationは、常温で行う。 
 OPEN Calibration
-<
<
+ testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
->
>
+ MD8装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。 
 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
 
 
  SHORT Calibtation
-<
<
+ testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
->
>
+ MD8装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。
 
 

<!--

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

GUIでDev_Open、(PortA をOutputにしてDirectionSet)をクリックし、PortAのスイッチがすべてOnになっていること(数字の横の赤いランプが光ること)を確認します。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

!-->

 サンプルの装着
-<
<
+ 測定用基板に装着する前に、サンプル（カバーの中）に窒素ガスに流して霜をよく飛ばす。霜がついていると、HVがかかったときにサンプルを破壊してしまう場合がある。
->
>
+ 測定用基板に装着する前に、サンプル（カバーの中）に窒素ガスに流して霜をよく飛ばす。霜がついていると、HVがかかったときにサンプルを破壊してしまう場合がある。
  MD8用基板に測定サンプルを装着する。
 
 測定 
 カップリングの暗電流 
 
 HV2410ケーブルが、”CCPL IV”LEMOケーブルにつながっていることを必ず確認する。
  GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。 
 0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。
 
 
 酸化膜容量　 

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。
 MD8のIVCV
-<
<
+ HV2410ケーブルを”MD8・MOS”レモケーブルにつながっていることを確認してください。
->
>
+ HV2410ケーブルを”MD8・MOS”レモケーブルにつながっていることを確認してください。
CCPL IVにつながっているとチップを壊してしまうので、かならず配線を確認すること！
  GUIで、”MD8”をクリックする。 
 0~-500Vを10Vステップで測定します。
  電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
 
 

 温湿度計について 

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。atlasjユーザー（パスワードは誰かに聞いてください）でログインし、~/work/stripQAにあるthermohydrometer.pyというPythonスクリプトで温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows（130.87.243.248）のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。

設定方法は以下の通り。

[Windows側]

1. 共有フォルダ―を作る。例えばsharedというフォルダーを作り、右クリック→プロパティから共有設定をする。参考→ https://pc-karuma.net/windows-10-share-files-folders/

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。
 測定ログ 

8月　(QAMeasurementLog202008)
 マニュアルなど 
 
 ソースメーター 
 Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter 
 Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
 
  Keythley Model 486　Pico Ammeter 
 Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
 
  Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter 
 Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  Keithley エラーメッセージマニュアル 
 http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
 
 
 
 
 

 LCRメーター 
 Agilent 4284A Precision LCR Meter 
 Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
 
 
 
 参考資料 
 
 ストリップQA関係
  Test chip measurement guide
  Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
  QA data format (.pptxのやつ)
  Test chipの配線とか
  E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
  MOS capacitors
  ITk strip sensor QA TWiki
  QA status
 
 

 ATLAS-J-ITk
 
 

 K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
  K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
  S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
  T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)
 
 

 Strip sensor meeting
 
 

 K. Hara on 28th October 2020
  K. Hara on 11th November 2020
  S. Hirose on 16th June 2021 (gamma-irradiated test chips)
 

 メモ 

佐藤が編集するまえのバージョン：r19




 META FILEATTACHMENT 
 attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"
- META FILEATTACHMENT
+ attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"

Revision 212022-02-22 - ShigekiHirose

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

B4奥クリーンルームのデスク、左のWindowsマシン上で、StripQAControlGUIソフトウェアから機器を操作して測定する。

テストチップの測定サイクルは、

配線を繋ぎ変え・確認
LCRメータのキャリブレーション
サンプルをtestChip用基盤に装着
－20℃に冷却
HVが問題なくかかるかどうか、手動でチェック
測定　（5項目：バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動）
常温に戻し、テストチップをしまう

MD8の測定サイクルは、

配線を繋ぎ変え・確認
LCRメータのキャリブレーション
サンプルをMD8用基盤に装着
－20℃に冷却
Ccpl測定
HVケーブルをつなぎ変え
CMOS 酸化膜容量測定
MD8測定
常温に戻し、テストチップをしまう

測定サンプルを装着する基盤

恒温槽内に２つの測定サンプル装着用基板がある。

（左）テストチップ測定用基板―バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動
（右）MD8測定用基板―カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated)

デスクトップにあるショートカット｢StripQA｣をダブルクリックし、ソリューションを開きます。

画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。

最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。

テストチップ測定方法

配線

テストチップを測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。

HV2410 → ITk Strip Teg Boardの”Vtest”
CCPL A → 上のLCRメータ H_CUR
CCPL B → 上のLCRメータ H_POT
CCPL C → 上のLCRメータ L_POT
CCPL D → 上のLCRメータ L_CUR

LCRメーターのcalibration

Calibrationは、常温で行う。

OPEN Calibration
1. testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
  1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
SHORT Calibtation
1. testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

測定サンプルのセットアップ・冷却

testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基盤に装着する。
恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。

StripQAControlGUI のパラメータ設定

General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。

OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。

（各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。解析やログの記録の際に活用してください。）

測定

ここまで出来たら各測定に進めます。

バイアス抵抗

デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。

ストリップ間抵抗

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

ストリップ間容量

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

MD8測定方法

配線

MD8を測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。

HV2410 →はじめ、"Ccpl IV"LEMOケーブルにつなぐ。
- "MD8・MOS" または”Ccpl IV”に測定項目によって繋ぎ変える。両方ともオレンジのLEMOケーブル。
MD8 A → 上のLCRメータ H_CUR
MD8 B → 上のLCRメータ H_POT
MD8 C → 上のLCRメータ L_POT
MD8 D → 上のLCRメータ L_CUR

Calibration

配線を付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。やり方は、TestChipのときのCalibrationと同じ。

Calibrationは、常温で行う。

OPEN Calibration
1. testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
  1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
SHORT Calibtation
1. testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

<!--

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

!-->

サンプルの装着

測定用基板に装着する前に、サンプル（カバーの中）に窒素ガスに流して霜をよく飛ばす。霜がついていると、HVがかかったときにサンプルを破壊してしまう場合がある。
MD8用基板に測定サンプルを装着する。

測定

カップリングの暗電流

HV2410ケーブルが、”CCPL IV”LEMOケーブルにつながっていることを必ず確認する。
GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。
1. 0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

酸化膜容量　

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

MD8のIVCV

HV2410ケーブルを”MD8・MOS”レモケーブルにつながっていることを確認してください。
GUIで、”MD8”をクリックする。
1. 0~-500Vを10Vステップで測定します。
2. 電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

温湿度計について

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

設定方法は以下の通り。

[Windows側]

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

Added:

>
>

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

Added:

>
>

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

Added:

>
>

[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。

Added:

>
>

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。

測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 486　Pico Ammeter
  - Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  - Keithley エラーメッセージマニュアル
    - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm

LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP

参考資料

ストリップQA関係
Test chip measurement guide
Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
QA data format (.pptxのやつ)
Test chipの配線とか
E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
MOS capacitors
ITk strip sensor QA TWiki
QA status

ATLAS-J-ITk

K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)

Strip sensor meeting

Added:

>
>

S. Hirose on 16th June 2021 (gamma-irradiated test chips)

メモ

佐藤が編集するまえのバージョン：r19

META FILEATTACHMENT	attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"

Revision 202022-02-17 - AtlasjSilicon

  META TOPICPARENT 
 name="WebHome" 

 ITk strip QA 

Under construction.

--   Shigeki Hirose  - 2020-08-19 
 QAシステム概要 

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

すべての測定には最低でもPC、LCRメーター2台、ソースメーター2台、スイッチ操作装置(TUSB-PIO)、Raspiを用いた温度計システムと測定サンプルを装着する基盤が必要です。
- META TOPICPARENT
+ name="WebHome"
-<
<
+To be written.
->
>
+B4奥クリーンルームのデスク、左のWindowsマシン上で、StripQAControlGUIソフトウェアから機器を操作して測定する。
-<
<
+ 測定方法
-<
<
+測定開始前にすること
->
>
+テストチップの測定サイクルは、
->
>
+ 配線を繋ぎ変え・確認
  LCRメータのキャリブレーション
  サンプルをtestChip用基盤に装着
  －20℃に冷却
  HVが問題なくかかるかどうか、手動でチェック
  測定　（5項目：バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動）
  常温に戻し、テストチップをしまう
 
MD8の測定サイクルは、 
 配線を繋ぎ変え・確認
  LCRメータのキャリブレーション
  サンプルをMD8用基盤に装着
  －20℃に冷却
  Ccpl測定
  HVケーブルをつなぎ変え
  CMOS 酸化膜容量測定
  MD8測定
  常温に戻し、テストチップをしまう
 
 測定サンプルを装着する基盤
-<
<
+LCRメーターのcalibration
->
>
+恒温槽内に２つの測定サンプル装着用基板がある。
->
>
+ （左）テストチップ測定用基板―バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動
  （右）MD8測定用基板―カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定
 
To be written.
 StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated)
-<
<
+サンプル以外のセットアップをすべてつなげた状態で、calibration用の基盤を設置します。

LCRメーターのMENUにあるMEAS SETUPボタンを押し、画面に表示されるCORRECTIONに対応するボタンを押します。

カーソルをOPEN/SHORT(自分が設置した基板の種類)にあわせ、MEAS OPEN/SHORTを押すとcalibrationが始まります。

LCRメーター2台とも、OPEN、SHORT2種類のcalibrationを行ってください。

calibrationが終わったら、測定したいサンプルを取り付けてください。
 デスクトップにあるショートカット｢StripQA｣をダブルクリックし、ソリューションを開きます。

画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。

最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。
->
>
+ テストチップ測定方法 
 配線
->
>
+テストチップを測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。 
 HV2410 → ITk Strip Teg Boardの”Vtest”
  CCPL A → 上のLCRメータ H_CUR
  CCPL B → 上のLCRメータ H_POT
  CCPL C → 上のLCRメータ L_POT
  CCPL D → 上のLCRメータ L_CUR
 
 LCRメーターのcalibration 

Calibrationは、常温で行う。 

 OPEN Calibration 
 testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。 
 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
 
 
  SHORT Calibtation
 
 testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。
 
 
 測定サンプルのセットアップ・冷却 
 
 testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基盤に装着する。
  恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。
 
 StripQAControlGUI のパラメータ設定
 General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。

OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。
-<
<
+各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。
->
>
+（各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。解析やログの記録の際に活用してください。）
->
>
+ 測定
-<
<
+解析やログの記録の際に活用してください。
 ここまで出来たら各測定に進めます。 
 バイアス抵抗
 
デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。
 

 カップリング容量
 
1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。
 

 ストリップ間抵抗
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
 

 ストリップ間容量
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
 

 PTP
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。
->
>
+ MD8測定方法 
 配線
-<
<
+この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります
->
>
+MD8を測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。
->
>
+ HV2410 →はじめ、"Ccpl IV"LEMOケーブルにつなぐ。 
 "MD8・MOS" または”Ccpl IV”に測定項目によって繋ぎ変える。両方ともオレンジのLEMOケーブル。
 
  MD8 A → 上のLCRメータ H_CUR
  MD8 B → 上のLCRメータ H_POT
  MD8 C → 上のLCRメータ L_POT
  MD8 D → 上のLCRメータ L_CUR
 
 Calibration
-<
<
+別の基板に付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。
->
>
+配線を付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。やり方は、TestChipのときのCalibrationと同じ。
->
>
+Calibrationは、常温で行う。 
 OPEN Calibration 
 testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。 
 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
 
 
  SHORT Calibtation
 
 testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
  StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
  Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。
 
 

<!--
 Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

GUIでDev_Open、(PortA をOutputにしてDirectionSet)をクリックし、PortAのスイッチがすべてOnになっていること(数字の横の赤いランプが光ること)を確認します。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。
-<
<
+ カップリングの暗電流
->
>
+!-->
-<
<
+二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。
->
>
+ サンプルの装着
->
>
+ 測定用基板に装着する前に、サンプル（カバーの中）に窒素ガスに流して霜をよく飛ばす。霜がついていると、HVがかかったときにサンプルを破壊してしまう場合がある。
  MD8用基板に測定サンプルを装着する。
 
 測定 
 カップリングの暗電流 
 
 HV2410ケーブルが、”CCPL IV”LEMOケーブルにつながっていることを必ず確認する。
  GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。 
 0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。
 
 
 酸化膜容量
-<
<
+~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。
 

 酸化膜容量
 二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。
->
>
+ MD8のIVCV 
 
 HV2410ケーブルを”MD8・MOS”レモケーブルにつながっていることを確認してください。
  GUIで、”MD8”をクリックする。 
 0~-500Vを10Vステップで測定します。
  電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
-<
<
+ MD8のIVCV
 

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~-500Vを10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
  温湿度計について 

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。atlasjユーザー（パスワードは誰かに聞いてください）でログインし、~/work/stripQAにあるthermohydrometer.pyというPythonスクリプトで温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows（130.87.243.248）のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。

設定方法は以下の通り。

[Windows側]

1. 共有フォルダ―を作る。例えばsharedというフォルダーを作り、右クリック→プロパティから共有設定をする。参考→ https://pc-karuma.net/windows-10-share-files-folders/

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする
$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。
$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。
[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。
sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。
 測定ログ 

8月　(QAMeasurementLog202008)
 マニュアルなど 
 
 ソースメーター 
 Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter 
 Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
 
  Keythley Model 486　Pico Ammeter 
 Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
 
  Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter 
 Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  Keithley エラーメッセージマニュアル 
 http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
 
 
 
 
 

 LCRメーター 
 Agilent 4284A Precision LCR Meter 
 Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
 
 
 
 参考資料 
 
 ストリップQA関係
-<
<
+ Test chip measurement guide
  Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
  QA data format (.pptxのやつ)
  Test chipの配線とか
  E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
  MOS capacitors
  ITk strip sensor QA TWiki
  QA status
->
>
+ Test chip measurement guide
  Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
  QA data format (.pptxのやつ)
  Test chipの配線とか
  E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
  MOS capacitors
  ITk strip sensor QA TWiki
  QA status
->
>
  ATLAS-J-ITk
-<
<
+ K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
  K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
  S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
  T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)
->
>
+ K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
  K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
  S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
->
>
+ T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)
  Strip sensor meeting
-<
<
+ K. Hara on 28th October 2020
  K. Hara on 11th November 2020
->
>
+ K. Hara on 28th October 2020
->
>
+ K. Hara on 11th November 2020
 

 メモ 

佐藤が編集するまえのバージョン：r19




 META FILEATTACHMENT 
 attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"
- META FILEATTACHMENT
+ attachment="IMG_4750.jpeg" attr="" comment="恒温槽の中。左から順に、testChip測定用基板、MD8測定用基板、CCE測定セットアップ。" date="1645078948" name="IMG_4750.jpeg" path="IMG_4750.jpeg" size="857206" user="AtlasjSilicon" version="1"

Revision 192022-02-14 - ShigekiHirose

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

測定方法

測定開始前にすること

LCRメーターのcalibration

サンプル以外のセットアップをすべてつなげた状態で、calibration用の基盤を設置します。

LCRメーターのMENUにあるMEAS SETUPボタンを押し、画面に表示されるCORRECTIONに対応するボタンを押します。

カーソルをOPEN/SHORT(自分が設置した基板の種類)にあわせ、MEAS OPEN/SHORTを押すとcalibrationが始まります。

LCRメーター2台とも、OPEN、SHORT2種類のcalibrationを行ってください。

calibrationが終わったら、測定したいサンプルを取り付けてください。

デスクトップにあるショートカット｢StripQA｣をダブルクリックし、ソリューションを開きます。

画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。

最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。

General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。

OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。

各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。

解析やログの記録の際に活用してください。

ここまで出来たら各測定に進めます。

バイアス抵抗

デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。

ストリップ間抵抗

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

ストリップ間容量

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります

別の基板に付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

カップリングの暗電流

二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

酸化膜容量

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

MD8のIVCV

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~-500Vを10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

温湿度計について

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

設定方法は以下の通り。

[Windows側]

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

Deleted:

<
<

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

Deleted:

<
<

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

Deleted:

<
<

[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。

Deleted:

<
<

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。

測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 486　Pico Ammeter
  - Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  - Keithley エラーメッセージマニュアル
    - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm

LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP

参考資料

ストリップQA関係
- Test chip measurement guide
- Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
- QA data format (.pptxのやつ)
- Test chipの配線とか
- E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
- MOS capacitors
- ITk strip sensor QA TWiki

Added:

>
>

- QA status

ATLAS-J-ITk
- K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
- K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
- S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
- T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)
Strip sensor meeting
- K. Hara on 28th October 2020
- K. Hara on 11th November 2020

Revision 182022-02-07 - ShigekiHirose

  META TOPICPARENT 
 name="WebHome" 

 ITk strip QA 

Under construction.
- META TOPICPARENT
+ name="WebHome"
-<
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+--   Shigeki Hirose  - 2020-08-19
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>
+--   Shigeki Hirose  - 2020-08-19
  QAシステム概要 

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

すべての測定には最低でもPC、LCRメーター2台、ソースメーター2台、スイッチ操作装置(TUSB-PIO)、Raspiを用いた温度計システムと測定サンプルを装着する基盤が必要です。

To be written.
 測定方法 

測定開始前にすること

LCRメーターのcalibration

サンプル以外のセットアップをすべてつなげた状態で、calibration用の基盤を設置します。

LCRメーターのMENUにあるMEAS SETUPボタンを押し、画面に表示されるCORRECTIONに対応するボタンを押します。

カーソルをOPEN/SHORT(自分が設置した基板の種類)にあわせ、MEAS OPEN/SHORTを押すとcalibrationが始まります。

LCRメーター2台とも、OPEN、SHORT2種類のcalibrationを行ってください。

calibrationが終わったら、測定したいサンプルを取り付けてください。

デスクトップにあるショートカット｢StripQA｣をダブルクリックし、ソリューションを開きます。

画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。

最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。

General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。

OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。
-<
<
+https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0
->
>
+https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0
 間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。

各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。

解析やログの記録の際に活用してください。

ここまで出来たら各測定に進めます。 

 バイアス抵抗
 
デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。
 

 カップリング容量
 
1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。
 

 ストリップ間抵抗
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
 

 ストリップ間容量
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
 

 PTP
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります

別の基板に付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

GUIでDev_Open、(PortA をOutputにしてDirectionSet)をクリックし、PortAのスイッチがすべてOnになっていること(数字の横の赤いランプが光ること)を確認します。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。
 

 カップリングの暗電流
 

二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。
 

 酸化膜容量
 
二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。
 

 MD8のIVCV
 

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~-500Vを10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

 温湿度計について 

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。atlasjユーザー（パスワードは誰かに聞いてください）でログインし、~/work/stripQAにあるthermohydrometer.pyというPythonスクリプトで温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows（130.87.243.248）のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。

設定方法は以下の通り。

[Windows側]
-<
<
+. 共有フォルダ―を作る。例えばsharedというフォルダーを作り、右クリック→プロパティから共有設定をする。参考→ https://pc-karuma.net/windows-10-share-files-folders/
->
>
+. 共有フォルダ―を作る。例えばsharedというフォルダーを作り、右クリック→プロパティから共有設定をする。参考→ https://pc-karuma.net/windows-10-share-files-folders/
 ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする
->
>
 $ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。
->
>
 $ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。
->
>
 [share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。
->
>
 sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。
 測定ログ 

8月　(QAMeasurementLog202008)
 マニュアルなど 
 
 ソースメーター 
 Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
-<
<
+ Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
->
>
+ Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
  Keythley Model 486　Pico Ammeter
-<
<
+ Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
->
>
+ Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
  Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
-<
<
+ Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
->
>
+ Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
  Keithley エラーメッセージマニュアル
-<
<
+ http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
->
>
+ http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
  LCRメーター 
 Agilent 4284A Precision LCR Meter 
 Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
 
 
 
 参考資料
-<
<
+ ストリップQA関係（*) はuser: tsukuba-silicon, password: ITk_stripQA!） 
 Sensor Quality Assuarance Document (25th March 2019): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_v5.docx
  Sensor Quality Assurance Database Test Parameters (29th June 2020; 2020年8月現在最新版): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_DB_Inputs_290720_v13.docx
  QA data format as of 2nd June 2020: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/2020-06-02_Sensor_QA_DataFormats_v5.pptx
  Test chip details: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/testchip.pptx
->
>
+ ストリップQA関係 
 Test chip measurement guide
  Sensor Quality Assurance Database Test Input Parameters（.docxのやつ）
  QA data format (.pptxのやつ)
  Test chipの配線とか
-<
<
+ K. Hara, "Strip Sensor QC/QA in Japan", presented at ATLAS-Japan silicon workshop on 21st December 2019: https://kds.kek.jp/indico/event/32999/contributions/161326/attachments/128299/152895/StripQCQA-ATLASJ2019.pdf
  E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
-<
<
+ MOS capacitors: https://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter6/ch6_2.htm
  QAドキュメント（2020/11/03時点の最新版）https://indico.cern.ch/event/964058/#sc-66-8-document-on-test-chip
->
>
+ MOS capacitors
  ITk strip sensor QA TWiki
-<
<
+ ITk strip全般 
 ITk Strip TDR: https://cds.cern.ch/record/2257755?ln=en
  ATLAS-J-ITk 
 K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
  K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
  S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
  T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)
 
  Strip sensor meeting 
 K. Hara on 28th October 2020
  K. Hara on 11th November 2020
-<
<
+ EDMS document 
 Measurement Guide for Test Chip and MD8 for QA

Revision 172021-05-20 - TatsuyaIshii

  META TOPICPARENT 
 name="WebHome" 

 ITk strip QA 

Under construction.

--   Shigeki Hirose  - 2020-08-19 
 QAシステム概要 

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

すべての測定には最低でもPC、LCRメーター2台、ソースメーター2台、スイッチ操作装置(TUSB-PIO)、Raspiを用いた温度計システムと測定サンプルを装着する基盤が必要です。

To be written.
 測定方法 

測定開始前にすること

LCRメーターのcalibration

サンプル以外のセットアップをすべてつなげた状態で、calibration用の基盤を設置します。

LCRメーターのMENUにあるMEAS SETUPボタンを押し、画面に表示されるCORRECTIONに対応するボタンを押します。

カーソルをOPEN/SHORT(自分が設置した基板の種類)にあわせ、MEAS OPEN/SHORTを押すとcalibrationが始まります。

LCRメーター2台とも、OPEN、SHORT2種類のcalibrationを行ってください。

calibrationが終わったら、測定したいサンプルを取り付けてください。

デスクトップにあるショートカット｢StripQA｣をダブルクリックし、ソリューションを開きます。

画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。

最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。

General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。

OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。

各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。

解析やログの記録の際に活用してください。

ここまで出来たら各測定に進めます。 

 バイアス抵抗
 
デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。
 

 カップリング容量
 
1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。
 

 ストリップ間抵抗
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
 

 ストリップ間容量
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
 

 PTP
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります

別の基板に付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

GUIでDev_Open、(PortA をOutputにしてDirectionSet)をクリックし、PortAのスイッチがすべてOnになっていること(数字の横の赤いランプが光ること)を確認します。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。
 

 カップリングの暗電流
 

二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。
 

 酸化膜容量
 
二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。
 

 MD8のIVCV
 

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~-500Vを10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

 温湿度計について 

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。atlasjユーザー（パスワードは誰かに聞いてください）でログインし、~/work/stripQAにあるthermohydrometer.pyというPythonスクリプトで温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows（130.87.243.248）のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。

設定方法は以下の通り。

[Windows側]

1. 共有フォルダ―を作る。例えばsharedというフォルダーを作り、右クリック→プロパティから共有設定をする。参考→ https://pc-karuma.net/windows-10-share-files-folders/

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする
- META TOPICPARENT
+ name="WebHome"
-<
<
 $ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。
-<
<
 $ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。
-<
<
 [share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。
-<
<
 sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。
 測定ログ 

8月　(QAMeasurementLog202008)
 マニュアルなど 
 
 ソースメーター 
 Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter 
 Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
->
>
+ Keythley Model 486　Pico Ammeter 
 Manual: https://bee.mif.pg.gda.pl/ciasteczkowypotwor/Keithley/KEI%20486,%20487%20Instruction.pdf
  Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter 
 Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
-<
<
+ Keithley エラーメッセージマニュアル 
 http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
->
>
+ Keithley エラーメッセージマニュアル 
 http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
->
>
  LCRメーター 
 Agilent 4284A Precision LCR Meter 
 Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
 
 
 
 参考資料 
 
 ストリップQA関係（*) はuser: tsukuba-silicon, password: ITk_stripQA!） 
 Sensor Quality Assuarance Document (25th March 2019): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_v5.docx
  Sensor Quality Assurance Database Test Parameters (29th June 2020; 2020年8月現在最新版): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_DB_Inputs_290720_v13.docx
  QA data format as of 2nd June 2020: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/2020-06-02_Sensor_QA_DataFormats_v5.pptx
  Test chip details: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/testchip.pptx
  K. Hara, "Strip Sensor QC/QA in Japan", presented at ATLAS-Japan silicon workshop on 21st December 2019: https://kds.kek.jp/indico/event/32999/contributions/161326/attachments/128299/152895/StripQCQA-ATLASJ2019.pdf
  E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
  MOS capacitors: https://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter6/ch6_2.htm
  QAドキュメント（2020/11/03時点の最新版）https://indico.cern.ch/event/964058/#sc-66-8-document-on-test-chip
 
  ITk strip全般 
 ITk Strip TDR: https://cds.cern.ch/record/2257755?ln=en
 
  ATLAS-J-ITk 
 K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
  K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
  S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
  T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)
 
  Strip sensor meeting 
 K. Hara on 28th October 2020
  K. Hara on 11th November 2020
 
  EDMS document 
 Measurement Guide for Test Chip and MD8 for QA

Revision 162021-02-10 - ShigekiHirose

  META TOPICPARENT 
 name="WebHome" 

 ITk strip QA 

Under construction.

--   Shigeki Hirose  - 2020-08-19 
 QAシステム概要 

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

すべての測定には最低でもPC、LCRメーター2台、ソースメーター2台、スイッチ操作装置(TUSB-PIO)、Raspiを用いた温度計システムと測定サンプルを装着する基盤が必要です。

To be written.
 測定方法 

測定開始前にすること

LCRメーターのcalibration

サンプル以外のセットアップをすべてつなげた状態で、calibration用の基盤を設置します。

LCRメーターのMENUにあるMEAS SETUPボタンを押し、画面に表示されるCORRECTIONに対応するボタンを押します。

カーソルをOPEN/SHORT(自分が設置した基板の種類)にあわせ、MEAS OPEN/SHORTを押すとcalibrationが始まります。

LCRメーター2台とも、OPEN、SHORT2種類のcalibrationを行ってください。

calibrationが終わったら、測定したいサンプルを取り付けてください。

デスクトップにあるショートカット｢StripQA｣をダブルクリックし、ソリューションを開きます。

画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。

最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。

General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。

OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。

各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。

解析やログの記録の際に活用してください。

ここまで出来たら各測定に進めます。 

 バイアス抵抗
 
デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。
 

 カップリング容量
 
1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。
 

 ストリップ間抵抗
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
 

 ストリップ間容量
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
 

 PTP
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります

別の基板に付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

GUIでDev_Open、(PortA をOutputにしてDirectionSet)をクリックし、PortAのスイッチがすべてOnになっていること(数字の横の赤いランプが光ること)を確認します。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。
 

 カップリングの暗電流
 

二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。
 

 酸化膜容量
 
二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。
 

 MD8のIVCV
 

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~-500Vを10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

 温湿度計について 

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。atlasjユーザー（パスワードは誰かに聞いてください）でログインし、~/work/stripQAにあるthermohydrometer.pyというPythonスクリプトで温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows（130.87.243.248）のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。

設定方法は以下の通り。

[Windows側]

1. 共有フォルダ―を作る。例えばsharedというフォルダーを作り、右クリック→プロパティから共有設定をする。参考→ https://pc-karuma.net/windows-10-share-files-folders/

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする
- META TOPICPARENT
+ name="WebHome"
->
>
 $ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。
->
>
 $ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。
->
>
 [share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。
->
>
 sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。
 測定ログ 

8月　(QAMeasurementLog202008)
 マニュアルなど 
 
 ソースメーター 
 Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter 
 Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
 
  Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter 
 Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
 
  Keithley エラーメッセージマニュアル 
 http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
 
 
  LCRメーター 
 Agilent 4284A Precision LCR Meter 
 Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
 
 
 
 参考資料 
 
 ストリップQA関係（*) はuser: tsukuba-silicon, password: ITk_stripQA!） 
 Sensor Quality Assuarance Document (25th March 2019): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_v5.docx
  Sensor Quality Assurance Database Test Parameters (29th June 2020; 2020年8月現在最新版): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_DB_Inputs_290720_v13.docx
  QA data format as of 2nd June 2020: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/2020-06-02_Sensor_QA_DataFormats_v5.pptx
  Test chip details: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/testchip.pptx
  K. Hara, "Strip Sensor QC/QA in Japan", presented at ATLAS-Japan silicon workshop on 21st December 2019: https://kds.kek.jp/indico/event/32999/contributions/161326/attachments/128299/152895/StripQCQA-ATLASJ2019.pdf
  E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
  MOS capacitors: https://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter6/ch6_2.htm
  QAドキュメント（2020/11/03時点の最新版）https://indico.cern.ch/event/964058/#sc-66-8-document-on-test-chip
 
  ITk strip全般 
 ITk Strip TDR: https://cds.cern.ch/record/2257755?ln=en
 
  ATLAS-J-ITk 
 K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
  K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
  S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
  T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)
 
  Strip sensor meeting 
 K. Hara on 28th October 2020
  K. Hara on 11th November 2020
-<
<
+      *
->
>
+ EDMS document
->
>
+ Measurement Guide for Test Chip and MD8 for QA

Revision 152020-11-16 - ShigekiHirose

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

測定方法

測定開始前にすること

LCRメーターのcalibration

サンプル以外のセットアップをすべてつなげた状態で、calibration用の基盤を設置します。

LCRメーターのMENUにあるMEAS SETUPボタンを押し、画面に表示されるCORRECTIONに対応するボタンを押します。

カーソルをOPEN/SHORT(自分が設置した基板の種類)にあわせ、MEAS OPEN/SHORTを押すとcalibrationが始まります。

LCRメーター2台とも、OPEN、SHORT2種類のcalibrationを行ってください。

calibrationが終わったら、測定したいサンプルを取り付けてください。

デスクトップにあるショートカット｢StripQA｣をダブルクリックし、ソリューションを開きます。

画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。

最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。

General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。

OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。

各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。

解析やログの記録の際に活用してください。

ここまで出来たら各測定に進めます。

バイアス抵抗

デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。

ストリップ間抵抗

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

ストリップ間容量

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります

別の基板に付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

カップリングの暗電流

二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

酸化膜容量

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

MD8のIVCV

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~-500Vを10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

温湿度計について

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

設定方法は以下の通り。

[Windows側]

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

Deleted:

<
<

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

Deleted:

<
<

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

Deleted:

<
<

[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。

Deleted:

<
<

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。

測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
- Keithley エラーメッセージマニュアル
  - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP

参考資料

ストリップQA関係（*) はuser: tsukuba-silicon, password: ITk_stripQA!）
- Sensor Quality Assuarance Document (25th March 2019): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_v5.docx
- Sensor Quality Assurance Database Test Parameters (29th June 2020; 2020年8月現在最新版): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_DB_Inputs_290720_v13.docx
- QA data format as of 2nd June 2020: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/2020-06-02_Sensor_QA_DataFormats_v5.pptx
- Test chip details: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/testchip.pptx
- K. Hara, "Strip Sensor QC/QA in Japan", presented at ATLAS-Japan silicon workshop on 21st December 2019: https://kds.kek.jp/indico/event/32999/contributions/161326/attachments/128299/152895/StripQCQA-ATLASJ2019.pdf
- E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
- MOS capacitors: https://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter6/ch6_2.htm
- QAドキュメント（2020/11/03時点の最新版）https://indico.cern.ch/event/964058/#sc-66-8-document-on-test-chip
ITk strip全般
- ITk Strip TDR: https://cds.cern.ch/record/2257755?ln=en
ATLAS-J-ITk
- K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
- K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
- S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
- T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)

Added:

>
>

Strip sensor meeting
- K. Hara on 28th October 2020
- K. Hara on 11th November 2020 *

Revision 142020-11-16 - ShigekiHirose

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

測定方法

測定開始前にすること

LCRメーターのcalibration

サンプル以外のセットアップをすべてつなげた状態で、calibration用の基盤を設置します。

LCRメーターのMENUにあるMEAS SETUPボタンを押し、画面に表示されるCORRECTIONに対応するボタンを押します。

カーソルをOPEN/SHORT(自分が設置した基板の種類)にあわせ、MEAS OPEN/SHORTを押すとcalibrationが始まります。

LCRメーター2台とも、OPEN、SHORT2種類のcalibrationを行ってください。

calibrationが終わったら、測定したいサンプルを取り付けてください。

デスクトップにあるショートカット｢StripQA｣をダブルクリックし、ソリューションを開きます。

画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。

最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。

General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。

OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。

各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。

解析やログの記録の際に活用してください。

ここまで出来たら各測定に進めます。

バイアス抵抗

デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。

ストリップ間抵抗

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

ストリップ間容量

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります

別の基板に付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

カップリングの暗電流

二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

酸化膜容量

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

MD8のIVCV

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~-500Vを10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

温湿度計について

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

設定方法は以下の通り。

[Windows側]

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

Added:

>
>

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

Added:

>
>

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

Added:

>
>

[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。

Added:

>
>

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。

測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
- Keithley エラーメッセージマニュアル
  - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP

参考資料

ストリップQA関係（*) はuser: tsukuba-silicon, password: ITk_stripQA!）
- Sensor Quality Assuarance Document (25th March 2019): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_v5.docx
- Sensor Quality Assurance Database Test Parameters (29th June 2020; 2020年8月現在最新版): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_DB_Inputs_290720_v13.docx
- QA data format as of 2nd June 2020: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/2020-06-02_Sensor_QA_DataFormats_v5.pptx
- Test chip details: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/testchip.pptx
- K. Hara, "Strip Sensor QC/QA in Japan", presented at ATLAS-Japan silicon workshop on 21st December 2019: https://kds.kek.jp/indico/event/32999/contributions/161326/attachments/128299/152895/StripQCQA-ATLASJ2019.pdf
- E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
- MOS capacitors: https://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter6/ch6_2.htm
- QAドキュメント（2020/11/03時点の最新版）https://indico.cern.ch/event/964058/#sc-66-8-document-on-test-chip
ITk strip全般
- ITk Strip TDR: https://cds.cern.ch/record/2257755?ln=en

Added:

>
>

ATLAS-J-ITk
- K. Hara, 30th July 2020 (QA-TCの状況)
- K. Saito on 8th October (たわみ測定の改善とQA-TC、QA-CCEの状況)
- S. Hirose on 22nd October (QCQAのスケジュール)
- T. Ishii on 12th November (QA-TC site-Qサンプルの結果)

Revision 132020-11-03 - ShigekiHirose

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

測定方法

測定開始前にすること

LCRメーターのcalibration

サンプル以外のセットアップをすべてつなげた状態で、calibration用の基盤を設置します。

LCRメーターのMENUにあるMEAS SETUPボタンを押し、画面に表示されるCORRECTIONに対応するボタンを押します。

カーソルをOPEN/SHORT(自分が設置した基板の種類)にあわせ、MEAS OPEN/SHORTを押すとcalibrationが始まります。

LCRメーター2台とも、OPEN、SHORT2種類のcalibrationを行ってください。

calibrationが終わったら、測定したいサンプルを取り付けてください。

デスクトップにあるショートカット｢StripQA｣をダブルクリックし、ソリューションを開きます。

画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。

最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。

General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。

OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。

各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。

解析やログの記録の際に活用してください。

ここまで出来たら各測定に進めます。

バイアス抵抗

デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。

ストリップ間抵抗

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

ストリップ間容量

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります

別の基板に付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。

カップリングの暗電流

二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

酸化膜容量

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

MD8のIVCV

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~-500Vを10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

温湿度計について

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

設定方法は以下の通り。

[Windows側]

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

Deleted:

<
<

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install samba-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

Deleted:

<
<

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

Deleted:

<
<

[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。

Deleted:

<
<

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。

測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
- Keithley エラーメッセージマニュアル
  - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP

参考資料

ストリップQA関係（*) はuser: tsukuba-silicon, password: ITk_stripQA!）
- Sensor Quality Assuarance Document (25th March 2019): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_v5.docx
- Sensor Quality Assurance Database Test Parameters (29th June 2020; 2020年8月現在最新版): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_DB_Inputs_290720_v13.docx
- QA data format as of 2nd June 2020: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/2020-06-02_Sensor_QA_DataFormats_v5.pptx
- Test chip details: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/testchip.pptx
- K. Hara, "Strip Sensor QC/QA in Japan", presented at ATLAS-Japan silicon workshop on 21st December 2019: https://kds.kek.jp/indico/event/32999/contributions/161326/attachments/128299/152895/StripQCQA-ATLASJ2019.pdf
- E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
- MOS capacitors: https://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter6/ch6_2.htm

Added:

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- QAドキュメント（2020/11/03時点の最新版）https://indico.cern.ch/event/964058/#sc-66-8-document-on-test-chip

ITk strip全般
- ITk Strip TDR: https://cds.cern.ch/record/2257755?ln=en

Revision 122020-10-26 - ShigekiHirose

  META TOPICPARENT 
 name="WebHome" 

 ITk strip QA 

Under construction.

--   Shigeki Hirose  - 2020-08-19 
 QAシステム概要 

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

すべての測定には最低でもPC、LCRメーター2台、ソースメーター2台、スイッチ操作装置(TUSB-PIO)、Raspiを用いた温度計システムと測定サンプルを装着する基盤が必要です。

To be written.
 測定方法 

測定開始前にすること

LCRメーターのcalibration

サンプル以外のセットアップをすべてつなげた状態で、calibration用の基盤を設置します。

LCRメーターのMENUにあるMEAS SETUPボタンを押し、画面に表示されるCORRECTIONに対応するボタンを押します。

カーソルをOPEN/SHORT(自分が設置した基板の種類)にあわせ、MEAS OPEN/SHORTを押すとcalibrationが始まります。

LCRメーター2台とも、OPEN、SHORT2種類のcalibrationを行ってください。

calibrationが終わったら、測定したいサンプルを取り付けてください。

デスクトップにあるショートカット｢StripQA｣をダブルクリックし、ソリューションを開きます。

画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。

最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。

General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。

OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。

以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。

各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。

解析やログの記録の際に活用してください。

ここまで出来たら各測定に進めます。 

 バイアス抵抗
 
デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。
 

 カップリング容量
 
1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。
 

 ストリップ間抵抗
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
 

 ストリップ間容量
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
 

 PTP
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります

別の基板に付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。
- META TOPICPARENT
+ name="WebHome"
-<
<
+GUIでDev_Open、(PortAをOutputにしてDirectionSet)をクリックし、PortAのスイッチがすべてOnになっていること(数字の横の赤いランプが光ること)を確認します。
->
>
+GUIでDev_Open、(PortA をOutputにしてDirectionSet)をクリックし、PortAのスイッチがすべてOnになっていること(数字の横の赤いランプが光ること)を確認します。
 最初と同じ方法でCalibrationをしてください。
 

 カップリングの暗電流
 

二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。
 

 酸化膜容量
 
二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ

陽子照射後は測定しない予定です。

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。
 

 MD8のIVCV
 

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~-500Vを10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

 温湿度計について 

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。atlasjユーザー（パスワードは誰かに聞いてください）でログインし、~/work/stripQAにあるthermohydrometer.pyというPythonスクリプトで温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows（130.87.243.248）のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。

設定方法は以下の通り。

[Windows側]

1. 共有フォルダ―を作る。例えばsharedというフォルダーを作り、右クリック→プロパティから共有設定をする。参考→ https://pc-karuma.net/windows-10-share-files-folders/

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]
-<
<
+. Sambaをインストールする
->
>
+. Sambaをインストールする
->
>
 $ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
-<
<
+$ sudo apt install sama-client
->
>
+$ sudo apt install samba-client
-<
<
+. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。
->
>
+. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。
->
>
 $ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser
-<
<
+. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。
->
>
+. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。
->
>
 [share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。
-<
<
+. 共有フォルダーをマウントする。
->
>
+. 共有フォルダーをマウントする。
->
>
 sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。
 測定ログ 

8月　(QAMeasurementLog202008)
 マニュアルなど 
 
 ソースメーター 
 Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter 
 Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
 
  Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter 
 Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
 
  Keithley エラーメッセージマニュアル 
 http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
 
 
  LCRメーター 
 Agilent 4284A Precision LCR Meter 
 Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
 
 
 
 参考資料 
 
 ストリップQA関係（*) はuser: tsukuba-silicon, password: ITk_stripQA!） 
 Sensor Quality Assuarance Document (25th March 2019): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_v5.docx
  Sensor Quality Assurance Database Test Parameters (29th June 2020; 2020年8月現在最新版): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_DB_Inputs_290720_v13.docx
  QA data format as of 2nd June 2020: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/2020-06-02_Sensor_QA_DataFormats_v5.pptx
  Test chip details: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/testchip.pptx
  K. Hara, "Strip Sensor QC/QA in Japan", presented at ATLAS-Japan silicon workshop on 21st December 2019: https://kds.kek.jp/indico/event/32999/contributions/161326/attachments/128299/152895/StripQCQA-ATLASJ2019.pdf
  E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
  MOS capacitors: https://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter6/ch6_2.htm
 
  ITk strip全般 
 ITk Strip TDR: https://cds.cern.ch/record/2257755?ln=en

Revision 112020-10-20 - KotaSaito

  META TOPICPARENT 
 name="WebHome" 

 ITk strip QA 

Under construction.

--   Shigeki Hirose  - 2020-08-19 
 QAシステム概要 

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

すべての測定には最低でもPC、LCRメーター2台、ソースメーター2台、スイッチ操作装置(TUSB-PIO)、Raspiを用いた温度計システムと測定サンプルを装着する基盤が必要です。

To be written.
 測定方法
- META TOPICPARENT
+ name="WebHome"
-<
<
+測定は、VisualStudioのStripQAControl.slnを用いて行います。
->
>
+測定開始前にすること
-<
<
+ソリューションを開くと、接続したLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAを選択します。
->
>
+LCRメーターのcalibration
-<
<
+新たに表示されるQA測定の画面で、選択したLCRメーターとソースメーターがそれぞれ正しく設定されているかを確認してください。
->
>
+サンプル以外のセットアップをすべてつなげた状態で、calibration用の基盤を設置します。
-<
<
+もし間違っている場合は、プルダウンで変更してください。
->
>
+LCRメーターのMENUにあるMEAS SETUPボタンを押し、画面に表示されるCORRECTIONに対応するボタンを押します。
-<
<
+使用する機械の確認が取れたら、測定するサンプルの名前を記入してください。
->
>
+カーソルをOPEN/SHORT(自分が設置した基板の種類)にあわせ、MEAS OPEN/SHORTを押すとcalibrationが始まります。
-<
<
+サンプルの名前と属性は以下のスプレッドシートで確認することができます。
->
>
+LCRメーター2台とも、OPEN、SHORT2種類のcalibrationを行ってください。
-<
<
+https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0
->
>
+calibrationが終わったら、測定したいサンプルを取り付けてください。
-<
<
+測定の際にも使用するのでこのタイミングで開いておくことをお勧めします。
->
>
+デスクトップにあるショートカット｢StripQA｣をダブルクリックし、ソリューションを開きます。
-<
<
+温度、湿度を記入してください
->
>
+画面中央上にある｢Local Windows Debugger｣をクリックし、GUIを実行します。
-<
<
+Raspiの温度計で温度と湿度を読み取ってください。（今後自動化されるかもしれません。）
->
>
+最初の画面でLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAをクリックします。
-<
<
+LCRメーターを使った測定がしたい場合は、キャリブレーションをしましょう。
->
>
+General Settingsで、測定するサンプルのBatchNo.(VPXを除いた数字5桁)を記入してください。
-<
<
+B4デシケーター内にshort、openそれぞれのキャリブレーションのための基盤があるので、それを接続してキャリブレーションをします。
->
>
+OperatorName,RunNo.を記入した後、SETをクリックしてください。
->
>
+以下のスプレッドシートを開き、WaferNo.やSerialNo.が正しいものになっているかを確認してください。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

間違っていたり、うまく表示されない場合は、手入力で変更してください。

もしRunNo.に重複がある場合、自動でファイル名を変更し、重複を回避するようになっています。

各測定の測定中にDataFilePathボタンを押すと、現在測定中のデータのファイル名が表示されます。

解析やログの記録の際に活用してください。
 ここまで出来たら各測定に進めます。 
 バイアス抵抗
-<
<
+デフォルトでは-5~5VまでをnVステップで測定しています。
->
>
+デフォルトでは-5~5Vまでを0.5Vステップで測定しています。
 測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。
 

 カップリング容量
 
1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
-<
<
+この測定はGUI上で測定周波数をを変更することができません。
->
>
+この測定はGUI上で測定周波数を変更することができません。
  ストリップ間抵抗
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。
-<
<
+測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。
->
>
+測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
  ストリップ間容量
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V
-<
<
+測定は、1MHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
->
>
+測定は、100kHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
-<
<
+測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。
->
>
+測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(ボタンで)変更してください。
  PTP
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります
->
>
+別の基板に付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。

Calibrationの前に、Local Windows Debuggerを押して最初に出てくるGUIにあるTUSB Formのボタンをクリックし、スイッチ操作用GUIを起動してください。

GUIでDev_Open、(PortAをOutputにしてDirectionSet)をクリックし、PortAのスイッチがすべてOnになっていること(数字の横の赤いランプが光ること)を確認します。

最初と同じ方法でCalibrationをしてください。
  カップリングの暗電流
 

二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。
->
>
  酸化膜容量
 
二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります
-<
<
+照射前　周波数10kHz、測定範囲-20~10V、0.1Vステップ
->
>
+照射前　周波数10kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ
-<
<
+照射後　周波数1MHz、測定範囲-50~10V、0.1Vステップ
->
>
+γ線照射後　周波数100kHz、測定範囲-60~0V、0.1Vステップ
->
>
+陽子照射後は測定しない予定です。
 どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。
->
>
  MD8のIVCV
 

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。
-<
<
+~-500V(?)を10Vステップで測定します。
->
>
+~-500Vを10Vステップで測定します。
 電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
-<
<
+To be written.
  温湿度計について 

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ（130.87.242.194）に接続されている。atlasjユーザー（パスワードは誰かに聞いてください）でログインし、~/work/stripQAにあるthermohydrometer.pyというPythonスクリプトで温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows（130.87.243.248）のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。

設定方法は以下の通り。

[Windows側]

1. 共有フォルダ―を作る。例えばsharedというフォルダーを作り、右クリック→プロパティから共有設定をする。参考→ https://pc-karuma.net/windows-10-share-files-folders/

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]
-<
<
+. Sambaをインストールする
->
>
+. Sambaをインストールする
 $ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install sama-client
-<
<
+. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。
->
>
+. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。
 $ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser
-<
<
+. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。
->
>
+. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。
 [share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。
-<
<
+. 共有フォルダーをマウントする。
->
>
+. 共有フォルダーをマウントする。
 sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。
 測定ログ 

8月　(QAMeasurementLog202008)
 マニュアルなど 
 
 ソースメーター 
 Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter 
 Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
 
  Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter 
 Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
 
  Keithley エラーメッセージマニュアル 
 http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
 
 
  LCRメーター 
 Agilent 4284A Precision LCR Meter 
 Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
 
 
 
 参考資料 
 
 ストリップQA関係（*) はuser: tsukuba-silicon, password: ITk_stripQA!） 
 Sensor Quality Assuarance Document (25th March 2019): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_v5.docx
  Sensor Quality Assurance Database Test Parameters (29th June 2020; 2020年8月現在最新版): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_DB_Inputs_290720_v13.docx
  QA data format as of 2nd June 2020: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/2020-06-02_Sensor_QA_DataFormats_v5.pptx
  Test chip details: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/testchip.pptx
  K. Hara, "Strip Sensor QC/QA in Japan", presented at ATLAS-Japan silicon workshop on 21st December 2019: https://kds.kek.jp/indico/event/32999/contributions/161326/attachments/128299/152895/StripQCQA-ATLASJ2019.pdf
  E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
  MOS capacitors: https://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter6/ch6_2.htm
 
  ITk strip全般 
 ITk Strip TDR: https://cds.cern.ch/record/2257755?ln=en

Revision 102020-09-07 - ShigekiHirose

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

測定方法

測定は、VisualStudioのStripQAControl.slnを用いて行います。

ソリューションを開くと、接続したLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAを選択します。

新たに表示されるQA測定の画面で、選択したLCRメーターとソースメーターがそれぞれ正しく設定されているかを確認してください。

もし間違っている場合は、プルダウンで変更してください。

使用する機械の確認が取れたら、測定するサンプルの名前を記入してください。

サンプルの名前と属性は以下のスプレッドシートで確認することができます。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

測定の際にも使用するのでこのタイミングで開いておくことをお勧めします。

温度、湿度を記入してください

Raspiの温度計で温度と湿度を読み取ってください。（今後自動化されるかもしれません。）

LCRメーターを使った測定がしたい場合は、キャリブレーションをしましょう。

B4デシケーター内にshort、openそれぞれのキャリブレーションのための基盤があるので、それを接続してキャリブレーションをします。

ここまで出来たら各測定に進めます。

バイアス抵抗

デフォルトでは-5~5VまでをnVステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数をを変更することができません。

ストリップ間抵抗

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。

ストリップ間容量

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、1MHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります

カップリングの暗電流

二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

酸化膜容量

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-20~10V、0.1Vステップ

照射後　周波数1MHz、測定範囲-50~10V、0.1Vステップ

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

MD8のIVCV

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~-500V(?)を10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

To be written.

温湿度計について

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

設定方法は以下の通り。

[Windows側]

Changed:

<
<

1. 共有フォルダ―を作る。参考→

>
>

Added:

>
>

ネットワークとかの設定をしなきゃダメかも（色々試行錯誤したので、どれが必要でどれが必要じゃなかったのかわかりません。。。）

共有に成功していると、File Explorer → Network → 自分のPCを選択（130.87.243.248の場合はDESKTOP-KCK793P）で共有フォルダ―が見えているはず。

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install sama-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

Added:

>
>

[share]
   comment = Share Folder
   browseable = yes
   path = /var/samba
   writable = yes
   valid users = smbuser
   force user = smbuser

Changed:

<
<

[share]
comment = Share Folder
browseable = yes
path = /var/samba
writable = yes
valid users = smbuser
force user = smbuser
書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

>
>

書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。

4. 共有フォルダーをマウントする。

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

Added:

>
>

IPの直後の"shared"は、先ほどWindowsマシンでつくった共有フォルダーの名前になる。

測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
- Keithley エラーメッセージマニュアル
  - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP

参考資料

ストリップQA関係（*) はuser: tsukuba-silicon, password: ITk_stripQA!）
- Sensor Quality Assuarance Document (25th March 2019): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_v5.docx
- Sensor Quality Assurance Database Test Parameters (29th June 2020; 2020年8月現在最新版): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_DB_Inputs_290720_v13.docx
- QA data format as of 2nd June 2020: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/2020-06-02_Sensor_QA_DataFormats_v5.pptx
- Test chip details: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/testchip.pptx
- K. Hara, "Strip Sensor QC/QA in Japan", presented at ATLAS-Japan silicon workshop on 21st December 2019: https://kds.kek.jp/indico/event/32999/contributions/161326/attachments/128299/152895/StripQCQA-ATLASJ2019.pdf
- E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
- MOS capacitors: https://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter6/ch6_2.htm
ITk strip全般
- ITk Strip TDR: https://cds.cern.ch/record/2257755?ln=en

Revision 92020-09-07 - ShigekiHirose

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

測定方法

測定は、VisualStudioのStripQAControl.slnを用いて行います。

新たに表示されるQA測定の画面で、選択したLCRメーターとソースメーターがそれぞれ正しく設定されているかを確認してください。

もし間違っている場合は、プルダウンで変更してください。

使用する機械の確認が取れたら、測定するサンプルの名前を記入してください。

サンプルの名前と属性は以下のスプレッドシートで確認することができます。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

測定の際にも使用するのでこのタイミングで開いておくことをお勧めします。

温度、湿度を記入してください

Raspiの温度計で温度と湿度を読み取ってください。（今後自動化されるかもしれません。）

LCRメーターを使った測定がしたい場合は、キャリブレーションをしましょう。

B4デシケーター内にshort、openそれぞれのキャリブレーションのための基盤があるので、それを接続してキャリブレーションをします。

ここまで出来たら各測定に進めます。

バイアス抵抗

デフォルトでは-5~5VまでをnVステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数をを変更することができません。

ストリップ間抵抗

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。

ストリップ間容量

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、1MHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります

カップリングの暗電流

二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

酸化膜容量

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-20~10V、0.1Vステップ

照射後　周波数1MHz、測定範囲-50~10V、0.1Vステップ

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

MD8のIVCV

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~-500V(?)を10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

To be written.

Added:

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>

温湿度計について

温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ 温湿度計 on Raspberry Pi

設定方法は以下の通り。

[Windows側]

1. 共有フォルダ―を作る。参考→

[ラズパイ側]

1. Sambaをインストールする

$ sudo apt update
$ sudo apt install samba
$ sudo apt install winbind
$ sudo apt install libnss-winbind
$ sudo apt install sama-client

2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。

$ sudo useradd smbuser
$ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/
$ sudo pdbedit -a smbuser

3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。

4. 共有フォルダーをマウントする。

sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser

測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
- Keithley エラーメッセージマニュアル
  - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP

Deleted:

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温湿度計 on Raspberry Pi

参考資料

ストリップQA関係（*) はuser: tsukuba-silicon, password: ITk_stripQA!）
- Sensor Quality Assuarance Document (25th March 2019): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_v5.docx
- Sensor Quality Assurance Database Test Parameters (29th June 2020; 2020年8月現在最新版): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_DB_Inputs_290720_v13.docx
- QA data format as of 2nd June 2020: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/2020-06-02_Sensor_QA_DataFormats_v5.pptx
- Test chip details: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/testchip.pptx
- K. Hara, "Strip Sensor QC/QA in Japan", presented at ATLAS-Japan silicon workshop on 21st December 2019: https://kds.kek.jp/indico/event/32999/contributions/161326/attachments/128299/152895/StripQCQA-ATLASJ2019.pdf
- E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
- MOS capacitors: https://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter6/ch6_2.htm
ITk strip全般
- ITk Strip TDR: https://cds.cern.ch/record/2257755?ln=en

Revision 82020-09-02 - ShigekiHirose

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ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

測定方法

測定は、VisualStudioのStripQAControl.slnを用いて行います。

新たに表示されるQA測定の画面で、選択したLCRメーターとソースメーターがそれぞれ正しく設定されているかを確認してください。

もし間違っている場合は、プルダウンで変更してください。

使用する機械の確認が取れたら、測定するサンプルの名前を記入してください。

サンプルの名前と属性は以下のスプレッドシートで確認することができます。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

測定の際にも使用するのでこのタイミングで開いておくことをお勧めします。

温度、湿度を記入してください

Raspiの温度計で温度と湿度を読み取ってください。（今後自動化されるかもしれません。）

LCRメーターを使った測定がしたい場合は、キャリブレーションをしましょう。

B4デシケーター内にshort、openそれぞれのキャリブレーションのための基盤があるので、それを接続してキャリブレーションをします。

ここまで出来たら各測定に進めます。

バイアス抵抗

デフォルトでは-5~5VまでをnVステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数をを変更することができません。

ストリップ間抵抗

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。

ストリップ間容量

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、1MHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります

カップリングの暗電流

二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

酸化膜容量

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-20~10V、0.1Vステップ

照射後　周波数1MHz、測定範囲-50~10V、0.1Vステップ

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

MD8のIVCV

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~-500V(?)を10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

To be written.

測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
- Keithley エラーメッセージマニュアル
  - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm
LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
温湿度計 on Raspberry Pi

Added:

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参考資料

ストリップQA関係（*) はuser: tsukuba-silicon, password: ITk_stripQA!）
- Sensor Quality Assuarance Document (25th March 2019): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_v5.docx
- Sensor Quality Assurance Database Test Parameters (29th June 2020; 2020年8月現在最新版): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_DB_Inputs_290720_v13.docx
- QA data format as of 2nd June 2020: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/2020-06-02_Sensor_QA_DataFormats_v5.pptx
- Test chip details: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/testchip.pptx
- K. Hara, "Strip Sensor QC/QA in Japan", presented at ATLAS-Japan silicon workshop on 21st December 2019: https://kds.kek.jp/indico/event/32999/contributions/161326/attachments/128299/152895/StripQCQA-ATLASJ2019.pdf
- E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf
- MOS capacitors: https://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter6/ch6_2.htm
ITk strip全般
- ITk Strip TDR: https://cds.cern.ch/record/2257755?ln=en

Revision 72020-08-28 - KotaSaito

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

測定方法

測定は、VisualStudioのStripQAControl.slnを用いて行います。

新たに表示されるQA測定の画面で、選択したLCRメーターとソースメーターがそれぞれ正しく設定されているかを確認してください。

もし間違っている場合は、プルダウンで変更してください。

使用する機械の確認が取れたら、測定するサンプルの名前を記入してください。

サンプルの名前と属性は以下のスプレッドシートで確認することができます。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

測定の際にも使用するのでこのタイミングで開いておくことをお勧めします。

温度、湿度を記入してください

Raspiの温度計で温度と湿度を読み取ってください。（今後自動化されるかもしれません。）

LCRメーターを使った測定がしたい場合は、キャリブレーションをしましょう。

B4デシケーター内にshort、openそれぞれのキャリブレーションのための基盤があるので、それを接続してキャリブレーションをします。

ここまで出来たら各測定に進めます。

バイアス抵抗

デフォルトでは-5~5VまでをnVステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数をを変更することができません。

ストリップ間抵抗

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。

ストリップ間容量

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、1MHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります

カップリングの暗電流

二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

酸化膜容量

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-20~10V、0.1Vステップ

照射後　周波数1MHz、測定範囲-50~10V、0.1Vステップ

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

MD8のIVCV

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~-500V(?)を10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

To be written.

測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b

Added:

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- Keithley エラーメッセージマニュアル
  - http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm

LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
温湿度計 on Raspberry Pi

Revision 62020-08-20 - KotaSaito

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ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

測定方法

測定は、VisualStudioのStripQAControl.slnを用いて行います。

新たに表示されるQA測定の画面で、選択したLCRメーターとソースメーターがそれぞれ正しく設定されているかを確認してください。

もし間違っている場合は、プルダウンで変更してください。

使用する機械の確認が取れたら、測定するサンプルの名前を記入してください。

サンプルの名前と属性は以下のスプレッドシートで確認することができます。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

測定の際にも使用するのでこのタイミングで開いておくことをお勧めします。

温度、湿度を記入してください

Raspiの温度計で温度と湿度を読み取ってください。（今後自動化されるかもしれません。）

LCRメーターを使った測定がしたい場合は、キャリブレーションをしましょう。

B4デシケーター内にshort、openそれぞれのキャリブレーションのための基盤があるので、それを接続してキャリブレーションをします。

ここまで出来たら各測定に進めます。

バイアス抵抗

デフォルトでは-5~5VまでをnVステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数をを変更することができません。

ストリップ間抵抗

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。

ストリップ間容量

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、1MHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります

カップリングの暗電流

二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

酸化膜容量

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-20~10V、0.1Vステップ

照射後　周波数1MHz、測定範囲-50~10V、0.1Vステップ

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

MD8のIVCV

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~-500V(?)を10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

To be written.

Added:

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測定ログ

8月　(QAMeasurementLog202008)

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
温湿度計 on Raspberry Pi

Revision 52020-08-19 - KotaSaito

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

測定方法

測定は、VisualStudioのStripQAControl.slnを用いて行います。

新たに表示されるQA測定の画面で、選択したLCRメーターとソースメーターがそれぞれ正しく設定されているかを確認してください。

もし間違っている場合は、プルダウンで変更してください。

使用する機械の確認が取れたら、測定するサンプルの名前を記入してください。

サンプルの名前と属性は以下のスプレッドシートで確認することができます。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

測定の際にも使用するのでこのタイミングで開いておくことをお勧めします。

温度、湿度を記入してください

Raspiの温度計で温度と湿度を読み取ってください。（今後自動化されるかもしれません。）

Added:

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LCRメーターを使った測定がしたい場合は、キャリブレーションをしましょう。

B4デシケーター内にshort、openそれぞれのキャリブレーションのための基盤があるので、それを接続してキャリブレーションをします。

ここまで出来たら各測定に進めます。

バイアス抵抗

デフォルトでは-5~5VまでをnVステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量

1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

この測定はGUI上で測定周波数をを変更することができません。

Added:

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ストリップ間抵抗

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。

Added:

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ストリップ間容量

照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、1MHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。

Added:

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照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります

Added:

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カップリングの暗電流

Added:

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>

二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

酸化膜容量

Added:

>
>

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-20~10V、0.1Vステップ

照射後　周波数1MHz、測定範囲-50~10V、0.1Vステップ

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

MD8のIVCV

Added:

>
>

二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。

0~-500V(?)を10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

To be written.

マニュアルなど

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
温湿度計 on Raspberry Pi

Revision 42020-08-19 - KotaSaito

  META TOPICPARENT 
 name="WebHome" 

 ITk strip QA 

Under construction.

--   Shigeki Hirose  - 2020-08-19 
 QAシステム概要 

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

すべての測定には最低でもPC、LCRメーター2台、ソースメーター2台、スイッチ操作装置(TUSB-PIO)、Raspiを用いた温度計システムと測定サンプルを装着する基盤が必要です。

To be written.
 測定方法 

測定は、VisualStudioのStripQAControl.slnを用いて行います。

ソリューションを開くと、接続したLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAを選択します。

新たに表示されるQA測定の画面で、選択したLCRメーターとソースメーターがそれぞれ正しく設定されているかを確認してください。

もし間違っている場合は、プルダウンで変更してください。

使用する機械の確認が取れたら、測定するサンプルの名前を記入してください。

サンプルの名前と属性は以下のスプレッドシートで確認することができます。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

測定の際にも使用するのでこのタイミングで開いておくことをお勧めします。

温度、湿度を記入してください

Raspiの温度計で温度と湿度を読み取ってください。（今後自動化されるかもしれません。）

ここまで出来たら各測定に進めます。 

 バイアス抵抗
 
デフォルトでは-5~5VまでをnVステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。
 

 カップリング容量
- META TOPICPARENT
+ name="WebHome"
-<
<
+点での静電容量が測定されます。
->
>
+kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
-<
<
+この測定はGUI上でパラメーターをいじることができません。
->
>
+この測定はGUI上で測定周波数をを変更することができません。
  ストリップ間抵抗
-<
<
+照射前後で測定する範囲が異なります。
->
>
+照射前後でバイアス抵抗が異なります。
-<
<
+照射前は
->
>
+照射前は-150V
-<
<
+照射後は
->
>
+照射後は-500V
-<
<
+測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。 
 ああ
  ああ
->
>
+測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。 

 ストリップ間容量
->
>
+照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定は、1MHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。 

 PTP
 
照射前後でバイアス抵抗が異なります。

照射前は-150V

照射後は-500V

測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。

この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります 

 カップリングの暗電流
 
 

 酸化膜容量
 
照射前後で測定が異なります

照射前　周波数10kHz、測定範囲-20~10V、0.1Vステップ

照射後　周波数1MHz、測定範囲-50~10V、0.1Vステップ

どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。 

 MD8のIVCV
 

0~-500V(?)を10Vステップで測定します。

電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。
 To be written.
 マニュアルなど 
 
 ソースメーター 
 Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter 
 Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
 
  Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter 
 Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
 
 
  LCRメーター 
 Agilent 4284A Precision LCR Meter 
 Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP
 
 
  温湿度計 on Raspberry Pi

Revision 32020-08-19 - ShigekiHirose

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

測定方法

測定は、VisualStudioのStripQAControl.slnを用いて行います。

新たに表示されるQA測定の画面で、選択したLCRメーターとソースメーターがそれぞれ正しく設定されているかを確認してください。

もし間違っている場合は、プルダウンで変更してください。

使用する機械の確認が取れたら、測定するサンプルの名前を記入してください。

サンプルの名前と属性は以下のスプレッドシートで確認することができます。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

測定の際にも使用するのでこのタイミングで開いておくことをお勧めします。

温度、湿度を記入してください

Raspiの温度計で温度と湿度を読み取ってください。（今後自動化されるかもしれません。）

ここまで出来たら各測定に進めます。

バイアス抵抗

デフォルトでは-5~5VまでをnVステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量

1点での静電容量が測定されます。

この測定はGUI上でパラメーターをいじることができません。

ストリップ間抵抗

照射前後で測定する範囲が異なります。

照射前は

照射後は

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

ああ
ああ

To be written.

マニュアルなど

Added:

>
>

ソースメーター
- Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter
  - Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d
  - Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf
- Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter
  - Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf
  - Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b
LCRメーター
- Agilent 4284A Precision LCR Meter
  - Datasheet: https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow
  - Manual: https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP

温湿度計 on Raspberry Pi

Revision 22020-08-19 - KotaSaito

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

Added:

>
>

TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。

具体的な項目

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

To be written.

測定方法

Added:

>
>

測定は、VisualStudioのStripQAControl.slnを用いて行います。

新たに表示されるQA測定の画面で、選択したLCRメーターとソースメーターがそれぞれ正しく設定されているかを確認してください。

もし間違っている場合は、プルダウンで変更してください。

使用する機械の確認が取れたら、測定するサンプルの名前を記入してください。

サンプルの名前と属性は以下のスプレッドシートで確認することができます。

https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0

測定の際にも使用するのでこのタイミングで開いておくことをお勧めします。

温度、湿度を記入してください

Raspiの温度計で温度と湿度を読み取ってください。（今後自動化されるかもしれません。）

ここまで出来たら各測定に進めます。

バイアス抵抗

デフォルトでは-5~5VまでをnVステップで測定しています。

測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。

カップリング容量

1点での静電容量が測定されます。

この測定はGUI上でパラメーターをいじることができません。

ストリップ間抵抗

照射前後で測定する範囲が異なります。

照射前は

照射後は

測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。

ああ
ああ

To be written.

マニュアルなど

温湿度計 on Raspberry Pi

Revision 12020-08-19 - ShigekiHirose

META TOPICPARENT	name="WebHome"

ITk strip QA

Under construction.

-- Shigeki Hirose - 2020-08-19

QAシステム概要

To be written.

測定方法

To be written.

マニュアルなど

温湿度計 on Raspberry Pi

View topic | History: r33 < r32 < r31 < r30 | More topic actions...

Difference: ITkStripQA2 (1 vs. 33)

Revision 332025-02-22 - ShigekiHirose

ITk strip QA2 (配線の切り替えがHVケーブルのみのセットアップ)

QAシステム概要

測定サンプルを装着する基盤

StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated)

テストチップ測定方法

LCRメーターのcalibration （TestChip基板接続時）

Calibration（MD8接続時）

測定サンプルのセットアップ・冷却

StripQAControlGUI のパラメータ設定

TestChip （5項目）とMD8（2項目）の測定

TestChip の4項目の測定

バイアス抵抗（「Rbias」と書かれた緑のボタンをクリック）

カップリング容量（「Ccpl」と書かれた緑のボタンをクリック）

ストリップ間容量

PTP

MD8の測定：IVCVとカップリング漏れ電流

MD8のIVCV

カップリングの暗電流

TestChip のRintの測定

ストリップ間抵抗

酸化膜容量(QA測定からは除外)

温湿度計について

測定結果をatlaspc7にアップロードする

リレーを手動で接続する

測定ログ

マニュアルなど

参考資料

メモ

Revision 322023-08-23 - AtlasjSilicon

ITk strip QA2 (配線の切り替えがHVケーブルのみのセットアップ)

QAシステム概要

測定サンプルを装着する基盤

StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated)

テストチップ測定方法

LCRメーターのcalibration

LCRメーターのcalibration （TestChip基板接続時）

Calibration（MD8接続時）

測定サンプルのセットアップ・冷却

StripQAControlGUI のパラメータ設定

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間容量/抵抗、PTP測定

TestChip （5項目）とMD8（2項目）の測定

TestChip の4項目の測定

バイアス抵抗（「Rbias」と書かれた緑のボタンをクリック）

カップリング容量（「Ccpl」と書かれた緑のボタンをクリック）

ストリップ間容量

PTP

MD8の測定：IVCVとカップリング漏れ電流

MD8のIVCV

Calibration

カップリングの暗電流

TestChip のRintの測定

ストリップ間抵抗

カップリング漏れ電流、MD8の測定

MD8のIVCV

カップリングの暗電流

酸化膜容量(QA測定からは除外)

温湿度計について

測定結果をatlaspc7にアップロードする

リレーを手動で接続する

測定ログ

マニュアルなど

参考資料

メモ

Revision 312023-08-22 - AtlasjSilicon

ITk strip QA2 (配線の切り替えがHVケーブルのみのセットアップ)

QAシステム概要

測定サンプルを装着する基盤

StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated)

テストチップ測定方法

LCRメーターのcalibration

測定サンプルのセットアップ・冷却

StripQAControlGUI のパラメータ設定

バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間容量/抵抗、PTP測定

Calibration

カップリング漏れ電流、MD8の測定

MD8のIVCV

カップリングの暗電流

酸化膜容量(QA測定からは除外)

LCRメーターのcalibration　（TestChip基板接続時）

酸化膜容量(QA測定からは除外)　

LCRメーターのcalibration　（TestChip基板接続時）

酸化膜容量(QA測定からは除外)　

酸化膜容量(QA測定からは除外)　

酸化膜容量(QA測定からは除外)　

酸化膜容量(QA測定からは除外)　

酸化膜容量(QA測定からは除外)　