Tutorial7thTCADDay4 < Main

---+ 4&#x65E5;&#x76EE; (&#x653E;&#x5C04;&#x7DDA;&#x8010;&#x6027;&#x306E;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;)

%TOC%
---++ &#x4ECA;&#x65E5;&#x4F7F;&#x3046;&#x30B5;&#x30F3;&#x30D7;&#x30EB;&#x306E;&#x6E96;&#x5099;

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<pre> ~/work/Silicon/TCAD/Sentaurus/tutorials/</pre>

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&#x65E9;&#x901F;sde&#x3092;&#x8D70;&#x3089;&#x305B;&#x3066;&#x307F;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;&#x3002;&#x3000;node8&#x3067;&#x3059;&#x3002;

&#x5B89;&#x5B9A;&#x3057;&#x305F;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;&#x306E;&#x305F;&#x3081;&#x4ECA;&#x56DE;&#x306F;pstop&#x306E;example&#x3067;&#x3059;&#x3002;(Simple2D _dvs.cm &#x3092;&#x307F;&#x3066;2&#x65E5;&#x76EE;&#x306E;&#x6F14;&#x7FD2;&#x8AB2;&#x984C;&#x306E;&#x7B54;&#x3048;&#x5408;&#x308F;&#x305B;&#x3092;&#x3057;&#x3066;&#x307F;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;&#x3002;)

&#x30AC;&#x30FC;&#x30C9;&#x30EA;&#x30F3;&#x30B0;&#x3082;&#x5C11;&#x3057;&#x96E2;&#x3057;&#x3066;&#x3042;&#x308A;&#x307E;&#x3059;&#x3002;

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---++ TCAD &#x8868;&#x9762;&#x640D;&#x50B7;&#x306E;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;
---+++ &#x8868;&#x9762;&#x640D;&#x50B7;&#x306E;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;&#x6982;&#x8981;

&#x8B1B;&#x7FA9;&#x53C2;&#x7167;
---+++ &#x8868;&#x9762;&#x640D;&#x50B7;&#x306E;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;&#x5B9F;&#x7FD2;

&#x307E;&#x305A;&#x306F;&#x30CE;&#x30FC;&#x30C9; n46-n50&#x304A;&#x3088;&#x3073;n136-n140, n196-n200&#x3092;&#x8D70;&#x3089;&#x305B;&#x3066;&#x307F;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;&#x3002;&#x6642;&#x9593;&#x304C;&#x304B;&#x304B;&#x308A;&#x307E;&#x3059;&#x306E;&#x3067;&#x89E3;&#x8AAC;&#x3092;&#x3057;&#x307E;&#x3059;&#x3002;(Ctrol&#x62BC;&#x3057;&#x306A;&#x304C;&#x3089;&#x30C9;&#x30E9;&#x30C3;&#x30B0;&#x3059;&#x308B;&#x3068;&#x9078;&#x629E;&#x3067;&#x304D;&#x307E;&#x3059;&#x3002;)

&#x57FA;&#x672C;&#x7684;&#x306A;&#x60C5;&#x5831;&#x306F;manual/sdevice_ug.pdf/chapter17&#x306B;&#x3042;&#x308A;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

bulk damage&#x3084;surface damage&#x306B;&#x3064;&#x3044;&#x3066;&#x66F8;&#x3044;&#x3066;&#x3042;&#x308A;&#x307E;&#x3059;&#x304C;&#xFF0C;&#x3053;&#x3053;&#x3067;&#x306F;&#x8868;&#x9762;&#x96FB;&#x8377;&#x306E;&#x7F6E;&#x304D;&#x65B9;&#x306B;&#x3064;&#x3044;&#x3066;&#xFF0E;

&#x96FB;&#x8377;&#x3092;&#x7F6E;&#x304F;&#x306B;&#x306F;&#xFF0C;&#x30C7;&#x30D0;&#x30A4;&#x30B9;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;&#x306E; .cmd&#x30D5;&#x30A1;&#x30A4;&#x30EB;&#x306B;&#x4E0B;&#x306E;&#x3088;&#x3046;&#x306A;Physics&#x306E;&#x9805;&#x76EE;&#x3092;&#x8DB3;&#x3057;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

<verbatim>Physics (MaterialInterface= "Silicon/Oxide" ) {
   # surface charge concentration in unit of cm^-2
   #   Traps (FixedCharge Conc=1e12)
   Traps (FixedCharge Conc=@<0.8e12+0.3e12*log10(0.0021544347+TID)>@)
}

</verbatim>

!FixedCharge&#x3092; Concentration [cm^-2]&#x306E;&#x91CF;&#x3068;&#x3057;&#x3066;&#x6307;&#x5B9A;&#x3057;&#x307E;&#x3059;&#x3002;

&#x4E00;&#x822C;&#x7684;&#x306B;&#x306F;&#x5927;&#x4F53; 1e12 cm^-2 &#x7A0B;&#x5EA6;&#x306E;&#x96FB;&#x8377;&#x304C;&#x305F;&#x307E;&#x308A;&#x307E;&#x3059;&#x304C;&#x3001;&#x7DCF;&#x96FB;&#x96E2;&#x640D;&#x50B7;&#x306E;&#x5927;&#x304D;&#x3055;&#x306B;&#x4F9D;&#x5B58;&#x3057;&#x307E;&#x3059;&#x3002;

&#x3053;&#x3053;&#x3067;&#x306F;&#x3001;TID(&#x5358;&#x4F4D; Mrad)&#x3067;&#x306E;&#x96FB;&#x8377;&#x91CF;&#x3092;&#x6700;&#x521D;&#x306E;&#x8B1B;&#x7FA9;&#x3067;&#x898B;&#x305F;&#x5B9F;&#x30C7;&#x30FC;&#x30BF;&#x3092;&#x7528;&#x3044;&#x305F;&#x5024;&#x306B;&#x6307;&#x5B9A;&#x3057;&#x3066;&#x3044;&#x307E;&#x3059;&#x3002;
---++++ IV simulation

&#x305D;&#x308C;&#x3067;&#x306F;&#x30CE;&#x30FC;&#x30C9; n46-n50&#x306E;&#x30B8;&#x30E7;&#x30D6;&#x304C;&#x7D42;&#x308F;&#x3063;&#x3066;&#x3044;&#x305F;&#x3089;&#x305D;&#x308C;&#x305E;&#x308C;&#x306E;IV&#x30AB;&#x30FC;&#x30D6;&#x3092;&#x30D7;&#x30ED;&#x30C3;&#x30C8;&#x3057;&#x3066;&#x307F;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;&#x3002;

<img alt="IV_TID.png" src="%ATTACHURLPATH%/IV_TID.png" width="800" />

&#x3061;&#x306A;&#x307F;&#x306B;&#x3001;pspray &#x3092; p-stop&#x306B;&#x3057;&#x305F;&#x3053;&#x3068;&#x3067;BreakDown&#x304C;&#x8D77;&#x3053;&#x3089;&#x306A;&#x304F;&#x306A;&#x308A;&#x307E;&#x3057;&#x305F;&#x3002;(&#x30AC;&#x30FC;&#x30C9;&#x30EA;&#x30F3;&#x30B0;&#x306E;&#x7AEF;&#x3067;&#x306E;&#x96FB;&#x5834;&#x306E;&#x96C6;&#x4E2D;&#x306F;p-spray&#x304C;&#x539F;&#x56E0;&#x3060;&#x3063;&#x305F;&#x3088;&#x3046;&#x3067;&#x3059;&#x3002;)

TID 100-1000 Mrad &#x307E;&#x3067;&#x306E;&#x3059;&#x3079;&#x3066;&#x306E;&#x30D7;&#x30ED;&#x30C3;&#x30C8;&#x306F;&#x91CD;&#x306A;&#x3063;&#x3066;&#x3044;&#x3066;&#x898B;&#x3048;&#x307E;&#x305B;&#x3093;&#x3002;(Curves&#x30BF;&#x30D6;&#x306E;curve&#x3092;&#x3072;&#x3068;&#x3064;&#x3065;&#x3064;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF;&#x3059;&#x308B;&#x3068;&#x308F;&#x304B;&#x308A;&#x307E;&#x3059;&#x3002;)

&#x96FB;&#x8377;&#x304C;&#x305F;&#x307E;&#x3063;&#x3066;&#x3082;&#x307B;&#x3068;&#x3093;&#x3069;&#x96FB;&#x6D41;&#x96FB;&#x5727;&#x7279;&#x6027;&#x306F;&#x307B;&#x3068;&#x3093;&#x3069;&#x5F71;&#x97FF;&#x3092;&#x53D7;&#x3051;&#x306A;&#x3044;&#x3053;&#x3068;&#x304C;&#x308F;&#x304B;&#x308A;&#x307E;&#x3059;&#x3002;
---++++ CV simulation

n136-n140&#x306E;&#x30B8;&#x30E7;&#x30D6;&#x304C;&#x7D42;&#x308F;&#x3063;&#x3066;&#x3044;&#x305F;&#x3089;CV&#x30AB;&#x30FC;&#x30D6;(1/c^2)&#x3092;&#x30D7;&#x30ED;&#x30C3;&#x30C8;&#x3057;&#x3066;&#x307F;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;&#x3002;

TID 100-1000&#x307E;&#x3067;&#x306E;&#x30D7;&#x30ED;&#x30C3;&#x30C8;&#x306F;&#x3059;&#x3079;&#x3066;&#x91CD;&#x306A;&#x3063;&#x3066;&#x3044;&#x307E;&#x3059;&#x3002;

TID0&#x306B;&#x95A2;&#x3057;&#x3066;&#x306F;&#x524D;&#x56DE;&#x540C;&#x69D8;&#x3044;&#x3073;&#x3064;&#x306A;&#x5F62;&#x3092;&#x3057;&#x3066;&#x3044;&#x307E;&#x3059;&#x304C;&#x3001;&#x4E00;&#x5EA6;&#x9178;&#x5316;&#x819C;&#x306B;&#x96FB;&#x8377;&#x3092;&#x7F6E;&#x304F;&#x3068;&#x4E26;&#x884C;&#x677F;&#x30B3;&#x30F3;&#x30C7;&#x30F3;&#x30B5;&#x306B;&#x8FD1;&#x304F;&#x306A;&#x308B;&#x3088;&#x3046;&#x3067;&#x3059;&#x3002;

(&#x5168;&#x7A7A;&#x4E4F;&#x5316;&#x3059;&#x308B;&#x307E;&#x3067; 1/C^2&#x304C;&#x96FB;&#x5727;&#x306B;&#x6BD4;&#x4F8B;&#x3057;&#x3001;&#x5168;&#x7A7A;&#x4E4F;&#x5316;&#x3059;&#x308B;&#x3068;&#x4E00;&#x5B9A;&#x306B;&#x306A;&#x308A;&#x307E;&#x3059;)

&#x3053;&#x306E;&#x30D7;&#x30ED;&#x30C3;&#x30C8;&#x304B;&#x3089;&#x5168;&#x7A7A;&#x4E4F;&#x5316;&#x96FB;&#x5727;&#x306F; 15V&#x7A0B;&#x5EA6;&#x3067;&#x3042;&#x308B;&#x3053;&#x3068;&#x304C;&#x308F;&#x304B;&#x308A;&#x307E;&#x3059;&#x3002;

<img alt="CV_TID.png" src="%ATTACHURLPATH%/CV_TID.png" width="800" />
---++++ MIP simulation

n196-n200&#x306E;&#x30B8;&#x30E7;&#x30D6;&#x304C;&#x7D42;&#x308F;&#x3063;&#x3066;&#x3044;&#x305F;&#x3089;&#x6A2A;&#x8EF8;&#x6642;&#x9593;&#x3001;&#x7E26;&#x8EF8;cathode 2(mid)&#x304B;&#x3089;&#x306E;&#x96FB;&#x6D41;&#x304A;&#x3088;&#x3073; cathode 1(left)&#x304B;&#x3089;&#x306E;&#x96FB;&#x6D41;&#x3092;&#x30D7;&#x30ED;&#x30C3;&#x30C8;&#x3057;&#x3066;&#x307F;&#x307E;&#x3057;&#x3087;&#x3046;&#x3002;

TID&#x306E;&#x5F71;&#x97FF;&#x306F;&#x307B;&#x3068;&#x3093;&#x3069;&#x306A;&#x3044;&#x3053;&#x3068;&#x304C;&#x308F;&#x304B;&#x308B;&#x3002;

<img alt="MIP_TID.png" src="%ATTACHURLPATH%/MIP_TID.png" width="800" />
---++ TCAD &#x30D0;&#x30EB;&#x30AF;&#x640D;&#x50B7;&#x306E;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;
---+++ &#x30D0;&#x30EB;&#x30AF;&#x640D;&#x50B7;&#x306E;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;&#x6982;&#x8981;

&#x8B1B;&#x7FA9;&#x53C2;&#x7167;
---+++ &#x30D0;&#x30EB;&#x30AF;&#x640D;&#x50B7;&#x306E;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;&#x5B9F;&#x7FD2;

&#x540C;&#x69D8;&#x306E;Pixel2DIrradSim&#x306E;&#x30D7;&#x30ED;&#x30B8;&#x30A7;&#x30AF;&#x30C8;&#x3092;&#x7528;&#x3044;&#x3066;&#x884C;&#x3044;&#x307E;&#x3059;&#x3002;

TID=0 &#x306E;&#x30CE;&#x30FC;&#x30C9;&#x3067;fluence&#x304C;&#x9055;&#x3046;IV&#x3068;CV&#x306E;&#x30C7;&#x30D0;&#x30A4;&#x30B9;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;&#x3092;&#x8D70;&#x3089;&#x305B;&#x3066;&#x307F;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;&#x3002;

IV: n46, n51, n56, n61, n66, n71

CV: n137,n142,n147, n152, n157, n162 (TID100Mrad &#x306E;&#x5834;&#x5408;)

MIP: n196, n201, n206, n211, n216, n221

Ctrl&#x30AD;&#x30FC;&#x3092;&#x62BC;&#x3057;&#x306A;&#x304C;&#x3089;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF;&#x3059;&#x308B;&#x3068;&#x8907;&#x6570;&#x306E;&#x30CE;&#x30FC;&#x30C9;&#x304C;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF;&#x3067;&#x304D;&#x307E;&#x3059;&#x3002;

&#x305D;&#x308C;&#x3067;&#x306F;&#x8D70;&#x3063;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x9593;&#x306B;&#x89E3;&#x8AAC;&#x3067;&#x3059;&#x3002;&#x57FA;&#x672C;&#x7684;&#x306B;&#x306F;&#x30D0;&#x30EB;&#x30AF;&#x90E8;&#x306E;Trapping &#x304C;&#x5B9F;&#x88C5;&#x3055;&#x308C;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x3053;&#x3068;&#x3060;&#x3051;&#x3067;&#x3059;&#x3002;

<verbatim>## defect density = fluence x eta 

## state 1: acceptor, E = Ec-0.42 eV, sigma_e = 2e-15 cm2, sigma_h=2e-14 cm2, eta = 1.613 cm-1
## state 2: acceptor, E = Ec-0.46 eV, sigma_e = 5e-15 cm2, sigma_h=5e-14 cm2, eta = 100 cm-1
## state 3: donor, E = Ev+0.36 eV, sigma_e = 2.5e-14 cm2, sigma_h =2.5e-15 cm2, eta = 0.9 cm-1

        Traps(
                        (
                        name="state1" acceptor conc=@<fluence*1.613>@
                        Level FromConductionBand        EnergyMid=0.42
                        eXsection=2E-15  hXsection=2E-14
                        ##eJfactor=1.0 hJfactor=1.0
                        )
                        (
                        name="state2" acceptor conc=@<fluence*100.0>@
                        Level FromConductionBand        EnergyMid=0.46
                        eXsection=5E-15  hXsection=5E-14
                        ##eJfactor=1.0 hJfactor=1.0
                        )
                        (
                        name="state3" donor conc=@<fluence*0.9>@
                        Level FromValenceBand   EnergyMid=0.36
                        eXsection=2.5E-14  hXsection=2.5E-15
                        ##eJfactor=1.0 hJfactor=1.0
                        )
                )</verbatim>

IV/CV/MIP&#x306A;&#x3069;&#x306E;SDEVICE&#x306B;&#x305D;&#x308C;&#x305E;&#x308C;Trap{}&#x95A2;&#x6570;&#x304C;&#x542B;&#x307E;&#x308C;&#x3066;&#x3044;&#x307E;&#x3059;&#x3002;
---++++ IV simulation

Non-irrad, 1e12 , 1e13, 1e14, 1e15, 1e16, 1e17 neq/cm2&#x306E;&#x7167;&#x5C04;&#x91CF;&#x3067;IV&#x30AB;&#x30FC;&#x30D6;&#x3092;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;

IV: n46, n51, n56, n61, n66, n71 &#x3092;&#x8D70;&#x3089;&#x305B;&#x305F;&#x5F8C;&#x30D7;&#x30ED;&#x30C3;&#x30C8;&#x3092;&#x898B;&#x308B;&#x3002;

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---++++ CV simulation

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---++++ MIP simulation

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Topic revision: r5 - 2020-06-03 - AtlasjSilicon