---+ 2日目 (様々なサンプルプログラムとsdeの構築) -- 演習問題 %TOC% ---++ 問題1 (鈴木) !Simple2Dの例題のSimple2D_des.cmdファイルで行っていること理解して説明せよ。 ---++ 問題2 (石井) !Simple3Dの例題で作った構造体のpixel数を5x5にして構造体を作ってみよ。 ---++ 問題3 (北) !Simple2Dの例題で作った構造体のn+電極の形を知るため、リンのドープ量の垂直および水平方向のプロファイルをプロットして、どのような形になっているかを調べよ。 また、リンドープのgaussian-profileの Gauss の "Factor" の値を変えてどのようなプロファイルに変化するかを調べよ。 ---++ 問題4(応用) (熊倉) !Simple2Dの例題で電極間分離のために p-sprayを使っているが、これを電極と電極の間の中央に幅2um深さ1.2umのホウ素のドープ(p-stop)を生成せよ。svisualでうまく作れたことを確認する。 (難しい場合は前回のmyexampleの例を参考にしてみるとよい) -- %USERSIG{KojiNakamura - 2020-05-16}% ---++ Comments %COMMENT%
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Topic revision: r2 - 2020-05-21 - AtlasjSilicon
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