Tutorial6thTCADDay1 < Main

---+ 1&#x65E5;&#x76EE;(&#x6700;&#x521D;&#x306E;&#x4F8B;&#x984C;&#x3092;&#x52D5;&#x304B;&#x3059;)

%TOC%

---++ &#x7C21;&#x5358;&#x306A;&#x4F7F;&#x3044;&#x65B9;&#x306A;&#x3069;
---+++ &#x74B0;&#x5883;&#x306E;&#x8A2D;&#x5B9A;

atlaspc7.kek.jp&#x306B;&#x30ED;&#x30B0;&#x30A4;&#x30F3;&#x3057;&#x307E;&#x3059;&#x3002;&#x30BF;&#x30FC;&#x30DF;&#x30CA;&#x30EB;&#x3092;&#x4E8C;&#x3064;&#x6E96;&#x5099;&#x3057;&#x3066;&#x4E21;&#x65B9;&#x3068;&#x3082;&#x30ED;&#x30B0;&#x30A4;&#x30F3;&#x3092;&#x3059;&#x308B;&#x3068;&#x4FBF;&#x5229;&#x3067;&#x3059;&#x3002;

&#x4ECA;&#x56DE;&#x306F;&#x4F55;&#x3082;&#x306A;&#x3044;&#x3068;&#x3053;&#x308D;&#x304B;&#x3089;&#x59CB;&#x3081;&#x3066;&#x30D7;&#x30ED;&#x30B8;&#x30A7;&#x30AF;&#x30C8;&#x3092;&#x4F5C;&#x308B;&#x65B9;&#x6CD5;&#x3092;&#x8AAC;&#x660E;&#x3057;&#x307E;&#x3059;&#x3002;

&#x307E;&#x305A;&#x306F;&#x74B0;&#x5883;&#x3092;&#x6574;&#x3048;&#x307E;&#x3059;&#x3002;

<verbatim>
source /home/software/scripts/common.sh 
source /home/software/scripts/vdec-license.sh 
source /home/software/scripts/synopsys.sh
export STDB=~/work/Silicon/TCAD

% mkdir -p ~/work/Silicon/TCAD/Sentaurus/tutorials/

% swb&

</verbatim>

&#x6B21;&#x56DE;&#x304B;&#x3089;&#x305F;&#x304F;&#x3055;&#x3093;&#x306E;&#x30B3;&#x30DE;&#x30F3;&#x30C9;&#x3092;&#x6253;&#x305F;&#x306A;&#x304F;&#x3066;&#x3088;&#x3044;&#x3088;&#x3046;&#x306B;&#x3001;&#x5225;&#x306E;&#x30BF;&#x30FC;&#x30DF;&#x30CA;&#x30EB;&#x3067;&#x3001;
<verbatim>% mkdir ~/work/scripts/</verbatim>

emacs&#x3067;~/work/scripts/tcad.sh&#x3092;&#x958B;&#x3044;&#x3066;&#x4E0A;&#x306E;&#x30B3;&#x30DE;&#x30F3;&#x30C9;&#x3092;&#x66F8;&#x304F;&#x3002;

&#x3082;&#x3057;&#x304F;&#x306F;
<verbatim>% cat > ~/work/scripts/tcad.sh << EOF 
source /home/software/scripts/common.sh 
source /home/software/scripts/vdec-license.sh 
source /home/software/scripts/synopsys.sh 
export STDB=~/work/Silicon/TCAD 
EOF</verbatim>

&#x6B21;&#x56DE;&#x304B;&#x3089;&#x306F;&#x30ED;&#x30B0;&#x30A4;&#x30F3;&#x3057;&#x305F;&#x5F8C;&#x3001;
<verbatim>source ~/work/scripts/tcad.sh
swb &</verbatim>
---+++ &#x30D7;&#x30ED;&#x30B8;&#x30A7;&#x30AF;&#x30C8;&#x306E;&#x4F5C;&#x6210;

Project -&gt; New Project&#x3068;&#x3057;&#x3066;&#x304B;&#x3089; Project -&gt; Save As -&gt; project

/home/[username]/work/Silicon/TCAD/Sentaurus/tutorials/myexample

&#x3092;&#x9078;&#x3093;&#x3067; OK. [username]&#x306E;&#x90E8;&#x5206;&#x306F;&#x81EA;&#x5206;&#x306E;&#x30A2;&#x30AB;&#x30A6;&#x30F3;&#x30C8;&#x540D;&#x306B;&#x5909;&#x3048;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;&#x3002;

<img alt="firstproject.png" height="334" src="%ATTACHURLPATH%/firstproject.png" width="470" />

myexample&#x304C; tree&#x306E;&#x30A2;&#x30A4;&#x30B3;&#x30F3;&#x3067;&#x8868;&#x793A;&#x3055;&#x308C;&#x3066;&#x5165;&#x308C;&#x3070;ok
---+++ &#x69CB;&#x9020;&#x3092;&#x8A18;&#x8FF0;&#x3059;&#x308B;&#x30D5;&#x30A1;&#x30A4;&#x30EB;&#x3092;&#x8AAD;&#x307F;&#x8FBC;&#x3080;(sde)

&#x6B21;&#x306B;sde_dvs.cmd&#x3092;&#x66F8;&#x304F;&#x3002;&#x3053;&#x308C;&#x306F;&#x6700;&#x521D;&#x306F;&#x3053;&#x3061;&#x3089;&#x3067;&#x6E96;&#x5099;&#x3057;&#x305F;&#x3082;&#x306E;&#x3092;&#x30B3;&#x30D4;&#x30FC;
<verbatim>% cd ~/work/Silicon/TCAD/Sentaurus/tutorials/myexample
% cp /home/kojin/work/Silicon/TCAD/Synopsys/tutorials/sample_v2/sde_dvs.cmd .</verbatim>

&#x53F3;&#x5074; Project &#x30BF;&#x30D6;&#x306B;&#x3042;&#x308B; No Tools &#x3068;&#x8868;&#x793A;&#x3055;&#x308C;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x3068;&#x3053;&#x308D;&#x3092;&#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF; Add&#x3002;

Name &#x306E;&#x3068;&#x3053;&#x308D; pull down menu &#x304B;&#x3089; sde&#x3092;&#x9078;&#x629E; Run As&#x306F; &#x3068;&#x308A;&#x3042;&#x3048;&#x305A;batch&#x3067;&#x3002;

Input Files &#x3067;commands &#x304C;sde_dvs.cmd&#x306B;&#x306A;&#x3063;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x3053;&#x3068;&#x3092;&#x78BA;&#x8A8D;&#x3057;&#x3066; OK.<br /> <img alt="sde.png" height="343" src="%ATTACHURLPATH%/sde.png" width="483" />

sde_dvs.cmd&#x306E;&#x4E2D;&#x3067;

tPSub : substrate &#x306E;&#x539A;&#x307F;

XMIP : MIP&#x3092; inject &#x3059;&#x308B;&#x4F4D;&#x7F6E; (mesh&#x3092;&#x5207;&#x308B;&#x3068;&#x304D;&#x306B;&#x5FC5;&#x8981;&#x3002;)

&#x304C;&#x5909;&#x6570;&#x3068;&#x306A;&#x3063;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x306E;&#x3067;&#x3053;&#x308C;&#x3092;&#x30BB;&#x30C3;&#x30C8;&#x3059;&#x308B;&#x5FC5;&#x8981;&#x304C;&#x3042;&#x308B;&#x3002;

SDE&#x306E;&#x30A2;&#x30A4;&#x30B3;&#x30F3;&#x304C;&#x3042;&#x308B;&#x3059;&#x3050;&#x3057;&#x305F;&#x306E;cell&#x3067;&#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF;&#x3000;Add Parameter/Value&#x3092;&#x9078;&#x3076;

Parameter = tPSub List of Value = 150 &#x3068;&#x30BB;&#x30C3;&#x30C8;&#x3057;&#x3066;ok

&#x540C;&#x3058;&#x3088;&#x3046;&#x306B; XMIP&#x3082;XMIP/30 &#x3068;&#x3059;&#x308B;&#x3002;

<img alt="sdepar.png" height="345" src="%ATTACHURLPATH%/sdepar.png" width="486" />

&#x8D70;&#x3089;&#x305B;&#x3066;&#x307F;&#x308B;&#x3002;&#x5404;&#x8868;&#x306E;&#x30DE;&#x30B9;&#x304C;node&#x3068;&#x547C;&#x3070;&#x308C;&#x308B;&#x3082;&#x306E;&#x3067;&#x3001;&#x5404;step&#x306E;&#x4E00;&#x756A;&#x53F3;&#x306E;Node&#x3092;&#x8D70;&#x3089;&#x305B;&#x308B;&#x3068;simulation&#x304C;&#x51FA;&#x6765;&#x308B;&#x3002;

30&#x306E;&#x3068;&#x3053;&#x308D;&#x3067;&#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF; -&gt; Run (Do you want to save it? &#x3068;&#x805E;&#x304B;&#x308C;&#x308B;&#x306E;&#x3067; yes)

Node &#x306F;1&#x3067;OK. Queue&#x306F;&#x7279;&#x5225;&#x306A;&#x74B0;&#x5883;&#x3067;&#x306A;&#x3044;&#x9650;&#x308A; local:default &#x3068;&#x3059;&#x308B;&#x3002;

(Node &#x756A;&#x53F7;&#x3092;&#x8868;&#x793A;&#x3055;&#x305B;&#x308B;&#x306B;&#x306F; View -&gt; tree Option -&gt; Show Node Numbers&#x3068;&#x3059;&#x308B; XMIP&#x306E;30&#x306F;[n1]&#x3068;&#x8868;&#x793A;&#x3055;&#x308C;&#x3066;&#x3044;&#x308B;)

sde &#x306E;&#x8A2D;&#x5B9A;&#x3092; interactive &#x306B;&#x3059;&#x308B;&#x3068;Sentaurus Structure Editor &#x3068;&#x8A00;&#x3046;&#x306E;&#x304C;&#x81EA;&#x52D5;&#x7684;&#x306B;&#x7ACB;&#x3061;&#x4E0A;&#x304C;&#x308B;&#x3002;&#x3066;&#x3067;&#x3044;&#x308D;&#x3044;&#x308D;&#x3068;&#x4FEE;&#x6B63;&#x3057;&#x305F;&#x3044;&#x5834;&#x5408;&#x306F;&#x305D;&#x308C;&#x3092;&#x3064;&#x304B;&#x3046;&#x3002;

&#x8D70;&#x3063;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x9593;&#x306F;node&#x306E;&#x8272;&#x306F;&#x9752;&#x3002;&#x7D42;&#x308F;&#x308B;&#x3068;&#x9EC4;&#x8272;&#x306B;&#x306A;&#x308B;&#x3002;

&#x30B8;&#x30AA;&#x30E1;&#x30C8;&#x30EA;&#x3092;&#x898B;&#x308B;&#x306B;&#x306F;&#x3002;

Node 1 &#x3092;&#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF;-&gt;Visualize -&gt; Sentaurus visual (selected file)

n1_msh.tdr &#x3092;&#x9078;&#x629E; -&gt; OK

<br /><img alt="vis.png" height="467" src="%ATTACHURLPATH%/vis.png" width="485" />

Materials &#x306E; Silicon &#x306E;&#x4E09;&#x3064;&#x76EE;&#x306E;&#x30C1;&#x30A7;&#x30C3;&#x30AF;&#x30DC;&#x30C3;&#x30AF;&#x30B9;(mesh)&#x3092; on &#x306B;&#x3059;&#x308B;&#x3068; mesh &#x304C;&#x898B;&#x308C;&#x308B;&#x3002;

(&#x5C0F;&#x6280; 1) &#x5DE6;&#x4E0B;&#x306E;Plot Properties &#x306E; Scaling&#x30BF;&#x30D6;&#x3067;&#x3001;X to Y ratio: 0.2&#x306E;&#x3088;&#x3046;&#x306B;&#x3059;&#x308B;&#x3068;X&#x65B9;&#x5411;&#x306B;&#x62E1;&#x5927;&#x3055;&#x308C;&#x3066;&#x898B;&#x3084;&#x3059;&#x3044;&#x3002;

(&#x5C0F;&#x6280; 2) &#x62E1;&#x5927;&#x306F;&#x30DB;&#x30A4;&#x30FC;&#x30EB;&#x30DE;&#x30A6;&#x30B9;&#x3067;&#x3001;(&#x3082;&#x3057;&#x304F;&#x306F;&#x53F3;&#x306E;tool bar&#x304B;&#x3089;&#x866B;&#x773C;&#x93E1;)&#x3002;&#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF;&#x3092;&#x3057;&#x306A;&#x304C;&#x3089;&#x52D5;&#x304B;&#x3059;&#x3068;&#x79FB;&#x52D5;&#x304C;&#x3067;&#x304D;&#x308B;&#x3002;

&#x96FB;&#x6975;&#x8FD1;&#x304F;&#x3068;&#x3001;&#x3053;&#x308C;&#x304B;&#x3089;MIP&#x3092;&#x6253;&#x3061;&#x8FBC;&#x3080;&#x5834;&#x6240;(XMIP=30)&#x306E;&#x4F4D;&#x7F6E;&#x306F;&#x30E1;&#x30C3;&#x30B7;&#x30E5;&#x3092;&#x7D30;&#x304B;&#x304F;&#x3057;&#x3066;&#x3042;&#x308B;&#x3002;
---+++ &#x30C7;&#x30D0;&#x30A4;&#x30B9;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;(sdevice)

&#x6B21;&#x306F;&#x30C7;&#x30D0;&#x30A4;&#x30B9; simulation

sdevice_des.cmd&#x3092;&#x4F7F;&#x3046;&#x3002;
<verbatim>% cp /home/kojin/work/Silicon/TCAD/Synopsys/tutorials/sample_v2/sdevice_des.cmd .</verbatim>

&#x3053;&#x308C;&#x3092;GUI&#x304B;&#x3089;&#x8AAD;&#x307F;&#x8FBC;&#x3080;&#x3002;

SDE&#x306E;&#x30A2;&#x30A4;&#x30B3;&#x30F3;&#x3067;&#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF;-&gt; Add -&gt;Name &#x3092;sdevice&#x306B;&#x3059;&#x308B;&#x3002; OK&#x3002;

IV scan&#x3092;&#x3059;&#x308B;device simulation&#x306A;&#x306E;&#x3067; &#x3069;&#x3053;&#x307E;&#x3067;&#x4E0A;&#x3052;&#x308B;&#x304B;Vop&#x3092;&#x8A2D;&#x5B9A;&#x3002;SDEVICE&#x306E;&#x4E0B;&#x3067;&#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF;-&gt;Add -&gt;&#x3000;Vop&#x3000;-30 &#x3068;&#x8A2D;&#x5B9A;&#x3002;

&#x3068;&#x308A;&#x3042;&#x3048;&#x305A;&#x8D70;&#x3089;&#x305B;&#x3066;&#x307F;&#x308B;&#x3002;[n4]&#x3067;&#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF; Run&#x3002;&#x9EC4;&#x8272;&#x304F;&#x306A;&#x3063;&#x305F;&#x3089;&#x7D42;&#x308F;&#x308A;&#x3002;

<br /><img alt="sdevice.png" height="274" src="%ATTACHURLPATH%/sdevice.png" width="484" />

&#x7D50;&#x679C;&#x3092;&#x898B;&#x308B;&#x306B;&#x306F; [n4]&#x3067;&#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF;&#x3002;Visualize -&gt; Inspect (selected file)

&#x6A2A;&#x8EF8;&#x3092;&#x88CF;&#x9762;&#x96FB;&#x6975;(ElectrodeP)&#x306E;&#x96FB;&#x5727;&#x3001;&#x7E26;&#x8EF8;&#x3092;&#x96FB;&#x6D41;&#x306B;&#x3059;&#x308B;&#x306B;&#x306F;&#x3001;

!ElectrodeP !OuterVoltage &#x3092;&#x9078;&#x629E;&#x3057;&#x3066; To X-Axis

!ElectrodeP !TotalCurrent &#x3092;&#x9078;&#x629E;&#x3057;&#x3066; To Left Y-Axis

<img alt="insIV.png" height="309" src="%ATTACHURLPATH%/insIV.png" width="480" />

&#x3053;&#x306E;IV&#x30AB;&#x30FC;&#x30D6;&#x304C;&#x66F8;&#x3051;&#x305F;&#x3089;&#x4ECA;&#x65E5;&#x306E;Tutorial&#x306F;&#x5B8C;&#x4E86;&#x3067;&#x3059;&#x3002;
---+++ (&#x53C2;&#x8003;)&#x30D7;&#x30ED;&#x30B8;&#x30A7;&#x30AF;&#x30C8;&#x3092;&#x69CB;&#x6210;&#x3059;&#x308B;&#x30D5;&#x30A1;&#x30A4;&#x30EB;

&#x30D7;&#x30ED;&#x30B8;&#x30A7;&#x30AF;&#x30C8;&#x306E;&#x30C7;&#x30A3;&#x30EC;&#x30AF;&#x30C8;&#x30EA;&#x306E;&#x4E2D;&#x3092;&#x898B;&#x308B;&#x3068;&#x3001;&#x305F;&#x304F;&#x3055;&#x3093;&#x306E;&#x30D5;&#x30A1;&#x30A4;&#x30EB;&#x304C;&#x3042;&#x308B;&#x304C;&#x307B;&#x3068;&#x3093;&#x3069;&#x304C;simulation&#x3092;&#x884C;&#x306A;&#x3063;&#x305F;&#x3068;&#x304D;&#x306B;&#x51FA;&#x6765;&#x308B;&#x4E2D;&#x9593;&#x30D5;&#x30A1;&#x30A4;&#x30EB;&#x3002;

Toolbar&#x306E;Project -&gt; Operations -&gt; Clean up &#x3068;&#x3059;&#x308B;&#x3068;&#x307B;&#x3068;&#x3093;&#x3069;&#x306E;&#x30D5;&#x30A1;&#x30A4;&#x30EB;&#x306F;&#x6D88;&#x3048;&#x3066;Clean up &#x3055;&#x308C;&#x307E;&#x3059;&#x3002;

&#x3068;&#x308A;&#x3042;&#x3048;&#x305A;&#x5FC5;&#x8981;&#x306A;&#x306E;&#x306F;&#x30B3;&#x30DE;&#x30F3;&#x30C9;&#x30D5;&#x30A1;&#x30A4;&#x30EB;(*.cmd)&#x3068;gtree.dat gvar.dat gcomments.dat .project .database &#x3042;&#x305F;&#x308A;&#x3002;

<pre>sde_dvs.cmd        :  geometry & mesh  <br />sdevice_des.cmd    :  device simulation IV/CV curve Transient for MIP charge collection.<br />inspect_ins.cmd    :  analysis for device simulation output.<br />gtree.dat          :  simulation flow <br />gvars.dat          <br />gcomments.dat<br />.project<br />.database<br /><br /></pre>
---++ &#x6F14;&#x7FD2;

&#x305D;&#x308C;&#x3067;&#x306F;&#x6F14;&#x7FD2;&#x8AB2;&#x984C;&#x3092;&#x3084;&#x3063;&#x3066;&#x307F;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;&#x3002; Tutorial5thTCADDay1Question

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