PolySiliconResister

device進捗:/home/yunakamu/TCADWorkShop/1121/IV-50_B.tar

場所:/home/yunakamu/TCADWorkShop/1121/Poly-Only_D.tar

polysilicon抵抗の設定

polysiliconの抵抗値は設定することができる。
具体的な値をセッティングする場所はsdevieの中のElectronodeで値を設定することができる。

Resistの値に好きな抵抗値をセットする。

TACD7.png
しかしいくつか気を付けなければならないことがあるので、それを記述する。以下の例はPolySilicon1󪻑[um^3]の例である。

PolySiicon の抵抗を設定する場合は不純物濃度を設定する必要がある。

今回不純物はホウ素。2MΩにセット。

水色:1e15 濃いピンク1e16 オレンジ1e17 薄いピンク0(不純物0の場合のみ右軸)

不純物0にした場合、半導体の曲線。

TACD4.png


抵抗の値は単位当たりではなく、指定した電極全体の値となる。

青1101[um^3] 赤 10󪻑[um^3]  黒1󪻑[um^3]

TACD5.png


抵抗値と不純物濃度の値は相関があるらしく、今回の場合低い抵抗にすることはできなかった。

以下は2KΩ。

濃いピンク1e+15 オレンジ1e+16 薄いピンク1e+17 黄色0(不純物0の場合のみ右軸)

TACD6.png

-- Atlasj Silicon - 2018-11-20

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