LGADStructureEditor < Main

---+ &#x30C7;&#x30D0;&#x30A4;&#x30B9;&#x30A8;&#x30C7;&#x30A3;&#x30BF;&#x306E;&#x57FA;&#x790E;
---++ &#x30B7;&#x30F3;&#x30D7;&#x30EB;&#x306A;&#x30C0;&#x30A4;&#x30AA;&#x30FC;&#x30C9;

SDE&#x3067;&#x306F;&#x30C7;&#x30D0;&#x30A4;&#x30B9;&#x306E;&#x69CB;&#x9020;&#x3092;&#x4F5C;&#x308B;&#x3053;&#x3068;&#x304C;&#x3067;&#x304D;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

&#x307E;&#x305A;&#x306F;&#x30B7;&#x30F3;&#x30D7;&#x30EB;&#x306A;&#x30C0;&#x30A4;&#x30AA;&#x30FC;&#x30C9;&#x306E;&#x69CB;&#x9020;&#x3067;&#x3059;&#xFF0E;

“How to use TCAD”&#x306E;&#x4F8B;&#x3068;&#x540C;&#x69D8;&#x306B;&#x30D7;&#x30ED;&#x30B8;&#x30A7;&#x30AF;&#x30C8;&#x3092;&#x4F5C;&#x308B;&#x3068;&#x3053;&#x308D;&#x304B;&#x3089;&#x59CB;&#x3081;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

<pre>cd /home/[username]/work/Silicon/TCAD/Sentaurus/tutorials<br />mkdir LGAD</pre> <verbatim>swb&</verbatim>

tool bar&#x304B;&#x3089;&#xFF0E;

Project -&gt; New -&gt; New Project

Project -&gt; Save As -&gt; Project

<verbatim>/home/[username]/work/Silicon/TCAD/Sentaurus/tutorials/LGAD/IV</verbatim>

-&gt; OK

[[%ATTACHURL%/0001.PNG][<img alt="0001.PNG" height="366" src="%ATTACHURL%/0001.PNG" width="492" />]]

&#x6B21;&#x306B;sde_dvs.cmd&#x3092;&#x30B3;&#x30D4;&#x30FC;&#xFF0E;

<verbatim>cd ~/work/Silicon/TCAD/Sentaurus/tutorials/LGAD/IV
cp /home/swada/work/Sentaurus/TCAD_WS/sde_dvs.cmd ./</verbatim>

&#x53F3;&#x5074; Project tab&#x304B;&#x3089;&#xFF0E;

No Tools &#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF; -&gt; Add

Name : sde

Run As : batch (/interactive)

OK

Node&#x756A;&#x53F7;&#x3092;&#x8868;&#x793A;&#x3055;&#x305B;&#x3066;&#x304A;&#x304D;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

(node&#x306F;&#x7D50;&#x69CB;&#x898B;&#x308B;&#x3053;&#x3068;&#x306B;&#x306A;&#x308B;&#x306E;&#x3067;&#x8868;&#x793A;&#x3055;&#x305B;&#x308B;&#x7656;&#x3092;&#x4ED8;&#x3051;&#x3066;&#x304A;&#x304F;&#x3068;&#x826F;&#x3044;&#x3067;&#x3059;)

View -&gt; Tree Options -&gt; Show Node Numbers

<img alt="0003.PNG" height="363" src="%ATTACHURL%/0003.PNG" width="487" />

&#x4ECA;&#x306F;sde_dvs.cmd&#x306E;&#x4E2D;&#x306B;&#x5909;&#x6570;&#x304C;&#x306A;&#x3044;&#x306E;&#x3067;&#xFF0C;&#x305D;&#x306E;&#x307E;&#x307E;&#x8D70;&#x3089;&#x305B;&#x3066;&#x307F;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

[n1] &#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF; -&gt; Run

Nodes : 1

Queue : local:default

Run

<img alt="0004.PNG" height="364" src="%ATTACHURL%/0004.PNG" width="489" />

&#x8D70;&#x308A;&#x7D42;&#x308F;&#x308B;&#x3068;&#x9752;&#x8272;(running)&#x304B;&#x3089;&#x9EC4;&#x8272;(done)&#x306B;node&#x306E;&#x8272;&#x304C;&#x5909;&#x5316;&#x3057;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

&#x8D64;&#x8272;(failed)&#x306E;&#x3068;&#x304D;&#x306F;sde_dvs.cmd&#x3092;&#x8A02;&#x6B63;&#x3059;&#x308B;&#x5FC5;&#x8981;&#x304C;&#x3042;&#x308A;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

&#x51FA;&#x6765;&#x4E0A;&#x304C;&#x3063;&#x305F;&#x69CB;&#x9020;&#x3092;&#x898B;&#x3066;&#x307F;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;&#xFF0E;

[n1] &#x53F3;&#x30AF;&#x30EA;&#x30C3;&#x30AF; -&gt; Visualize -&gt; Sentaurus Visual (selected file)

n1_msh.tdr -&gt; OK

<img alt="0005.PNG" height="330" src="%ATTACHURL%/0005.PNG" width="488" />
---++ SDE&#x7DE8;&#x96C6;

&#x3053;&#x3053;&#x304B;&#x3089;sde_dvs.cmd&#x306E;&#x4E2D;&#x8EAB;&#x3092;&#x898B;&#x3066;&#x3044;&#x304D;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

&#x3064;&#x3044;&#x3067;&#x306B;LGAD&#x306E;&#x69CB;&#x9020;&#x3068;&#x3057;&#x3066;N+&#x96FB;&#x6975;&#x306E;&#x4E0B;&#x306B;Pwell&#x5C64;&#x3092;&#x5165;&#x308C;&#x3066;&#x3044;&#x304D;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

&#x4F8B;&#x306B;&#x793A;&#x3057;&#x305F;sde_dvs.cmd&#x306F;&#x5927;&#x304D;&#x304F;&#x4EE5;&#x4E0B;&#x306E;4&#x3064;&#x306E;&#x30D1;&#x30FC;&#x30C8;&#x304B;&#x3089;&#x6210;&#x308A;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

PARAMETERS

GEOMETRY

DOPING

MESH

&#x56E0;&#x307F;&#x306B;PARAMETER&#x306E;&#x5F8C;&#x308D;&#x306B;SET Min Max&#x304C;&#x3042;&#x308A;&#x307E;&#x3059;&#x304C;&#xFF0C;&#x7D50;&#x5C40;&#x306F;parameters&#x3092;&#x6C7A;&#x3081;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x3068;&#x3053;&#x308D;&#x3067;&#x3059;&#xFF0E;

&lt;PARAMETERS&gt;

&#x3053;&#x3053;&#x3067;&#x306F;&#x5F8C;&#x3005;&#x5FC5;&#x8981;&#x306B;&#x306A;&#x308B;&#x9577;&#x3055;&#x3084;&#xFF0C;&#x6FC3;&#x5EA6;&#x306A;&#x3069;&#x3092;&#x597D;&#x304D;&#x306A;&#x540D;&#x524D;&#x3067;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x3057;&#x3066;&#x304A;&#x304D;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

&#x521D;&#x3081;&#x306E;&#x65B9;&#x3092;&#x898B;&#x3066;&#x307F;&#x308B;&#x3068;&#x3053;&#x3093;&#x306A;&#x611F;&#x3058;&#x3067;&#x3059;&#xFF0E;

<verbatim>;SUBSTRATE PARAMETERS
(define substrate_thickness 150.)
(define substrate_length 250.)
;N ELECTRODE PARAMETERS
(define n_electrode_thickness 2.)
(define n_electrode_length 120.)
(define n_electrode_position (/ (- substrate_length n_electrode_length) 2))</verbatim>

(define &#x30D1;&#x30E9;&#x30E1;&#x30FC;&#x30BF;&#x540D; &#x6570;)&#x3067;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x3067;&#x304D;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

&#x9577;&#x3055;&#x306F;&#x5358;&#x4F4D;&#x30DE;&#x30A4;&#x30AF;&#x30ED;&#x30E1;&#x30FC;&#x30C8;&#x30EB;&#xFF0C;&#x6FC3;&#x5EA6;&#x306F;&#x7ACB;&#x65B9;&#x30BB;&#x30F3;&#x30C1;&#x30E1;&#x30FC;&#x30C8;&#x30EB;&#x5F53;&#x305F;&#x308A;&#x306E;atom&#x6570;&#x3067;&#x3059;&#xFF0E;

&#x6700;&#x5F8C;&#x306E;&#x884C;&#x306F;x&#x8EF8;&#x306E;&#x3069;&#x3053;&#x304B;&#x3089;&#x96FB;&#x6975;&#x306B;&#x3059;&#x308B;&#x304B;&#x3068;&#x3044;&#x3046;&#x30D1;&#x30E9;&#x30E1;&#x30FC;&#x30BF;&#x3067;&#x3059;&#x304C;&#xFF0C;&#x4E0A;&#x306E;&#x3088;&#x3046;&#x306B;&#x5F0F;&#x3067;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x3059;&#x308B;&#x3053;&#x3068;&#x3082;&#x3067;&#x304D;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

(&#x305D;&#x308C;&#x307E;&#x3067;&#x306B;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x3057;&#x305F;&#x6570;&#x3067;&#x8868;&#x305B;&#x308B;&#x5834;&#x5408;&#x306F;&#x306A;&#x308B;&#x3079;&#x304F;&#x5F0F;&#x306B;&#x3057;&#x3066;&#x304A;&#x304F;&#x3068;&#xFF0C;&#x66F8;&#x304D;&#x63DB;&#x3048;&#x308B;&#x3068;&#x304D;&#x306B;&#x697D;&#x3067;&#x3059;)

&#x56DB;&#x5247;&#x6F14;&#x7B97;&#x306E;&#x8868;&#x3057;&#x65B9;&#x306F;&#x8A18;&#x53F7;&#x3092;&#x524D;&#x306B;&#x51FA;&#x3059;&#x3060;&#x3051;&#x306A;&#x306E;&#x3067;&#xFF0C;&#x6B21;&#x306E;&#x3088;&#x3046;&#x306B;&#x306A;&#x308A;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

&#x8DB3;&#x3057;&#x7B97;A+B: (+ A B)

&#x5F15;&#x304D;&#x7B97;A-B: (- A B)

&#x639B;&#x3051;&#x7B97;A×B: (* A B)

&#x5272;&#x308A;&#x7B97;A/B: (/ A B)

&#x4E0A;&#x306E;&#x4F8B;&#x306E;&#x3088;&#x3046;&#x306B;&#x30AB;&#x30C3;&#x30B3;&#x5185;&#x306B;&#x30AB;&#x30C3;&#x30B3;&#x3092;&#x5165;&#x308C;&#x3066;&#x3082;&#x5927;&#x4E08;&#x592B;&#x3067;&#x3059;&#xFF0E;

&#x30BB;&#x30DF;&#x30B3;&#x30ED;&#x30F3;&#x306F;&#x30B3;&#x30E1;&#x30F3;&#x30C8;&#x30A2;&#x30A6;&#x30C8;&#x3067;&#x3059;&#xFF0E;Pwell&#x5C64;&#x306B;&#x95A2;&#x3059;&#x308B;&#x9805;&#x76EE;&#x306F;&#x73FE;&#x5728;&#x30B3;&#x30E1;&#x30F3;&#x30C8;&#x30A2;&#x30A6;&#x30C8;&#x3055;&#x308C;&#x3066;&#x3044;&#x308B;&#x72B6;&#x614B;&#x306A;&#x306E;&#x3067;&#xFF0C;&#x968F;&#x6642;&#x30BB;&#x30DF;&#x30B3;&#x30ED;&#x30F3;&#x3092;&#x5916;&#x3057;&#x3066;&#x3044;&#x3063;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;&#xFF0E;

&#x5909;&#x6570;&#x3092;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x3057;&#x305F;&#x3044;&#x3068;&#x304D;&#x306F;@&#x5909;&#x6570;&#x540D;@&#x306E;&#x3088;&#x3046;&#x306B;&#x66F8;&#x304D;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

(define p_well_doping_concentration 1e+12) &#x306E;&#x90E8;&#x5206;&#x3092;&#x4E0B;&#x306E;&#x3088;&#x3046;&#x306B;&#x5909;&#x6570;&#x306B;&#x3057;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;&#xFF0E;

<pre>(define p_well_doping_concentration             @Dpwell@)</pre>

&#x3053;&#x306E;&#x3088;&#x3046;&#x306B;&#x5909;&#x6570;&#x3092;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x3057;&#x305F;&#x3068;&#x304D;&#x306F;&#xFF0C;&#x8D70;&#x3089;&#x305B;&#x308B;&#x524D;&#x306B;&#x5909;&#x6570;&#x306B;&#x5024;&#x3092;&#x5165;&#x308C;&#x306A;&#x3051;&#x308C;&#x3070;&#x3044;&#x3051;&#x307E;&#x305B;&#x3093;&#xFF0E;

&#x3053;&#x3053;&#x3067;&#x306F;pwell&#x5C64;&#x306E;&#x4E0D;&#x7D14;&#x7269;&#x6FC3;&#x5EA6;&#x3092;&#x5909;&#x6570;&#x306B;&#x3057;&#x3066;&#x307F;&#x307E;&#x3057;&#x305F;&#xFF0E;

&lt;GEOMETRY&gt;

&#x3053;&#x3053;&#x3067;&#x306F;&#x30C7;&#x30D0;&#x30A4;&#x30B9;&#x306E;&#x5927;&#x304D;&#x3055;&#x3084;&#x30C7;&#x30D0;&#x30A4;&#x30B9;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;&#x6642;&#x306B;&#x96FB;&#x5727;&#x3092;&#x4E0E;&#x3048;&#x305F;&#x308A;&#x3059;&#x308B;&#x96FB;&#x6975;&#x3092;&#x6C7A;&#x3081;&#x3066;&#x3044;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

<verbatim>(sdegeo:create-rectangle (position Xmin Ymin 0) (position Xmax Ymax 0) semiconductor_material "substrate_structure")
(sdegeo:insert-vertex (position n_contact_Min Ymin 0))
(sdegeo:insert-vertex (position n_contact_Max Ymin 0))
(define XN (+ n_contact_Min (/ n_electrode_length 2)))
(sdegeo:set-current-contact-set "n_electrode")
(define CN (find-edge-id (position XN Ymin 0)))
(sdegeo:set-contact-edges CN)</verbatim>

1&#x884C;&#x76EE;&#x306F;&#x30D0;&#x30EB;&#x30AF;&#x90E8;&#x306E;&#x9818;&#x57DF;&#x3092;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x3057;&#x3066;&#x3044;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

2&#x301C;7&#x884C;&#x76EE;&#x307E;&#x3067;&#x3067;N+&#x96FB;&#x6975;&#x3092;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x3057;&#x3066;&#x3044;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;&#x3053;&#x308C;&#x306F;&#x30E9;&#x30A4;&#x30F3;&#x72B6;&#x306E;&#x96FB;&#x6975;&#x3067;&#x3059;&#xFF0E;

&lt;DOPING&gt;

&#x3053;&#x3053;&#x3067;&#x306F;&#x4E0D;&#x7D14;&#x7269;&#x6FC3;&#x5EA6;&#x3092;&#x6C7A;&#x3081;&#x3066;&#x3044;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

<verbatim>;SUBSTRATE (p-type): CONSTANT PROPFILE
(sdepe:doping-constant-placement "substrate_doping_concentration" "BoronActiveConcentration" substrate_doping_concentration "substrate_structure")
;N ELECTRODE
(sdedr:define-refeval-window "n_electrode" "Line" (position n_electrode_Min Ymin 0) (position n_electrode_Max Ymin 0))
(sdedr:define-gaussian-profile "n_electrode" "PhosphorusActiveConcentration" "PeakPos" 0 "PeakVal" n_electrode_doping_concentration "ValueAtDepth" substrate_doping_concentration "Depth" n_electrode_thickness "Gauss" "Factor" 1)
(sdedr:define-analytical-profile-placement "n_electrode" "n_electrode" "n_electrode" "NoSymm" "NoReplace" "Eval")</verbatim>

&#x5927;&#x304D;&#x304F;&#x5206;&#x3051;&#x3066;2&#x3064;&#x306E;&#x65B9;&#x6CD5;&#x304C;&#x3042;&#x308A;&#xFF0C;&#x30D0;&#x30EB;&#x30AF;&#x90E8;&#x306E;&#x3088;&#x3046;&#x306B;&#x4E00;&#x69D8;&#x306A;&#x5206;&#x5E03;&#x306E;&#x5834;&#x5408;&#x306B;&#x306F;&#xFF0C;GEOMETRY&#x3067;&#x9818;&#x57DF;&#x3092;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x3057;&#x3066;&#x304A;&#x304D;&#xFF0C;DOPING&#x3067;&#x4E0A;&#x306E;&#x3088;&#x3046;&#x306B;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x3057;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

&#x4E00;&#x69D8;&#x306A;&#x5206;&#x5E03;&#x3067;&#x306A;&#x3044;&#x5834;&#x5408;&#x306F;&#xFF0C;&#x4E0B;&#x306E;N+&#x306E;&#x4F8B;&#x306E;&#x3088;&#x3046;&#x306B;&#x5B9A;&#x7FA9;&#x3059;&#x308B;&#x3053;&#x3068;&#x304C;&#x3067;&#x304D;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

(&#x3053;&#x3053;&#x3067;&#x3082;pwell&#x306B;&#x95A2;&#x3059;&#x308B;&#x3068;&#x3053;&#x308D;&#x304C;&#x30B3;&#x30E1;&#x30F3;&#x30C8;&#x30A2;&#x30A6;&#x30C8;&#x3057;&#x3066;&#x3042;&#x308B;&#x306E;&#x3067;&#xFF0C;&#x30BB;&#x30DF;&#x30B3;&#x30ED;&#x30F3;&#x3092;&#x9664;&#x3044;&#x3066;&#x304A;&#x3044;&#x3066;&#x304F;&#x3060;&#x3055;&#x3044;)

&lt;MESH&gt;

&#x3053;&#x3053;&#x3067;&#x306F;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;&#x3092;&#x3069;&#x308C;&#x304F;&#x3089;&#x3044;&#x7D30;&#x304B;&#x304F;&#x898B;&#x308B;&#x304B;&#x3092;&#x8A2D;&#x5B9A;&#x3067;&#x304D;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

<verbatim>;Refinament SUBSTRATE (ALL)
(sdedr:define-refeval-window "RFW1" "Rectangle" (position Xmin Ymin 0) (position Xmax Ymax 0))
(sdedr:define-refinement-size "RFS1" (/ Xmax 50) (/ Ymax 10) (/ Xmax 500) (/ Ymax 100))
(sdedr:define-refinement-placement "RFP1" "RFS1" "RFW1")</verbatim>

2&#x884C;&#x76EE;&#x3067;&#x9818;&#x57DF;&#xFF0C;3&#x884C;&#x76EE;&#x3067;&#x5206;&#x5272;&#x3092;&#x6C7A;&#x3081;&#x3066;&#xFF0C;4&#x884C;&#x76EE;&#x3067;MESH&#x3092;&#x304B;&#x3051;&#x3066;&#x3044;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;

&#x7D30;&#x304B;&#x304F;&#x3057;&#x3059;&#x304E;&#x308B;&#x3068;&#x30B7;&#x30DF;&#x30E5;&#x30EC;&#x30FC;&#x30B7;&#x30E7;&#x30F3;&#x306B;&#x6642;&#x9593;&#x304C;&#x304B;&#x304B;&#x308A;&#x307E;&#x3059;&#xFF0E;
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