ITk strip sensor QC

-- Shigeki Hirose - 2020-11-12

Strip sensor QCについて

QCは、全センサーに対して行うことが要求されている。測定項目は以下。

• Human visual inspection
  • すべての手順の前に、まず人間の目でセンサーをチェックする。
• Machine visual capture and inspection
  • 自動ステージにセンサーを載せ、カメラで撮影して外観の状態を保存する。
• IV & CV measurement
  • 温度21 +/- 2 degC、湿度20%以下の環境で、バイアス電圧-500 VまでのIVとCVを測定する。
• Metrology
  • Non-contact CMM (非接触三次元測定器)を使って高さとたわみと測定する。
• Full strip test（全サンプルの5%）
  • ストリップごとに、バイアス電圧をかけた時の電流とキャパシタを測定する。（それぞれDC測定、AC測定と呼んでいる）
• Leakage current stability (KEK-HPKではやらない)

プレプロダクションのデータはpc8に保存されている。プレプロダクション中、測定方法が時々変わっていたり、セグメントやストリップ番号のつけ方がずれていたりするので注意が必要。

• セグメント番号・ストリップ番号について
  • 最終データシート（測定結果のまとめとIVデータが載っている.txt）のセグメント番号は常に正しく、ストリップ番号も常に0始まりになっている
  • AC・DC測定の生データ（.csv）はすべて1始まり
  • セグメント番号は？？？
• AC測定について

参考資料

• K. Saito, ATLAS-J ITk meeting on 21st May (DCAC測定について)
• K. Nakamura, ATLAS-J ITk meeting on 28th May (DCAC測定について)
• Draft of QC document KEK-HPK

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