---+ ITk strip QA Under construction. -- %USERSIG{ShigekiHirose - 2020-08-19}% ---++ QAシステム概要 TestChip+MD8(Halfmoon)で測定する8項目の測定ができるシステムです。 具体的な項目 バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動、カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定 すべての測定には最低でもPC、LCRメーター2台、ソースメーター2台、スイッチ操作装置(TUSB-PIO)、Raspiを用いた温度計システムと測定サンプルを装着する基盤が必要です。 To be written. ---++ 測定方法 測定は、VisualStudioのStripQAControl.slnを用いて行います。 ソリューションを開くと、接続したLCRメーターとソースメーターの選択画面が表示されるので、使用する機械を選択(Setを緑に)したのち、StripQAを選択します。 新たに表示されるQA測定の画面で、選択したLCRメーターとソースメーターがそれぞれ正しく設定されているかを確認してください。 もし間違っている場合は、プルダウンで変更してください。 使用する機械の確認が取れたら、測定するサンプルの名前を記入してください。 サンプルの名前と属性は以下のスプレッドシートで確認することができます。 https://docs.google.com/spreadsheets/d/1mlUcnUTPKlGmD6PUIn9hh5Zky5EJmUY1wDjHUVpYtlU/edit#gid=0 測定の際にも使用するのでこのタイミングで開いておくことをお勧めします。 温度、湿度を記入してください Raspiの温度計で温度と湿度を読み取ってください。(今後自動化されるかもしれません。) LCRメーターを使った測定がしたい場合は、キャリブレーションをしましょう。 B4デシケーター内にshort、openそれぞれのキャリブレーションのための基盤があるので、それを接続してキャリブレーションをします。 ここまで出来たら各測定に進めます。 * バイアス抵抗 デフォルトでは-5~5VまでをnVステップで測定しています。 測定可能な抵抗3つすべての電流値が記録されます。 * カップリング容量 1kHzでの静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。 この測定はGUI上で測定周波数をを変更することができません。 * ストリップ間抵抗 照射前後でバイアス抵抗が異なります。 照射前は-150V 照射後は-500V 測定範囲はどちらも-5~5Vを0.1Vステップで測定します。 測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。 * ストリップ間容量 照射前後でバイアス抵抗が異なります。 照射前は-150V 照射後は-500V 測定は、1MHzでの静電容量を測り、静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。 測定するサンプルの特性に合わせてパラメーターを(手動で)変更してください。 * PTP 照射前後でバイアス抵抗が異なります。 照射前は-150V 照射後は-500V 測定範囲はどちらも0~-40Vを0.2Vステップで測定します。 この先の測定をする場合は、別の基盤に付け替える必要があります * カップリングの暗電流 二枚目の基板、LEMO0にTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。 0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。 * 酸化膜容量 二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。 照射前後で測定が異なります 照射前 周波数10kHz、測定範囲-20~10V、0.1Vステップ 照射後 周波数1MHz、測定範囲-50~10V、0.1Vステップ どちらも静電容量と複素インピーダンスの絶対値が記録されます。 サンプルの特性に合わせてパラメーターを変更してください。 * MD8のIVCV 二枚目の基板、MOS HVにTestVからつながるケーブルがつながっていることを確認してください。 0~-500V(?)を10Vステップで測定します。 電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。 To be written. ---++ 温湿度計について 温湿度計のテクニカルな詳細はこちら→ [[Raspberrypi][温湿度計 on Raspberry Pi]] Strip test chip QAで使っているものはラズベリーパイ(130.87.242.194)に接続されている。atlasjユーザー(パスワードは誰かに聞いてください)でログインし、~/work/stripQAにあるthermohydrometer.pyというPythonスクリプトで温湿度を読み出せる。このスクリプトは温湿度を記録・表示し続けると同時に、/var/samba/trh以下に最新の測定結果をtemp.datとして保存する。/var/sambaはWindows(130.87.243.248)のデスクトップにあるsharedというフォルダーと共有されているため、最新の温湿度をWindows側から読み出せる。 設定方法は以下の通り。 [Windows側] 1. 共有フォルダ―を作る。参考→ [ラズパイ側] 1. Sambaをインストールする <verbatim>$ sudo apt update $ sudo apt install samba $ sudo apt install winbind $ sudo apt install libnss-winbind $ sudo apt install sama-client</verbatim> 2. smbuserというユーザーを作り、共有フォルダ―へのアクセスを許可する。 <verbatim>$ sudo useradd smbuser $ sudo chown smbuser:smbuser /var/samba/ $ sudo pdbedit -a smbuser</verbatim> 3. /etc/samba/smb.confに以下を書き込む。 [share]<br /> comment = Share Folder<br /> browseable = yes<br /> path = /var/samba<br /> writable = yes<br /> valid users = smbuser<br /> force user = smbuser<br />書き込んだら、sudo /etc/init.d/samba restartでサービスをrestartする。 4. 共有フォルダーをマウントする。 <verbatim>sudo mount.cifs //130.87.243.248/shared /var/samba/ -o user=smbuser</verbatim> ---++ 測定ログ 8月 (QAMeasurementLog202008) ---++ マニュアルなど * ソースメーター * Keythley Model 2410 1100 V SourceMeter * Datasheet: https://www.tek.com/document/specification/models-2410-and-2410-c-sourcemeter-specifications-rev-d * Manual: https://download.tek.com/manual/2410_902_01B.pdf * Keythley Model 6517A Electrometer/High Resistance Meter * Datasheet: http://www.testequipmenthq.com/datasheets/KEITHLEY-6517A-Datasheet.pdf * Manual: https://www.tek.com/manual/model-6517a-electrometer-high-resistance-meter-getting-started-manual-rev-b * Keithley エラーメッセージマニュアル * http://ena.support.keysight.com/e5071c/manuals/webhelp/jpn/product_information/error_messages/error_messages.htm * LCRメーター * Agilent 4284A Precision LCR Meter * Datasheet: [[https://literature.cdn.keysight.com/litweb/pdf/5963-5390JA.pdf?id=1000073563:epsg:dow]] * Manual: [[https://www.keysight.com/main/editorial.jspx?ckey=1000002196:epsg:man&id=1000002196:epsg:man&nid=-11143.0.00&lc=jpn&cc=JP]] ---++ 参考資料 * ストリップQA関係(*) はuser: tsukuba-silicon, password: ITk_stripQA!) * Sensor Quality Assuarance Document (25th March 2019): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_v5.docx * Sensor Quality Assurance Database Test Parameters (29th June 2020; 2020年8月現在最新版): https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/Sensor_Quality_Assurance_DB_Inputs_290720_v13.docx * QA data format as of 2nd June 2020: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/2020-06-02_Sensor_QA_DataFormats_v5.pptx * Test chip details: https://hep-www.px.tsukuba.ac.jp/~shhirose/itk/testchip.pptx * K. Hara, "Strip Sensor QC/QA in Japan", presented at ATLAS-Japan silicon workshop on 21st December 2019: https://kds.kek.jp/indico/event/32999/contributions/161326/attachments/128299/152895/StripQCQA-ATLASJ2019.pdf * E. Staats, "ATLAS Test Chip MOS Capacitor", presented at Strip Sensor meeting on 8th July 2020: https://indico.cern.ch/event/935450/contributions/3938786/attachments/2070575/3475887/MOS_Cap_EStaats_08072020.pdf * MOS capacitors: https://ecee.colorado.edu/~bart/book/book/chapter6/ch6_2.htm * ITk strip全般 * ITk Strip TDR: https://cds.cern.ch/record/2257755?ln=en
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Topic revision: r9 - 2020-09-07 - ShigekiHirose
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