---+ Form Factor Prober usage instructions <br />〇プローバー作業を始める前<br /><br />ドライエアーは、普段は24/7で循環しっぱなし。(エアー源はクリーンルーム出て右手の廊下)<br />プローバーチェンバー内の流量計で確認できる。(普段1になってる)<br /><br />温調をONにする。<br /> ・クリーンルーム入口にある温調機械の大きく赤いスイッチを回してONにする。<br /> ・プローバーチャンバーの下の扉の中にある液晶で、空調の電源をONさせる。(カギは普段は触ってない)<br /> ・(資料をセットした後)FormFactorのGUI内で、温度を設定する。<br /><br />プローバー足元の真空ポンプをONにする。<br /><br />〇資料のセットー・プローバー下部の格納庫に資料をセットする。<br />・試料のセットの際には、プローバーの左にある大きなレバーを上げて行う。<br />・サンプルをケースから取り出すには、プローバーの後ろの机にあるGel-PakのTRAY-VACを使う。ケースをTRAY-VACの上に置き、すこし抑えつけながらTRAY-VACのTRAY RELEASE"をONにする。Vacuum Penでサンプルを持ち上げる。持ち上げたらTRAY-VACはOFFにする。落ちた場合にケースに着地するようにケースを下に持ちながら、プローバーの資料台でVacuum Penをリリースする。<br />・試料を吸着する。プローバーGUI内の左側メニュー中Material Handlingの右のアイコン"Switch ON Chuck Vacuum"をクリック。<br />・格納庫を閉める。<br /><br />〇プローバー操作の手順<br />※プローバー内で資料を測定点に移動し位置を調整、プローブで接触する間は、照明をつける。測定の際には、HVがかかるため、かならず照明を消すこと! 照明は、マウスの左に置いてある「eVue」のリモコンの、照明ボタンで明暗を調整する。<br /><br />※まず、プローバー左のレバーを上げたままでだいたいの位置決めをする。だいたいの位置が決まってからレバーは降ろす。レバーは、プローバーGUI内でカメラ画面を見ながらおろす。(基本的にチャック(台)が上がりすぎることはないと考えられるが、万が一そうなると、試料を傷つけプローバーの針も壊してしまう)<br />※まず、針がカメラの中心にある場合を想定し、ステージを移動しながら位置合わせをする。Control-Centerで左のアイコンChuck Stageが選択されている状態ではじめること。<br />※移動中は、Z Setupは、赤いアイコンMove to Separation Heightにセットしておくこと(その他のアイコンに設定されている場合は、赤に自動で移る。)<br />・ホームポジションに移動。Predefined Positions内、家のアイコン""を押す。(取り出しのときはMaterial Handling内左のアイコンAt Chuck Load Positionを押すと、格納庫の前面に移動する。<br />※GUIの中央上方にある5つの虫眼鏡のアイコンeVue Zoom Presetで、およその位置調整には「1」、電極にプローブを接触させる調整には「3」を用いていることが多い。<br />・GUIの左上のマップ画面で矢印を長押しクリックしながら、試料を移動し、目指す端子(パッド)の近くまで移動する。<br />  *画面上だけでわかりにくい場合は、プローバー上ガス流量計隣のSCOPEスイッチをUPに倒すと、基板を直接覗くことができる。<br />  *<br />・"Zoom Preset 1"のカメラのまま、測りたい素子の周辺まで移動してから、プローバーのレバーを下げる。<br />・"Zoom Preset 3"のカメラに切り替え、プローブしたい端子が画面中央に来るように移動する。<br />・eVueのリモコンで、ダイヤルを回すとカメラのフォーカスを調整できる。プローブしたいパッドにフォーカスを合わせ作業をすすめる。<br />・Z Setupの緑色のアイコンMove to Alignment Heightにする。<br />・Z Setupの黄色のアイコンAt Contact Heightにする。<br />・実際に接触させるのは、プローバー本体上で針をホールドしているDPP205のダイヤルを回しながら針を下して行う。その際、画面のカメラ画像をよく見ながらゆっくり針を降ろしていき、パッドと接触するのを確認したら止める。パッドと接触した途端に、針先の動く角度が変化することで判断する。<br />※ポリシリコン抵抗を測る場合など、2か所以上をプローブする場合は、まず1カ所目のプローブ針を調整してコンタクトを確立する。そのあと、GUI左上にあるControl-CenterでScope Stageに設定(カメラの位置合わせの設定)し、カメラを2本目のプローブ針に合わせる。2か所目の位置合わせは、GUIは頼らずDPP205で行う。DPP205で触れない範囲の場合は、試料の置き直しで対応する。<br /><br />・測定が終わった時:<br />・手動ネジで針を上げる。<br />・レバーを上げる。<br />・Chuck Loading Positionをクリック。Chuckが真ん中で止まってしまうことがある。その場合は、手動で一番手前まで持ってくる。<br />・温度を室温にセット。<br />・温度が上がったら、チャンバーを開け、チャックを手前に出す。チャックはロックする位置まで引っ張る。<br />・Vacuum Penで試料を箱に入れる。箱をGel-PakのTRAY-VACを使って真空にひき、(ON->Releaseし)、箱に吸着固定する。<br />・足元の真空ポンプを止める。<br /><br />〇ソフトが立ち上がっていない場合<br />・試料が入っていないことを確認する。<br />・レバーが上がっていることを確認する。<br />・デスクトップにあるVeloxアイコンから立ち上げる。<br />・Open Project->c:\Users\Public\PublicDocuments\Velox\ThinQuad_202100902_ITkpix-v1lVprobe.spp<br />で、高さ等のパラメータが読み込まれる。<br /><br /><br /><br />測定GUI<br />C:\work\Silicon\SiliconTestSetupApp - ff\SiliconTestSetupApp.sln<br /><br />IV<br />Run IV scanをチェック選択する<br />Frequencyを10kHzにする<br />End Voltageを600Vにする(未照射サンプルは200Vまで)<br /><br /><br /><br /> -- %USERSIG{AtlasjSilicon - 2023-02-27}% ---++ Comments %COMMENT%
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Topic revision: r1 - 2023-02-27 - AtlasjSilicon
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