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META TOPICPARENT |
name="RD53ADAQdevelopment" |
RD53A Probe Card |
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富士B4のnew clean roomのprobe stationの使い方と,probe cardを用いたquad sensorのテストの仕方
Initialization |
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- vacumeをON.vacumeはprobe stationのstageのchuckを固定するために使用.
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- vacumeをON.vacumeはprobe stationのstageのchuckを固定するために使用.足元にある.
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- probe stationの電源をON.スイッチはprobe stationの右側面にある.
- probe station用のPCの電源をON.probe stationの下側の扉を開けるとある.PCの電源を入れると自動的にloginしsoftwareが開く.
- softwareが立ち上がったら,probe stationのresetスイッチを押す.probe stationの電源の下にある.
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- 手前のねじ?を回して,chuck部分を引き出す.
- [software] switch off chuck vacumeをクリック.(シュッという音がなる.)
- sensorを円盤に載せる.(回転などに注意)
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- [software] switch on chuck vacumeで真空を引き,センサーを固定する.真空を引く範囲は,probe stationお右側のCHUCK (R=)75mm,100mm,150mm,200mmで変えられる.(Quadでは75mmと100mmだけ使用)
Alignment |
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- [software] switch on chuck vacumeで真空を引き,センサーを固定する.真空を引く範囲は,probe stationの右側のCHUCK (R=)75mm,100mm,150mm,200mmで変えられる.(今回は75mmと100mmだけ使用)
Preparation |
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- [software] project -> open -> (C:\Users\Public\Documents\Velox\FFKK20202_4_7_RD53Aprobe.spp)
- [software] move to home positionをクリック.
- 顕微鏡を下げるために,スイッチ(顕微鏡近くにある)でdownをする.
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- [software]
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- [software] 顕微鏡のピントを合わせるためにScope Stage modeにしてscopeの位置を下げ,needleが見えるようにする.
- レバーを(完全の一歩手前まで)下げる.needleとASICはぶつからないことを確認する.
- Chuck Stage modeにして,sensorをneedleに近づけ,ボケながらもASICのpadが見える位置までstageを上げる.
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Alignment
- Chuck Stage modeで,chipXの左端のpadをクリックし,stageを左に移動させ,chipXの右端のpadをクリックする.→回転alignmentが行われる.
- scopeの倍率を上げ,回転alignmentの微調整を行う.
- needleの一番端が(chipXの)padの左端から2番目,needleの一番右端がpadの右端から2番目に合うようにstageを移動させる.( RD53A_Manual_V3-51.pdf のFig.9,10を参照)
- (needle1本だけ短い?のがあるので,全体のneedleがpadの下側に当たるようにすると良い.)
- Scope modeにし,全てのneedleがpadに当たることを確認する.(要はASICのalignmentができているか)
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