1. 配線を繋ぎ変え・確認
2. LCRメータのキャリブレーション
3. サンプルをtestChip用基盤に装着
4. －20℃に冷却
5. HVが問題なくかかるかどうか、手動でチェック
6. 測定　（5項目：バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動）
7. 常温に戻し、テストチップをしまう

1. 配線を繋ぎ変え・確認
2. LCRメータのキャリブレーション
3. サンプルをMD8用基盤に装着
4. －20℃に冷却
5. Ccpl測定
6. HVケーブルをつなぎ変え
7. CMOS 酸化膜容量測定
8. MD8測定
9. 常温に戻し、テストチップをしまう

測定サンプルを装着する基盤

恒温槽内に２つの測定サンプル装着用基板がある。

1. （左）テストチップ測定用基板―バイアス抵抗、カップリング容量、ストリップ間抵抗、ストリップ間容量、PTP作動
2. （右）MD8測定用基板―カップリングの暗電流、酸化膜容量、MD8のIVCV測定

StripQAControlGUI ソフトウェアの起動 (To be updated)

テストチップ測定方法

配線

テストチップを測定する際のケーブルは、以下の通り接続する。

• HV2410 → ITk Strip Teg Boardの”Vtest”
• CCPL A → 上のLCRメータ H_CUR
• CCPL B → 上のLCRメータ H_POT
• CCPL C → 上のLCRメータ L_POT
• CCPL D → 上のLCRメータ L_CUR

LCRメーターのcalibration

Calibrationは、常温で行う。

1. OPEN Calibration
   1. testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
   2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
   3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
      1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
2. SHORT Calibtation
   
   1. testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
   2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
   3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

測定サンプルのセットアップ・冷却

1. testChip測定用基板は、恒温槽内左の基盤。ピン番号が対応するように確認しながら、サンプルを基盤に装着する。
2. 恒温槽を―20℃に設定・運転し、－20℃に下がってから測定は開始する。

StripQAControlGUI のパラメータ設定

測定

MD8測定方法

配線

• HV2410 →はじめ、"Ccpl IV"LEMOケーブルにつなぐ。
  • "MD8・MOS" または”Ccpl IV”に測定項目によって繋ぎ変える。両方ともオレンジのLEMOケーブル。
• MD8 A → 上のLCRメータ H_CUR
• MD8 B → 上のLCRメータ H_POT
• MD8 C → 上のLCRメータ L_POT
• MD8 D → 上のLCRメータ L_CUR

Calibration

配線を付け替えたら、再度Calibrationを行いましょう。やり方は、TestChipのときのCalibrationと同じ。

Calibrationは、常温で行う。

1. OPEN Calibration
   1. testChip装着用基板に、OPEN（何も書いていない方）のCalibrationサンプルを装着。
   2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Open」をクリック。
   3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"OPEN measurement completed"が表示される。
      1. 失敗した時は、もう一度走らせてみる。
2. SHORT Calibtation
   
   1. testChip装着用基板に、SHORTのCalibrationサンプルを装着。
   2. StripQAControlGUI にて、LCR Calibrationの「Short」をクリック。
   3. Calibrationが完了すると、LCRメータのフロントパネルに、"SHORT measurement completed"が表示される。

サンプルの装着

1. 測定用基板に装着する前に、サンプル（カバーの中）に窒素ガスに流して霜をよく飛ばす。霜がついていると、HVがかかったときにサンプルを破壊してしまう場合がある。
2. MD8用基板に測定サンプルを装着する。

測定

カップリングの暗電流

1. HV2410ケーブルが、”CCPL IV”LEMOケーブルにつながっていることを必ず確認する。
2. GUIで、”Ccpl_leak”をクリック。
   1. 0~10Vまでは0.5Vステップ、0~100Vまで5Vステップで、カップリング部に電圧をかけたときの暗電流を測定します。

酸化膜容量　

MD8のIVCV

1. HV2410ケーブルを”MD8・MOS”レモケーブルにつながっていることを確認してください。
2. GUIで、”MD8”をクリックする。
   1. 0~-500Vを10Vステップで測定します。
   2. 電流、静電容量、複素インピーダンスの絶対値が記録されます。

メモ

佐藤が編集するまえのバージョン：r19